OTS 처리된 $SiO_2$ 박막의 전기적인 특성
(Electrical properties of $SiO_2$ thin film by OTS treatment)
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- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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- 한국전기전자재료학회 2007년도 하계학술대회 논문집 Vol.8
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- pp.169-170
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- 2007