• 제목/요약/키워드: NdFeB 자석

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NdFeB 박막의 자기적 특성 및 미세구조에 미치는 buffer layer의 영향 (Effect of buffer layer on the microstructure and magnetic properties of NdFeB thin films)

  • 조성호;김형태;김윤배;;이갑호
    • 한국자기학회:학술대회 개요집
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    • 한국자기학회 2002년도 동계연구발표회 논문개요집
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    • pp.234-235
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    • 2002

  • NdFeB 박막자석은 Sputtering, MBE, Laser ablation법에 의해 제조되고 있으며[1-3] milli-size motor[4], magnetic recording media[5], micro-patterning[3]등에 응용될 수 있다. 최근에는 MEMS(Micro-electro mechanical system)분야에서도 잠재적 응용가능성을 지니고 있는 것으로 알려져 있다. 최근에는 NdFeB 박막 제조 시 자성층의 산화방지 및 자기 특성을 향상을 위하여 buffer layer를 이용한 많은 연구가 이루어지고 있다.[6] (중략)

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수직자기이방성 NdFeB 박막자석의 자기특성 (Magnetic properties of NdEeB thin films with perpendicular anisotropy)

  • 김만중;유권상;양재호;김윤배;김택기
    • 한국자기학회지
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    • 제10권6호
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    • pp.280-294
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    • 2000

  • RF-DC 마그네트론 스퍼터링을 이용하여 5$\times$$10^{-3}$ Torr의 알곤 가스 분위기에서 [(300nm)Ta/(500nm)NdFeB/(300nm)Ta] 영구자석 박막을 제조한 후 이의 미세구조 및 자기특성을 조사하였다 650-75$0^{\circ}C$로 가열된 Si 기판위에 성막한 [Ta/ NdFeB/Ta] 박막은 수직자기이방성과 함께 우수한 경자기특성을 나타내었으며, 특히 기판온도 $650^{\circ}C$와 $700^{\circ}C$에서 제조된 박막은 막면에 수직한 방향으로 각각 20 MGOe의 최대자기에너지적과 18.9 kOe의 큰 고유보자력을 나타내었다.

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