Ion Beam Sputtering Deposition을 이용한 $SiOx/SiO_2$ singlelayer 및 multilayers 에 생성된 Si nanocrystal의 비휘발성 메모리 효과 연구
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- 한국진공학회:학술대회논문집
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- 한국진공학회 2004년도 제27회 학술발표회 초록집
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- pp.142-142
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- 2004