• 센서학회지
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• 제16권4호
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• pp.301-306
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• 2007

AlN thin film for SAW filter application was deposited on (100) silicon wafers by reactive magnetron sputtering method. The structural characteristics were dependent on the deposition conditions such as sputtering pressure, RF power, substrate temperature, and nitrogen partial pressure. Scanning Electron Microscope (SEM), X-ray Diffraction (XRD), Electron Probe MicroAnalyzer (EPMA) and Atomic Force Microscope (AFM) have been used to find out structural properties and preferred orientation of AlN thin films. Insertion loss of SAW devices was 28.51 dB and out of band rejection was about 24 dB.

• 한국전자파학회논문지
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• 제13권6호
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• pp.552-559
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• 2002

본 논문에서 는 Ka-band 위 성 중계 기용 국부발진기 의 EM(Engineering Model)을 설계 및 제작하였다. 루프 대역 밖의 위상잡음을 개선하기 위해서 고임피던스 변환기를 이용한 낮은 위상잡음의 전압제어 발진기를 설계하고 샘플링위상비교기(Sampling Phase Detector)를 사용하여 전압제어 발진기를 고안정의 OCXO(Oven Controlled Crystal Oscillator)에 위상 고정시킴으로써 루프 대역 내의 위상잡음을 개선하였다. 개발된 국부발진기는 43.83 dBc 이상의 고조파 억압특성을 가지고 있으며 공급전력은 15 V, 160 mA를 필요로 한다. 위상잡음은 -102.5 dBc/Hz @10 KHz와 -104.0 dBc/Hz @100 KHz의 특성을 나타내며 출력전력은 -20 - +7$0^{\circ}C$의 온도 범위에서 13.50 dBm$\pm$0.33 dB의 특성을 얻었다.

• 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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• 한국마이크로전자및패키징학회 2002년도 추계기술심포지움논문집
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• pp.91-95
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• 2002

본 연구에서는 LTCC(Low temperature co-firing ceramic) 기술을 기반으로 한 적층 공정을 이용하여 최근 시장 수요가 증가하고 있는 2.4 GHz ISM(Industral science and medical) 대역의 대역통과 필터를 제작하였다. 또한 제안된 설계방식은 2.0$\times$l.2$\times$0.8㎣ 사이즈의 초소형 필터의 구현이 가능케 하였다. λ/4 공진기의 한쪽에 부하 캐패시터를 적절히 형성시켜 공진기의 길이를 짧게 하는 효과와 더불어 공진기의 Q값과 저지대역 감쇄특성을 향상시킬 수 있었다. 제안된 필터는 결합 스트립 공진기의 커플링 계수와 외부단자 Q값을 요구 사양에 맞게 최적화하여 이를 3차원 구조로 설계되었다. 제작된 대역통과 필터는 시뮬레이션을 통한 설계값과 매우 유사한 경향성을 보여주었다.

• 한국음향학회지
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• 제18권1호
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• pp.10-15
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• 1999

본 연구는 35° Y-X Quartz 기판에 낮은 형상 요소를 갖는 Code Division Multiple Access(CDMA)방식 기지국용 Intermediate Frequency (IF)단 통과대역 필터를 설계하고 제작하는 방법에 대해 연구하였다. 이 기판 위에 임펄스 모델링을 이용하여 낮은 형상 요소를 갖는 표면 탄성파 필터를 제작하기 위해 입력단에는 Apodization weighted형의 빗살무늬 변환기, 출력단에는 Withdrawal weighted형의 빗살무늬 변환기로 구성하였다. 그리고 입출력 IDT의 개수는 리플의 영향을 최소화하기 위해 Kaiser-Bessel 창함수를 이용하였으며, 각각 2200쌍과 1000쌍으로 하였다. IDT 전극의 폭은 3.6㎛, 간격은 3.5㎛였으며 두께는 파장과의 비를 고려해 6000Å으로 할 때 최적의 결과를 얻을 수 있었으며, 구경은 임피던스 정합을 위해 2mm로 하였다. 제작된 SAW필터는 중심 주파수 115.2MHz, 통과대역 폭은 1.27MHz이상, 형상 요소는 1.3이하, 삽입손실 -l5dB 및 저지대역 -45dB이하인 특성을 얻을 수 있었다.

• 대한전자공학회논문지TC
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• 제47권4호
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• pp.38-42
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• 2010

본 논문에서는 슬롯형 분할 나선형 공진기를 이용하여 마이크로스트립 기판상에 구현될 소형 협 대역통과 필터설계기법을 제안한다. 이 필터의 설계기법은 슬롯형 분할 나선형 공진기, 패치사이의 용량성 갭, 그리고 미앤더 구조를 가진 유도성 스터브의 조합으로 구성된 필터 단들의 종속 연결에 근거를 두고 있다. 그 기법하에서 거의 대칭인 필터응답, 가변 대역폭, 그리고 소형필터를 구현할 수 있었다. 제안된 필터는 기존의 필터보다 저지대역에서 우수한 차단특성을 가졌다. 측정결과, 삽입손실은 중심주파수($f_0$=1GHz)에서 -3.47dB, 통과대역에서 -12.62dB 이하, 3dB 대역폭은 약 7.3%로 나타났다. 제작된 필터의 관심 영역 주파수응답은 CST사의 MWS(Microwave Studio)로 전산모의 실험된 값과 잘 일치되었다.

• 한국통신학회논문지
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• 제34권11A호
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• pp.918-923
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• 2009

본 논문에서는 원형 Complementary split-ring resonator(CSRR)를 이용하여 마이크로스트립 기판상에 구현될 소형 협 대역통과 필터설계기법을 제안한다. 이 필터의 설계기법은 원형 CSRR, 패치사이의 용량성 갭, 그리고 미앤드 구조를 가진 유도성 스터브의 조합으로 구성된 필터 단들의 종속 연결에 근거를 두고 있다. 그 기법하에서 거의 대칭인 필터응답, 가변 대역폭, 그리고 소형필터를 구현할 수 있었다. 제안된 필터는 기존의 필터보다 저지대역에서 우수한 차단특성을 가졌다. 측정결과, 삽입손실은 중심주파수($f_0=1GHz$)에서 -4.0dB, 통과대역에서 -9.4dB 이하, 3dB 대역폭은 약 4%로 나타났다. 제작된 필터의 관심 영역 주파수응답은 HFSS로 전산모의 실험된 값과 잘 일치되었다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제15권4호
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• pp.325-331
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• 2002

In this paper, surface acoustic wave(SAW) bandpass filters using slanted finger interdigital electrode transducers(IDTs) are investigated. The slanted finger IDTs are used to design SAW filters with good shape factor, a flat passband, and good out-of-band rejection characteristic. For the filter design, input-output IDT structure was simulated with modified impulse model; uniform-withdrawal weighting IDTs, withdrawal-withdrawal weighting IDTs. SAW filters of uniform-withdrawal weighting IDTs structure were designed and fabricated on $128^{\circ}LiNbO_3$ piezoelectric substrates. Implemented SAW filter has a fractional bandwidth of 30%, center frequency of 70MHz and shape factor of $1.12\pm0.01$.

• 한국전자파학회:학술대회논문집
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• 한국전자파학회 2002년도 종합학술발표회 논문집 Vol.12 No.1
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• pp.3-6
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• 2002

In this paper, Thin film bulk acoustic resonate.(TFBAR) fillers tuned by gold plated on-wafer inductors are presented. The air-gap type TEBAR is used with aluminum nitride(AIN) as piezoelectric material and platinum as top and bottom electrodes. Inductor equivalent model and modified Butterworth-Van Dyke(MBVD) model are employed for the frequency tuning of fabricated TFBAR bandpass filters. Fabricated inductor has inductance of 3 nH and Q factor of about 8 at 2 ㎓. It is clearly revealed that inductor tuning can enhance the bandwidth of ladder filters and improve out-of-band rejection characteristic around 10㏈.

• 대한전자공학회:학술대회논문집
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• 대한전자공학회 2001년도 하계종합학술대회 논문집(1)
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• pp.241-244
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• 2001

The design and fabrication of the surface acoustic wave(SAW) bandpass filters using slanted finger interdigital electrode transducers(IDTs) is investigated. The slanted finger IDTs are used to design SAW filters with good shape factor, a flat passband, and good out-of-band rejection characteristic. The slanted finger IDTS filter was simulated of three kind of IDTs structure. uniform-uniform IDT, uniform-withdrawal weighting IDTS, withdrawal weighting-withdrawal weighting IDTS. Uniform-withdrawal weighting IDTs structure SAW filters was designed and fabricated on 112$^{\circ}$ LiTaO$_3$, 128$^{\circ}$LiNbO$_3$ substrates. Designed SAW filter has about a 30% fractional bandwidth and a 70MHz center frequency.

• 한국정보통신학회논문지
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• 제8권3호
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• pp.686-693
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• 2004

WCDMA용 SAW 필터를 제작하기 위하여 mathematica package를 이용한 모의 실험기를 개발하였으며, 전극재료로는 Al-Cu를 사용하였다. 모의실험한 자료를 바탕으로 전극에서 발생하는 ultimate rejection을 줄이기 위해 SFIT형태의 필터를 설계 및 제작하였다. 회절에 의한 현상을 최소화하기 위해 필터의 입력단은 block weighted IDT 형태로, 출력단은 withdrawal weighted IDT형태로 구성하였다. Langasite 기판위에 형성시킨 입 출력 빗살무늬 변환기 전극 수는 50쌍, 두께와 폭은 5000$\AA$와 1λ4(((equation omitted) 3.6$\mu\textrm{m}$)로 하였으며, IDT 전극 폭과 전극간격 은 각각 1λ/16와 1λ/8로 하였다. 제작한 SAW 필터의 특성은 중심주파수는 190MHz, 통과대역은 4MHz이며 저지대역은 -60dB이하로 측정되었다.