• 대한전자공학회논문지SD
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• 제44권11호
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• pp.20-25
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• 2007

SiOC 박막과 같은 유무기 하이브리드 실리카 물질에서의 열처리효과에 의한 결합구조의 변화와 유전상수에 관하여 연구하였다. 유무기 하이브리드 실리카 물질은 BTMSM과 산소의 혼합가스를 이용한 CVD방법에 의하여 증착되었다. 유무기 하이브리드 실리카 물질은 증착조건에 따라 3가지 유형으로 분류되었으며, 유전상수는 MIS 구조에 의하여 조사되었다. XPS 분석에 의하여 C 1s 스펙트라는 O2/BTMSM=1.5의 유량비를 갖는 박막에서 282.9 eV의 organometallic carbon 반응을 보여주는 피크를 나타내었다. organometallic carbon반응의 결과는 안정성 있는 크로스 링크 결합구조를 만들어내며, 하이브리드 특성을 갖는 이 박막에서 열처리 후 유전상수는 가장 낮았다.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제27권4호
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• pp.77-81
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• 2020

Resistive RAM (ReRAM)은 전이금속 산화물의 저항변화 특성을 이용하는 차세대 비휘발 메모리로 전이금속산화물 내의 산소공공의 재분포를 통한 저항변화 특성을 이용한다. 따라서 저항변화 특성을 위해 전이금속산화물 내에는 일정량 이상의 산소공공이 요구되며 이를 위해서는 박막 형성 공정에서 산화 수를 조절할 수 있는 공정이 필요하다. 본 연구에서는 직접패턴이 가능한 photochemical metal organic deposition (PMOD) 공정을 사용하여 UV 노출에 의해 photochemical metal organic precursor의 ligand가 분해되는 과정에서 전기장을 인가하여 박막내의 산화 수를 조절하는 실험을 진행하였다. Electric field assisted PMOD (EFAPMOD) 법을 이용하여 FeOx 박막의 산화 수 조절이 가능함을 x-ray photoelectron spectroscopy (XPS) 분석과 I-V 측정을 통하여 확인하였으며, EFAPMOD 공정 중 인가하는 전압의 크기를 조절하여 박막의 산화 수를 조절할 수 있음을 확인하였다. 따라서 EFAPMOD 공정 중 인가전압의 크기를 이용하여 저항변화 특성에 적합한 적정한 산화수를 가지는 금속산화물 박막을 얻고 그 저항변화 특성을 조정할 수 있음을 확인하였다.

• Elastomers and Composites
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• 제49권4호
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• pp.330-335
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• 2014

Niobium pentoxide ($Nb_2O_5$) 나노입자는 niobium (V) chloride 와 pluronic F108NF를 전구체와 주형제로 사용하여 합성하였다. $Nb_2O_5$-graphene나노복합체는 아르곤 가스 분위기 전기로 조건에서 2시간 동안 $700^{\circ}C$로 가열하였다. 시료의 결정화도, 결정형태, 광촉매 분해 반응성은 X-ray diffraction, scanning electron microscopy, transmission electron microscopy, UV-vis spectroscopy를 사용하여 측정하였다. $Nb_2O_5$-graphene나노복합체는 254 nm의 자외선 조건에서 유기염료 광촉매 분해 반응의 광촉매로 사용되었다. 유기염료는 methylene blue (MB), methyl orange (MO), rhodamine B (RhB), brilliant green (BG)이 사용되었다. 또한 $Nb_2O_5$-graphene나노복합체를 사용하여 유기염료 광촉매 분해 반응의 반응 속도를 결정하였다.

• 한국입자에어로졸학회지
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• 제9권2호
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• pp.89-102
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• 2013

24-hr $PM_{2.5}$ samples were collected from January 19 through February 27, 2009 at an urban site of Gwangju and analyzed to determine the concentrations of organic and elemental carbon(OC and EC), water-soluble OC(WSOC), eight ionic species($Na^+$, $NH^{4+}$, $K^+$, $Ca^{2+}$, $Mg^{2+}$, $Cl^-$, ${NO_3}^-$ and ${SO_4}^{2-}$), and 22 elemental species. Haze phenomena was observed during approximately 29%(10 times) of the whole sampling period(35 days), resulting in highly elevated concentrations of $PM_{2.5}$ and its chemical components. An Asian dust event was also observed, during which $PM_{2.5}$ concentration was 64.5 ${\mu}g/m^2$. Crustal materials during Asian dust event contributed 26.6% to the $PM_{2.5}$, while lowest contribution(5.1%) was from the haze events. OC/EC and WSOC/OC ratios were found to be higher during haze days than during other sampling days, reflecting an enhanced secondary organic aerosol production under the haze conditions. For an Asian dust event, enhanced concentrations of OC and secondary inorganic components were also found, suggesting the further atmospheric processing of precursor gases during transport of air mass to the sampling site. Correlations among WSOC, EC, ${NO_3}^-$, ${SO_4}^{2-}$, and primary and secondary OC fractions, which were predicted from EC tracer method, suggests that the observed WSOC could be formed from similar formation processes as those of secondary organic aerosol, ${NO_3}^-$ and ${SO_4}^{2-}$. Results from principal component analysis indicate also that the observed WSOC was strongly associated with formation routes of the secondary organic and inorganic aerosols.

• Composites Research
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• 제33권6호
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• pp.395-400
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• 2020

본 연구에서는 카본나노튜브(CNT) 면상발열체에 preceramic polymer 중 하나인 실세스퀴아잔을 코팅하여 고온에서 안정적인 발열이 가능한 CNT/SiCN 복합체 시트를 제조하였다. 제조된 복합체 필름은 FE-SEM을 통해 실세스퀴아잔이 CNT 면상발열체의 표면을 모두 코팅한 것을 확인하였다. 또한 800℃의 열처리를 통해 실세 스퀴아잔이 SiCN 세라믹으로 전환되어도 표면의 결함이 발견되지 않고 온전한 구조를 유지하는 것을 확인하였다. CNT/SiCN 복합체 시트는 질소와 공기 분위기 모두에서 기존의 CNT 시트보다도 높은 열적 안정성을 확보할 수 있었다. 마지막으로 제조된 CNT/SiCN 복합체 필름은 대기 중에서 700℃ 이상의 온도로 발열이 가능하였고 발열 후 온도를 식히고 재발열 또한 성공적으로 이루어졌다.

• 한국응용과학기술학회지
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• 제33권1호
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• pp.67-74
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• 2016

프러시안 블루 유사체(Prussian Blue Analogue : PBA)는 3차원 구조와 기공을 갖는 금속-유기골격체이며, 유기 리간드의 종류에 따라 다양한 구조를 갖는다. PBA는 바이오센서, 광학, 촉매, 수소 저장 장치 등의 분야에서 주목 받고 있으며 화학적 안정성을 가진 환경 친화적인 물질이다. 또한 다양한 크기의 미세기공을 조정할 수 있어 흡착분야에서 많이 활용되고 있다. 본 연구는 수열합성법을 이용하여 금속유기골격체인 $Mn_3[Fe(CN)_6]_2$를 합성하였다. 전구체로 $K_4[Fe(CN)_6]$와 $MnCl_2$를 사용하였고, 합성된 물질은 소성하여 망간철산화물을 생성하였다. 실험 변수로 전구용액의 pH, 전구체의 몰농도, 반응시간을 조절하여 입자의 크기와 형태에 대한 영향을 확인하였다. 합성된 다공체는 XRD, SEM, FT-IR, UV-Vis, TG/DTA에 의해 분석하였고, 여러 염료에 대한 흡착 특성을 평가하였다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2002년도 추계종합학술대회
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• pp.477-480
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• 2002

ULSI(ultra large scaled integrated circuits)의 고집적화와 고속화를 위한 다층 배선 기술 중에서 층간 절연막의 특성을 향상시켜주는 것은 매우 중요한 요소이다. 소자의 소형화에 따른 절연층의 용량에 의한 신호의 지연을 방지하고 금속배선간의 상호간섭을 막아주기 위해서 현재 요구되는 0.13$\mu\textrm{m}$급 소자의 경우에서는 유전율이 매우 낮은 k$\leq$2.0인 층간 절연막이 필요하게 된다. 이러한 차세대 반도체 소자의 층간 절연물질로서 사용될 유력한 저유전 물질로 Nanoporous silica(k=1.3~2.5)를 적용하려는 연구가 진행되고 있다(1)-(3). 그러한 물질 중에 하나가 organosilicate films이 있는데 carbon-doped oxides, silicon-oxicarbides, carbon-incorporated silicon oxide film, organic-inorganic hybrid type Si-O-C thin films 혹은 organic-inorganic hybrid silica materials 등으로 불린다. 이에 본 연구에서는 nano-pore를 갖는 유무기 하이브리드 구조의 저유전 박막을 BTMSM/O$_2$의 혼합된 precursor를 사용하여 ICPCVD 방법에 의해 형성하였다. 총 유량을 20sccm이 되도록 하여 $O_2$:BTMSM(Ar)의 유량비를 변화시키며, 작업진공도는 300mTorr였다. 기판은 가열하지 않고, p-type Si(100) 위에 Si-O-C-H 박막을 형성하였다. 열적안정성을 조사하기 위하여 30$0^{\circ}C$, 40$0^{\circ}C$, 50$0^{\circ}C$에서 30분간 열처리하여 비교 분석하였다. 형성된 박막의 특성은 XPS로 분석하여 유전상수와의 상관관계를 조사하였다.

• 상하수도학회지
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• 제11권1호
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• pp.81-87
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• 1997

Coagulation is very important process in water works. The subsequent processes are directly affected by this process. Many factors such as turbidity, alkalinity, pH, hardness, total organic carbon(TOC), velocity gradient and flocculation time effect on coagulation process. Among these factors, specially TOC is being concerned target substance to be removed due to trihalomenthanes(THMs) precursor and alkalinity is being one of the major parameter for removing TOC. We have researched the consumption of coagulant with TOC alkalinity concentration of water and removal efficiency of residual TOC and turbidity with alkalinity. Furthermore we have investigated particle size distributions with velocity gradient and alkalinity. The consumption of coagulant was proportionally increased to TOC and alkalinity concentration and the removal of TOC in Nakdong river water was very difficult more than 150 mg/l in alkalinity but large morecular weight organic such as humic acid could be removed easily. Coagulation of low alkalinity water was more rapidly occured than of high alkalinity water by analyzing the particle size distributions. High alkalinity water needed higher mixing energy for a good coagulation within limited flocculation time.

• 한국재료학회지
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• 제12권8호
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• pp.595-599
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• 2002

A homogeneous and stable, amorphous-type, anorthite (CaO $Al_2$$O_3$ $2SiO_2$)powder was synthesized by an organic-inorganic steric entrapment route. Polyvinyl alcohol ( PVA) was used as an organic carrier for the precursor ceramic gel. The PVA content, its degree of polymerization and type of silica sol had a significant influence on the calcination and crystallization behavior of the precursors. For densifiction and crystallization at low temperature, porous and soft, amorphous-type anorthite powder was planetary milled for 20h. The milled powder crystallized to stable anorthite phase and densified to a relative density of 94% below $1000^{\circ}C$. In the development of crystalline phases of the planetary milled powder, omisteinbergite phase was unusually observed at $900^{\circ}C$, and then anorthite was observed at $950^{\circ}C$. The sintered anorthite had a thermal expansion coefficient of $4.6$\times$10^{-6}$ /$^{\circ}C$ and a dielectric constant of 7.5 at 1 MHz. Finally, the anorthite synthesized by the new process is expected to be an useful material for low-firing ceramic substrate.

• 한국입자에어로졸학회지
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• 제5권1호
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• pp.1-7
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• 2009

Fe- and V-doped titanium dioxide nanoparticles consisting of spherical primary nanoparticles were synthesized from a mixed liquid precursor by using the flame spray pyrolysis. The effects of dopant concentration on the powder properties such as morphology, crystal structure, and light adsorption were analyzed by TEM, XRD, and UV-Vis spectrophotometer, respectively. As the V/Ti molar ratio increased, pure anatase particles were synthesized. On the contrary, rutile phase particles were synthesized as the Fe/Ti ratio increased. Photocatalytic property of as-prepared $TiO_2:Fe,V$ nanoparticles was investigated by measuring the removal efficiency for volatile organic compounds (VOCs) under the irradiation of visible light. After 2 hrs under visible light, the removal efficiencies of benzene, p-xylene, ethylbenzene, and toluene were reached to 21.9%, 21.4%, 19.8% and 17.6% respectively.