• 제목/요약/키워드: Ni-P

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무전해 Ni-P막의 P 함량 변화에 따른 Sn과의 반응 메커니즘 연구 (Study on the reaction mechanism between Sn and electroless Ni-P with varying P content)

  • 손윤철;유진;강성권;;최원경
    • 한국마이크로전자및패키징학회:학술대회논문집
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    • 한국마이크로전자및패키징학회 2003년도 기술심포지움 논문집
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    • pp.88-93
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    • 2003
  • 무전해 Ni-P와 Sn의 반응 및 Ni-P의 결정화에 대한 P 함량의 영향을 세 가지 다른 조성의 Ni-P (P 4.6, 9, 13 $wt.\%$)를 이용하여 연구하였다. $300^{\circ}C$까지 열처리한 모든 시편에서 $Ni_3Sn_4$ intermetallic compound (IMC)가 생성되었고 이들 시편을 $450^{\circ}C$까지 열처리한 경우 Sn 두께가 $0.5{\mu}m$로 작을 때 $Ni_3Sn_4$가 모두 $Ni_3Sn_2$로 변화하였다. nanocrystal인 Ni-4.6P는 Ni (111) texture를 유지하며 결정화되었고 Sn과의 반응시 형성되는 $Ni_3Sn_4$ IMC 또한 비정질인 Ni-9P, Ni-13P 경우보다 강한 (111) texture를 가짐이 확인되었다. Ni-P 막의 P 함량이 작은 경우 $Ni_3Sn_4$ IMC는 두껍고 조밀하게 형성되는 반면 P-rich layer 두께는 작아졌다.

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무전해 Ni(P)과 무연솔더와의 반응 중 금속간화합물의 spalling 현상에 관한 연구 (Spalling of Intermetallic Compound during the Reaction between Electroless Ni(P) and Lead-free Solders)

  • 손윤철;유진한;강성권;;이택영
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.37-45
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    • 2004
  • 무전해 Ni(P)는 솔더링 특성과 부식저항성이 우수하고 표면 거칠기가 적으며 원하는 금속 상에 선택적으로 도금이 가능하여 전자패키지에서 반도체칩과 기판의 표면 금속층으로 촉 넓게 사용되고 있다. 그러나 솔더와의 반응 중 금속간 화합물의 spalling과 솔더 조인트에서의 취성파괴 문제가 성공적인 적용의 걸림돌이 되어 왔다. 본 연구에서는 각각 조성이 다른 세가지 Ni(P)막 (4.6,9, and $13 wt.\%$ P)을 사용하곡 솔더와의 반응시 무전해 Ni(P)막의 미세구조 및 상 변화와 금속간화합물의 spatting 거동을 면밀히 조사하였다. $Ni_3Sn_4$ 화합물 아래로 침투한 Sn과 P-rich layer ($Ni_3P$)와의 반응에 의해 $Ni_3SnP$ 층이 형성되며 $Ni_3SnP$ 층이 성장함에 따라 $Ni_3Sn_4$가 spalling됨이 관찰되었다. Spalling 후에는 Ni(P)막이 용융된 솔더와 직접 접촉하게 되어 Ni(P)막의 결정화가 가속화되고 $Ni_3P$상이 $Ni_2P$상으로 변태되었다. 또한 이러한 결정화 과정 중 Ni(P)막의 부피가 감소됨에 따라서 인장응력이 발생하여 막 내부에 크랙이 발생하였다.

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Co-Ni-P-B/Ni foam 촉매에서 $NaBH_4$ 가수분해를 통한 수소 발생 (Hydrogen Generation from $NaBH_4$ Hydrolysis on Co-Ni-P-B/Ni Foam Catalyst)

  • 박대일;김태규
    • 한국수소및신에너지학회논문집
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    • 제21권5호
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    • pp.383-389
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    • 2010
  • Co-B, Co-P-B, Co-Ni-B and Co-Ni-P-B catalysts supported on Ni foam were prepared using electroless plating in the present study. The surface morphology of the catalysts/Ni foam was observed using SEM and EDS analysis. The Co-Ni-P-B/Ni foam catalyst showed the superior performance on hydrogen generation due to the uniform formation of catalyst particles on the Ni foam surface. The characteristics of hydrogen generation with Co-Ni-P-B/Ni foam catalyst was investigated at the variety of $NaBH_4$ and NaOH concentrations. Durability test was performed, resulting in the stable hydrogen generation for 6 hours.

Cu 배선 확산 방지용 전해 Ni-Re-P 합금 피막의 열적 안정성 (Thermal Stability of Electrodeposited Ni-Re-P Diffusion Barrier for Cu Interconnection)

  • 김문태;조진기
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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    • pp.142-142
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    • 2009
  • 전자 소자 배선 재료로 이용되는 Cu의 확산 방지막으로서 170nm 두께의 전해 Ni-Re-P 합금 피막이 Cu substrate 위에 제조되었으며 피막특성 및 확산 거동을 연구하였다. 도금 피막내의 P와 Re의 조성분석은 WDXRF로 분석하였으며, 각 함량은 6wt.%와 10wt.%였다. DSC와 XRD는 Ni-Re-P 피막의 결정화 온도가 Ni-P 피막보다 높다는 것을 보여줬다. 이 결과는 Ni-Re-P 피막의 열적 안정성이 Ni-P피막보다 더 우수하다는 것을 나타낸다.

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마찰부식 방지를 위한 Ni-P-PTFE 코팅의 적용 (Application of Ni-P-PTFE Coatings for Preventing Fretting Corrosion)

  • 홍진원;이근우;배규식
    • 한국재료학회지
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    • 제16권7호
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    • pp.430-434
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    • 2006
  • Au/Ni coatings are widely used in the electrical interconnect system, such as connectors, sockets and wire crimps. But due to repeated mechanical contacts, fretting corrosion occurs and causes a rapid increase in resistance. As an attempt to resolve these problem, application of Ni-P-PTFE to replace Ni undercoats was proposed, for which basic materials properties of Ni-P-PTFE coatings for preventing fretting corrosion was examined in this study. The Ni-P-PTFE coatings were formed by electroless Ni plating and PTFE coating followed by the heat-treatment. PTFE particles were found to be uniformly distributed in the Ni-P matrix. The Ni-P-PTFE coatings showed the excellent anti-adherent property with the contact angle of $104.3^{\circ}$, microhardness of 144.3 Hv comparable to that of Ni-P, and electric conductivity equivalent to that of Ni-P.

Ni-Px/C 다층 도금층의 내식성과 표면 전기저항 평가 (Evaluation of Corrosion and Surface Resistance of Ni-Px/C Multi Layer)

  • 박제식;정은경;이철경
    • 한국표면공학회지
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    • 제45권4호
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    • pp.162-167
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    • 2012
  • Ni-P/C multi-layer was synthesized by electroless plating and paste coating for better corrosion and surface conductance as a metallic bipolar plate. The Ni-P layer could be synthesized with the range of 2.6~22.4 at.% P contents and it's surface morphology and corrosion resistance depend on content of P. Corrosion resistance of the Ni-P layer in sulfuric acid by electrochemical test is similar with pure Ni. Surface resistance of pure Ni after corrosion was increased about 8% compared to pure Ni. On the other hand, that of the Ni-P/C composite with 20% carbon content was increased only 1%.

$\gamma-FIB$ 장치를 사용한 Ni 박막의 일함수 결정 (Determination of the work function of the Ni thin films by using $\gamma-FIB$ system)

  • 오현주;현정우;이지훈;임재용;추동철;최은하;김태환;강승언
    • 한국진공학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.16-19
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    • 2003
  • 실온에서 p-InP (100) 위에 이온빔 증착법으로 Ni 박막을 성장하였다. Ni 박막의 이차전자방출계수(${\gamma}$)와 일함수를 결정하기 위하여 Ne, Ar, $N_2$, Xe 이온원을 사용하여 가속전압에 따른 $\gamma$를 측정하였다. 여러 가지 기체와 집속이온빔장치의 가속전압에 따른 $\gamma$결과로부터 Ni 박막의 일함 수를 결정하였다. p-InP (100) 위에 성장한 Ni 박막의 일함수는 5.8 eV ~ 5.85 eV 이었다. 실험을 통하여 얻어진 결과들은 실온에서 p-InP (100) 위에 성장한 Ni 박막의 전자적 성질에 관한 중요한 정보를 제공하고 있다.

계면 화학반응과 무전해 니켈 금속층에서 나타나는 취성파괴와의 연관성에 관한 연구 (Correlation between Interfacial Reaction and Brittle Fracture Found in Electroless Ni(P) Metallization)

  • 손윤철;유진
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제12권1호
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    • pp.41-46
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    • 2005
  • 무전해 Ni(P)과 솔더와의 반응 중 발견되는 취성파괴 현상과 계면 화학반응시의 금속간화합물 spalling과의 연관성을 전단 파괴실험을 통하여 체계적으로 연구하였다. 취성파괴는 무전해 Ni(P)과 Sn-3.5Ag 솔더와의 반응 후에만 나타났고 Sn-3.0Ag-0.5Cu 솔더와의 반응시에는 연성파괴만이 관찰되었다. Sn-3.0Ag-0.5Cu 솔더와의 반응시 $(Ni,Cu)_3Sn_4$$(Cu,Ni)_6Sn_5$의 삼성분계 금속간화합물이 생성되었고 spatting은 발생하지 않았다. 반면, Sn-3.5Ag 솔더와의 반응시에는 $Ni_3Sn_4$ 금속간화합물이 spatting된 솔더패드에서 취성파괴가 발생하였다. 파괴표면을 면밀히 분석한 결과 취성파괴는 $Ni_3Sn_4$ 금속간화합물과 Ni(P) 금속층 사이에 형성된 $Ni_3SnP$ 층에서 발생하는 것을 알 수 있었다. $Ni_3SnP$ 금속간화합물 층은 $Ni_3Sn_4$ 금속간화합물이 spatting되는 과정 중에 두껍게 성장하므로 무진해 Ni(P) 사용시 기계적 신뢰성을 보장하기 위해서는 금속간화합물의 spatting을 방지하는 것이 매우 중요하다.

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알루미늄 위 친환경적 무전해 Ni-P 도금막 형성에 pH와 도금조 온도가 미치는 영향 (Effects of pH and Plating Bath Temperature on Formation of Eco-Friendly Electroless Ni-P Plating Film on Aluminum)

  • 지현배;빈정수;이연승;나사균
    • 한국재료학회지
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    • 제32권9호
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    • pp.361-368
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    • 2022
  • The overall process, from the pre-treatment of aluminum substrates to the eco-friendly neutral electroless Ni-P plating process, was observed, compared, and analysed. To remove the surface oxide layer on the aluminum substrate and aid Ni-P plating, a zincation process was carried out. After the second zincation treatment, it was confirmed that a mostly uniform Zn layer was formed and the surface oxide of aluminum was also removed. The Ni-P electroless plating films were formed on the secondary zincated aluminum substrate using electroless plating solutions of pH 4.5 and neutral pH 7.0, respectively, while changing the plating bath temperature. When a neutral pH7.0 electroless solution was used, the Ni-P plating layer was uniformly formed even at the plating bath temperature of 50 ℃, and the plating speed was remarkably increased as the bath temperature was increased. On the other hand, when a pH 4.5 Ni-P electroless solution was used, a Ni-P plating film was not formed at a plating bath temperature of 50 ℃, and the plating speed was very slow compared to pH 7.0, although plating speed increased with increasing bath temperature. In the P contents, the P concentration of the neutral pH 7.0 Ni-P electroless plating layer was reduced by ~ 42.3 % compared to pH 4.5. Structurally, all of the Ni-P electroless plating layers formed in the pH 4.5 solution and the neutral (pH 7.0) solution had an amorphous crystal structure, as a Ni-P compound, regardless of the plating bath temperature.

PTFE 및 W 첨가가 Ni-P 도금의 내마모 특성에 미치는 영향 (Effects of PTFE and W Addition on the Anti-Wear Properties of Ni-P Coatings)

  • 김명식;홍진원;배규식
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제6권2호
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    • pp.25-28
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    • 2007
  • Electroless Ni-P coating is widely used for chemical, electronic, and semiconductor equipment parts because of its corrosion resistance. The incorporation of chemically-inert PTFE particles into the Ni-P films improves properties such as, non-stick, anti-adhesive and better corrosion resistance. However, soft PTFE particles degrade the hardness, wear and abrasion resistance. In this study, effects of PTFE and W addition to the Ni-P-coatings were compared by the XRD, SEM, sheet resistance, contact angle, and microhardness measurements. The change in sheet resistance was negligible, but contact angle was doubled by the addition of PTFE and W. The microhardness was lower for Ni-P-PTFE, but higher for Ni-P-PTFE-W coatings, compared to that of Ni-P coatings.

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