Synthesis of High Purity Aluminum Nitride Nanopowder in Ammonia and Nitrogen Atmosphere by RF Induction Thermal Plasma (RF 유도결합 열 플라즈마를 이용한 암모니아와 질소분위기에서 고순도 AlN 나노 분말의 합성)
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- Journal of the Korean Ceramic Society
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- v.51 no.3
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- pp.201-207
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- 2014