Design, Fabrication and Micromachining Error Evaluation for a Surface-Micromachined Polysilicon Capacitice Accelerometer (표면미세가공기술을 이용한 수평감지방식의 정전용량형 다결정 실리콘 가속도계의 설계, 제작 및 가공 오차 영향 분석)
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- Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers A
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- v.25 no.3
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- pp.529-536
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- 2001