${AI_2}{O_3}$ / AI 및 ${SnO_2}-{AI_2}{O_3}$ /AI박막습도 센서에 관한 연구
(A Study on the ${AI_2}{O_3}$ / and ${SnO_2}-{AI_2}{O_3}$ /AI Thin Film Humidity Sensors)
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- 한국재료학회지
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- 제4권2호
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- pp.159-165
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- 1994