• 제목/요약/키워드: PAD 변화

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Metal CMP 용 컨디셔너 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 형상이 미치는 패드 회복력 변화 (The Pad Recovery as a function of Diamond Shape on Diamond Disk for Metal CMP)

  • 김규채;강영재;유영삼;박진구;원영만;오광호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제13권3호
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    • pp.47-51
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    • 2006
  • 디바이스의 고집적화로 인한 다층 배선구조로 인해 초점심도가 중요해짐에 따라 표면의 평탄도가 디바이스에 매우 큰 영향을 주게 되어, 표면의 평탄도를 결정지어주는 CMP(Chemical Mechanical Polishing) 공정이 매우 중요한 요소가 되었다. CMP 공정에는 슬러리, 연마패드, 컨디셔닝 디스크와 같은 소모품들이 사용된다. 이러한 소모품 중 하나인 컨디셔닝 디스크를 이용한 컨디셔닝 공정은 CMP 공정이 끝난 후 패드의 기공과 groove 내에 잔류 하는 화학반응물이나 슬러리와 같은 잔유물들을 컨디셔닝 디스크 표면에 부착되어 있는 다이아몬드를 이용하여 제거 함으로써 연마율을 높이고, 연마 패드의 수명을 증가 시켜주는 역할을 한다. 컨디셔닝 공정을 실시함으로써 연마 패드의 수명이 연장되기 때문에 경제적인 부분에서도 큰 이점을 가지게 된다. 본 연구에서는 이러한 CMP 공정에서 중요한 역할을 하는 소모품 중 하나인 컨디셔닝 디스크 표면에 존재하는 다이아몬드의 밀도, 형상 그리고 크기에 따라 연마 패드의 회복력 변화를 알아봄으로써 효율적인 컨디션닝 디스크의 특성을 평가해 보았다.

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도시철도 침목플로팅궤도(STEDEF)의 침목방진패드 피로거동 분석 (Evaluation on Fatigue Behavior of Resilience pad for Sleeper Floating Track System in Urban Transit)

  • 최정열;이정숙;봉재근;김수진;정지승
    • 문화기술의 융합
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    • 제6권3호
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    • pp.347-352
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    • 2020
  • 본 연구는 현장측정결과를 바탕으로 도시철도 침목플로팅궤도 (STEDEF)에 사용되는 침목방진패드의 스프링 강성 변화율에 따른 궤도충격계수 변화수준의 경향성을 분석하고, 현장측정결과와 실내 700만회 피로시험결과의 상관관계를 입증하였다. 또한 도시철도 STEDEF 궤도구조에 사용되는 침목방진패드의 비선형 피로거동특성이 고려된 침목방진패드의 피로영향선도를 제시하였다. 현장측정결과를 바탕으로 분석한 궤도충격계수-궤도지지강성 선도의 침목방진패드 스프링강성 변화율 30% 이상에 대한 궤도충격계수의 비선형 특성이 피로시험결과와 일치하는 것으로 분석되었다. 대부분의 침목방진패드 시료에서 침목방진패드 규격서에서 명시한 정, 동적 스프링강성 기준치를 상회하는 수준으로 나타났으며, 작은 하중범위에서의 변위가 큰 침목방진패드의 소재적인 특성을 감안할 때 열차하중을 부담하는 침목방진패드의 전체적인 탄성변위량이 클수록 연행집중하중으로 작용하는 열차 하중에 의한 탄성변위의 회복속도가 늦어지고 탄성변위향은 작아지게 되므로 정적 대비 동적 스프링 강성의 비가 커지게 된는 것으로 분석되었다.

수직형 저널 베어링에서 preload 변화에 따른 베어링 패드 온도 변화 (Bearing Pad Temperature Change Depending on the Preload of Vertical Journal Guide Bearing)

  • 김준성;김두영;김동관;박상호
    • 한국유체기계학회 논문집
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    • 제12권6호
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    • pp.33-40
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    • 2009
  • The temperature of vertical pump bearing metal in the pumped storage power plant has been high enough to shutdown the unit. Attempts such as decreasing the oil supply temperature, increasing the bearing oil gap etc. were performed to resolve the problem, but the issue was not resolved. Finally, the high bearing metal temperature was corrected by adjusting the bearing preload. The preload is formed by the oil wedge between the journal surface and bearing pad surface and the degree of preload is determined by the machined radial clearance, assembled radial clearance, rotor journal diameter etc. This paper focuses on the analysis of the preload depending on the bearing parameters and the result of the modification of the bearing following the analysis. The bearing metal temperature dropped as much as $20^{\circ}C$ which was similar as expected by software calculation. But the shaft vibration could increase when the assembled radial clearance is excessive. So, the adjustment of the bearing preload for the tilting pad type journal bearing should be carefully performed.

약패드 뜸 방식을 이용한 체간온도변화에 대한 연구 (A Study on the Variations of the Body Trunk Temperature by the Drug-Pad Moxibustion Method)

  • 윤동업;조봉권
    • 대한전기학회논문지:시스템및제어부문D
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    • 제55권8호
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    • pp.386-396
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    • 2006
  • We implemented the Drug-Pad Moxibustion Method in order to improve the conventional moxibustion therapy. This method is aimed to eliminate burning wounds and smoke, which are the defects of conventional moxibustion therapy. And we performed to verify the efficiency by comparing the Drug-Pad Moxibustion Method with the conventional Indirect Moxibustion Therapy. We measured the body heat and the lasting time of blood circulation improvement using thermography. The moxibustion therapy has two kinds of effects: The formers are pharmacological effects of the Moxa's vasodilators and antioxidants. The latters are thermal effects which cause improvement of the blood circulation. To remove the demerits without omission of above therapeutic effects, we extracted the vasodilators and antioxidant compounds from the Moxa-$CH_2Cl_2$ fraction Moxa-EtOAc and composed the moxibustion kit with $(Ba_{0.8}\;Sr_{0.2})_{0.996}\;Y_{0.004}\;TiO_2+0.5_{WT}\;SiO_2%$ Positive Temperature Coefficients Thermistor. The experimental demonstrations have been made by the stimulating the spot which is CV4(Kwan-Won), CV8(Shin-Guel), CV12(Jung-Wan) acupuncture points of the conception vessel meridian(CV). And stimulating time was one hour. We divided the subjects into 5 groups such as no stimulation group, conventional Indirect Moxibustion group, only Drug-Pad stimulation group, only heat stimulation group, and Drug-Pad Moxibustion group. In the different cases, we have measured the body heat in pre-stimulation, just after stimulation, 2 hours after, and 4 hours after. The body heats of the group who were stimulated by the Drug-Pad Moxibustion Method were increased by over the $2^{\circ}C$. And the body heats of the group who were stimulated by the Indirect Moxibustion Method were increased by average the $1^{\circ}C$. We have evaluated that the Drug-Pad Moxibustion Method is improvement on the conventional Indirect Moxibustion Method by the heat-increasing rate is 200% and the lasting time is 150% with the body heat of the abdominal region. In the conclusions, We have implemented the Drug-Pad Moxibustion Method and evaluated the efficiency of the Drug-Pad Moxibustion Method comparing with the conventional Indirect Moxibustion Method.

레일체결장치용 방진패드의 피로거동에 관한 해석적 연구 (Analytical Study on Fatigue Behavior of Resilient Pad for Rail Fastening System)

  • 최정열
    • 문화기술의 융합
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    • 제7권2호
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    • pp.405-410
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    • 2021
  • 본 연구에서는 레일체결장치용 방진패드의 사용수명 및 스프링강성을 평가하고자 비선형 재료모델 및 피로하중조건을 적용한 유한요소해석을 수행하였다. 피로해석 결과, 초기조건 대비 스프링강성의 변화율은 약 16%로 나타나 피로경화가 발생된 것으로 분석되었다. 방진패드의 길이방향으로 발생되는 응력은 중앙부와 외곽부(Edge)의 발생응력의 차이가 약 10배 이상 발생되었다. 또한 중앙부 보다 외곽 경계부의 등가응력이 2배 이상 크게 발생하는 것으로 분석되었다. 따라서 실제 사용조건에서 방진패드의 손상 및 변형 취약부는 방진패드의 모서리부분인 것으로 분석되었다. 피로해석을 통해 산출된 반복횟수에 따른 방진패드의 등가응력을 이용하여 방진패드의 피로수명선도를 도출하였다. 본 연구에서 도출한 방진패드의 피로수명선도를 이용하여 향후 다양한 하중조건에서 방진패드의 등가응력을 산출하여 해당조건에서의 피로수명을 예측하는 데에 활용이 가능할 것으로 판단된다.

양면 인쇄법을 이용한 중금속 검출용 3D 종이 기반 분석장치 제작 (Fabrication of 3D Paper-based Analytical Device Using Double-Sided Imprinting Method for Metal Ion Detection)

  • 최진솔;정헌호
    • 청정기술
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    • 제28권4호
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    • pp.323-330
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    • 2022
  • 미세유체 종이-기반 분석 장치는 최근 현장 진단 및 환경 물질 감지를 포함한 다양한 적용가능성으로 주목을 받고 있다. 본 연구는 적은 비용과 간단한 검출 방법으로 중금속을 빠르게 검출할 수 있는 3D-μPAD를 제작하기 위해 PDMS 양면 인쇄 방법을 제안하였다. 3D-μPAD 디자인은 레이저 커팅으로 아크릴 스탬프에 적용할 수 있으며, 제작된 스탬프에 PDMS 고분자를 스핀 코팅 후 양면접촉인쇄 방식 도입을 통해 3차원 형태의 소수성 장벽 형성에 필요한 조건을 확인하였다. 구체적으로 소수성 장벽 형성 조건인 고분자 농도, 스핀 코팅 속도 및 접촉 시간에 따라 PDMS 소수성 장벽 면적과 친수성 채널의 면적 변화를 분석함으로써 3D-μPAD 제작 공정 조건 최적화를 수행하였다. 최적화된 μPAD로 니켈, 구리, 수은 이온, pH를 다양한 농도에서 검출하였고 이를 ImageJ 프로그램으로 분석하여 grayscale 값으로 정량화 하였다. 이를 통해 3D-μPAD를 제작함으로써 특별한 분석 기기 없이 다양한 중금속 비색 검출을 수행함으로써 조기진단 바이오 센서로의 응용 가능성을 증명하였다. 이 3D-μPAD는 휴대가 간편한 다중 금속이온 검출 바이오센서로서, 신속한 현장 모니터링이 가능하므로 개발도상국 같은 자원이 제한된 지역에서 유용하게 사용 가능하다.

인공재배 상황버섯 액상추출차 제조를 위한 최적추출 및 청징화 조건 (Optimization of Extraction and Clarification Condition for Preparation of Liquid Extract Tea from Artificially Cultivated Phellinus linteus)

  • 송효남;오세욱
    • 한국식품영양과학회지
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    • 제31권4호
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    • pp.636-641
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    • 2002
  • 인공재배한 상황버섯 원료의 영양성분은 탄수화물의 함량이 80.9%로 가장 많았고, Na, K, Ca, Fe의 무기질 4종도 비교적 풍부하게 함유되어 있었으나 비타민 B$_1$, B$_2$, C와 같은 수용성비타민은 검출되지 않았다. 가장 바람직한 추출조건은 5% 농도의 원료를 10$0^{\circ}C$의 온도에서 3시간 이내에 추출하는 것으로 나타났다. 추출물의 청정화를 위해서 depth filter pad를 이용한 여과법, 원심분리법 및 여과조제 첨가법 등을 적용한 결과 원심분리와depth filter pad를 이용했을 때 가장 우수한 청정효과를 나타내었고, 7주간 항온저장실험으로 탁도를 비교한 결과에서도 청정도의 변화가 거의 없었다. 결론적으로 상황버섯 추출물은 6,000 rpm이상에서의 원심분리나 8$\mu\textrm{m}$ 이하의 pore size를 지닌 filter system을 이용할 때 청정도를 가장 효과적으로 유지할 수 있었다

오일팜 EFB 섬유 적용에 따른 육묘패드 특성변화 (The Change in the Properties of Seeding Pad by the Oil Palm EFB Fiber)

  • 김동섭;;성용주;김철환;김세빈
    • 펄프종이기술
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    • 제47권5호
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    • pp.15-22
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    • 2015
  • The crop production technologies keep in improving and the cultivation becomes more standardization owing to the significant developments of various agricultural materials. The artificial soil and base system for root could be one of the major technologies for the modern cultivation especially for controlled horticulture. Although the perlite, cocopeat, and peat moss are the major components of the artificial soil and are broadly used for various application, there is a great need for the new alternative materials for overcoming the low nutrition and the possible shortage of raw materials. In this study, the application of oil palm EFB fiber as an alternative materials for artificial soil especially for the seeding pad components was evaluated. The changes in the structural properties and the functional properties such as moisture holding properties were compared by laboratory produced seeding pads with different mixture of oil palm EFB fiber. The addition of fibrillated EFB fiber resulted in the significant increase in durability of the seeding pad, which showed the possible application of EFB fiber to the seeding pad instead of the wood fiber (UBKP). The moisture holding properties and the germination condition characteristics of the EFB fiber showed the slight less than those of the cocopeat, which require more sophisticated study for improving the functional properties of seeding pad made of the EFB fiber.

패드 컨디셔닝 온도 변화가 ITO 박막 연마특성에 미치는 영향 (CMP Properties of ITO Thin Film with a Control of Temperature in Pad Conditioning Process)

  • 최권우;김남훈;서용진;이우선
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 추계학술대회 논문집 Vol.18
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    • pp.70-71
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    • 2005
  • The material that is both conductive in electricity and transparent to the visible ray is called transparent conducting thin film. It is investigated the performance of ITO-CMP process using commercial silica slurry with the various conditioning temperatures by control of de-ionized water (DIW). Removal rate of ITO thin film was improved after CMP process after pad conditioning at the high temperature by improved exclusion of slurry residues in polishing pad..

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원형핀의 밀리 전방압출에서 녹아웃패드와 압출비가 기계적 성질 변화에 미치는 영향 (Effects of knock-out Pad and Extrusion Ratio on Mechanical Property Changes in Milli-Forward Extrusion of Cylindrical Pin)

  • 심경섭;김용일;이용신;김종호
    • 소성∙가공
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    • 제12권6호
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    • pp.582-587
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    • 2003
  • This paper is concerned with the mechanical property changes of the milli-size products manufactured by forward extrusion processes with square dies. Experiments are carried out with pure aluminum and pure copper billets. Extrusion ratio and knock-out pad are chosen as the important process parameters affecting the changes of mechanical properties such as shear strength and hardness. Shear strength tests with the extruded milli-size pin have shown the strong relation between victors hardness and shear strength in the neck of a stepped pin. As the extrusion ratio increases, the hardness on both the surface and the center line of a pin also increase. It is also noted that the hardness on the surface is a little higher than that on the center. The existence of knock-out pad in extrusion die causes the hardness in the neck of a extruded pin to increase. Finally, the approximated linear relations between shear strength and hardness of a pin are suggested.