• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2009년도 추계학술발표대회
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• pp.28.2-28.2
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• 2009

Cobalt thin film was fabricated by a novel NH3-based plasma-enhanced atomic layer deposition(PE-ALD) using Co(CpAMD) precursor and $NH_3$ plasma. The PE-ALD Co thin films were produced well on both thermally grown oxide (100 nm) $SiO_2$ and Si(001) substrates. Chemical bonding states and compositions of PE-ALD Co films were analyzed by XPS and discussed in terms of resistivity and impurity level. Especially, we successfully developed PE-ALD Code position at very low growth temperature condition as low as $T_s=100^{\circ}C$, which enabled the fabrication of Co patterns through lift-off method after the deposition on PR patterned substrate without any thermal degradation.

• 자원리싸이클링
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• 제8권3호
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• pp.3-8
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• 1999

농업용 폐비닐 재활용을 위하여 공기를 이용한 세척기를 개발하였으며, 이를 이용하여 농업용 폐비닐을 세척하였다. 세척된 폐비닐에 남아있는 잔류 흙의 양을 TGA로 그리고 구성 성분은 DSC로 분석하였다. 재활용 비닐의 물성은 인장 시험으로 측정하였으며, 구맹된 수지와 비교하였다. 재활용 비닐의 주요 구성성분은 PE로 HDPE, LLDPE, LDPE, EVA가 10:6:3:1비로 나타났다. 공기세척지로 30분 세척된 폐비닐은 2.1%의 잔류량을 보였으며, 한국자원재생공사에서 물로 세척된 폐닐은 1.5%의 잔류량을 보였다. 세척된 비닐의 물성은 구매된 수지를 같은 비율로 혼합한 시료와 비슷한 값을 보였다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제13권2호
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• pp.131-136
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• 2000

We have investigated the slurry induced metallic contaminations of undoped and doped silicate oxides surface on CMP cleaning process. The metallic contaminations by CMP slurry were evaluated in four different oxide films, such as plasma enhanced tetra-ethyl-orthyo-silicate glass(PE-TEOS), O3 boro-phos-pho-silicate glass(O3-BPSG), PE-BPSG, and phospho-silicate glass(PSG). All films were polished with KOH-based slurry prior to entering the post-CMP cleaner. The Total X-Ray fluorescence(TXRF) measurements showed that all oxide surfaces are heavily contaminated by potassium and calcium during polishing which is due to a CMP slurry. The polished O3-BPSG films presented higher potassium and calcium contaminations compared to PE-TEOS because of a mobile ions gettering ability of phosphorus. For PSG oxides, the slurry induced mobile ion contamination increased with an increase of phosphorus contents. In addition, the polishing removal rate of PSG oxides had a linear relationship as a function of phosphorus contents.

• 한국식품저장유통학회지
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• 제15권6호
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• pp.804-809
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• 2008

울릉미역취의 저장기간 연장을 위한 MAP기술을 개발하기 위하여, 포장재질과 저장온도가 품질 특성에 미치는 영향을 조사하였다. 울릉미역취를 6월경에 수확하여 $30\;{\mu}m$ PP, $30\;{\mu}m$ Antifogging-OPP, $30\;{\mu}m$ LDPE, $18\;{\mu}m$ Macroperforated-HDPE, $60\;{\mu}m$ Nylon/PE, $85\;{\mu}m$ PVC/PE 재질의 필름으로 밀봉포장하고 4, 10, $20^{\circ}C$에서 저장하면서 포장내의 기체 농도와 품질 특성을 분석하였다. 저장온도 $10^{\circ}C$에서 포장 내의 산소 농도를 비교해보면 PP와 A-OPP 포장구는 $9{\sim}10%$, LDPE 포장구는 $12{\sim}16%$, Nylon/PE와 PVC/PE 포장구는 2%를 각각 유지하였다. 포장 내의 이산화탄소 농도는 PP, A-OPP, LDPE 포장구는 5%를, Nylon/PE와 PVC/PE 포장구는 경시적으로 증가함을 보였다. 중량감소는 M-HDPE 포장구에서는 거의 억제되지 않았으나 그외 포장구에서는 강력하게 억제되었고 저장온도가 낮을수록 억제효과는 증가됨을 보였다. 가용성 고형분 함량과 pH는 $4^{\circ}C$와 $10^{\circ}C$에서는 큰 변화를 보이지 않았고 포장재질의 영향도 받지 않았으나 $20^{\circ}C$에서는 포장재질에 따라 다른 변화양상을 나타내었다. 관능적 품질 특성인 외관, 색 및 전반적 기호도가 저온과 PP 포장구에서 가장 높게 평가되었다. 이로써 울릉미역취에 적합한 MAP 조건은 포장 내를 약 10% 산소와 5% 이산화탄소로 유지할 수 있는 PP 재질과 $4^{\circ}C$ 저장인 것으로 확인되었다.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 1998년도 춘계학술발표회 초록집
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• pp.38-38
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• 1998

• 자원리싸이클링
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• 제17권3호
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• pp.10-20
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• 2008

농업용 폐비닐의 재활용에 대한 무기충진재의 거동을 연구하기 위하여 한국환경자원공사 시화 및 정읍공장에서 세척된 PE fluff들을 각각 사용하였다. 먼저 PE 플러프에 무기충진재인 탄산칼슘과 칼펫을 배합비율별로 혼합하여 용융 압출을 통한 시험용 펠렛들을 제조한 후 프레스 몰딩을 거쳐 시료별로 시험용 시트들을 제작하였다. 이들 무기충진 복합재의 기계적 특성인 인장, 굴곡, Izod 충격시험을 실시하였고, 열적 특성인 열변형온도, vicat 연화온도, 용융흐름지수(MFI)를 시험 및 분석을 하였다. 또한 플라스틱 내부에서 무기충진재의 분산성 및 wetting정도를 확인하기 위하여 SEM을 통해 모폴로지를 조사하였다. 이들 결과로부터 물리적인 측면과 경제적인 관점에서 재생 PE와 무기충진재의 최적 배합비들을 얻었다.

• 접착 및 계면
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• 제13권1호
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• pp.38-44
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• 2012

본 연구는 왁스를 함유한 자외선 경화형 코팅제의 경화 물성, 표면 모폴로지, 코팅 표면 물성을 Photo-DSC, SEM, 진자경도, 연필경도 및 광택도를 이용하여 평가하였으며, 특히 왁스의 종류(파라핀 왁스, PE 왁스)에 따른 제반 코팅 물성을 조사하였다. 그 결과 왁스의 종류는 코팅 도막의 광택도와 표면 경도에 큰 영향을 주는 것으로 나타났으며, 유동성이 우수하며 부드러운 고체상의 파라핀 왁스를 사용한 경우에는 저광택의 소광성을 보여주었다. Photo-DSC의 ${\Delta}H$는 왁스를 함유한 코팅 시스템이 함유하지 않은 시스템 보다 높게 나타났는데, 특히 파라핀 왁스를 사용한 경우의 ${\Delta}H$가 PE 왁스를 사용한 경우에 비해 높게 나타났다. 이는 파라핀 왁스가 PE 왁스에 비해 더 효과적으로 공기 중의 산소를 차단하여 경화성이 높아진 것임을 의미한다. 또한 왁스의 산소 차단 효과는 경화속도와 밀접한 관계가 있는 것으로 확인되었다.

• Journal of Microbiology and Biotechnology
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• 제18권3호
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• pp.568-572
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• 2008

This study was conducted to investigate the effect of modified atmosphere packaging (MAP) in combination with BN/PE film on the shelf life and quality of fresh-cut iceberg lettuce during cold storage. The total mesophilic population in the sample packed in BN/PE film under MAP conditions was dramatically reduced in comparison with that of PE film, PE film under MAP conditions, and BN/PE film. The $O_2$ concentration in the BN/PE film under MAP conditions decreased slightly as the storage period progressed. The coloration of the iceberg lettuce progressed the slowest when it was packaged in BN/PE film under MAP conditions, followed by BN/PE film, PE film, and PE film under MAP conditions. The shelf life of fresh-cut iceberg lettuce packaged in the BN/PE film under MAP conditions was extended by more than 2 days at $10^{\circ}C$ as compared with that of the BN/PE film in which the extension effect was more than 2 days longer than that of PE, PET, and OPP films.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 영호남학술대회 논문집
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• pp.171-174
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• 2000

We have investigated the CMP slurry properties of silicate oxide thin films surface on CMP cleaning process. The metallic contaminations by CMP slurry were evaluated in four different oxide films, such as plasma enhanced tetra-ethyl-ortho-silicate glass(PE-TEOS), $O_3$ boro-phospho silicate giass( $O_3$-BPSG), PE-BPSG, and phospho-silicate glass(PSG). All films were polished with KOH-based slurry prior to entering the post-CMP cleaner. The Total X-Ray Fluorescence(TXRF) measurements showed that all oxide surfaces are heavily contaminated by potassium and calcium during polishing, which is due to a CMP slurry. The polished $O_3$-BPSG films presented higher potassium and calcium contaminations compared to PE-TEOS because of a mobile ions gettering ability of phosphorus. For PSG oxides, the slurry induced mobile ion contamination increased with an increase of phosphorus contents.

• 한국윤활학회:학술대회논문집
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• 한국윤활학회 2003년도 학술대회지
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• pp.368-376
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• 2003

In this research, DLC thin films are produced as several hundred nm thickness by PE-CVD method. And then these thin films are estimated tribological characteristics to find out useful possibilities as a protecting film for high-quality function and life extension at MEMs by mechanical properties observation . These are measured thickness and residual stress of DLC coating. Compared after measuring friction coefficient, adhesion force, hardness, cohesive force of coating films. As results all test, we can decide several conclusions. First, friction coefficient decreased, as the load increased. otherwise, friction coefficient increased, as thickness of coating film increased under low load$(1\~50mN)$. Secod, adhesion force increased as thickness of coating films. Third, hardness of coating film is affected by substrate coating film when it is less than thickness of 300nm and it has general hardness of DLC coating film when it is more than thickness of 500nm. Fourth, cohesive force of coating film is complexly affected by hardness, adhesion force, residual stress, etc.