This paper provides an evaluation of an optimization-based, multiple-input double-output (MIDO) run-to-run (R2R) control scheme for general semiconductor manufacturing processes. The controller in this research, termed adaptive dual response optimizing controller (ADROC), can serve as a process optimizer as well as a recipe regulator between consecutive runs of wafer fabrication. In evaluation, it is assumed that the equipment model could be appropriately described by a pair of second-order polynomial functions in terms of a set of controllable variables. Of practical relevance is to consider a drifting effect in the equipment model since in common semiconductor practice the process tends to drift due to machine aging and tool wearing. We select a typical application of R2R control to chemical mechanical planarization (CMP) in semiconductor manufacturing in this evaluation, and there are five different CMP process scenarios demonstrated, including mean shift, variance increase, and IMA disturbances. For the controller, ADROC, an on-line estimation technique is implemented in a self-tuning (ST) control manner for the adaptation purpose. Subsequently, an ad hoc global optimization algorithm based on the dual response approach, arising from the response surface methodology (RSM) literature, is used to seek the optimum recipe within the acceptability region for the execution of next run. The main components of ADROC are described and its control performance is assessed. It reveals from the evaluation that ADROC can provide excellent control actions for the MIDO R2R situations even though the process exhibits complicated, nonlinear interaction effects between control variables, and the drifting disturbances.
Kim, Young-Bum;Chang, Kyung-Hi;Yun, Chang-Ho;Park, Jong-Won;Lim, Yong-Kon
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.13
no.10
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pp.2097-2104
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2009
In terrestrial communications, high data rate transmission can be achieved by splitting the coverage area into small cells through base stations and reusing the resource efficiently. However, the geographical features of maritime communications require the long transmission range, and it is not practical to install base station on the sea to set up the similar deployment as the terrestrial communications, so MF/HF band modem with low data rate are currently utilized for maritime communications. And the expensive satellite communication via Inmarsat is the conventional solution for the high data rate transmission on the sea. To reduce the cost, Ad-hoc network is proposed to apply on the sea, which requires no base station for the peer-to-peer communications. In this paper, we denominate this maritime environment specific Ad-hoc network as Nautical Ad-hoc Network (NANET). Furthermore, the deployment scenario for the NANET, and the analysis on multiple access and duplexing schemes for the NANET are discussed in this paper, which serves as the cornerstone for the further NANET research and development.
Kim, Deokwhan;Kim, Jungwook;Joo, Hongjun;Han, Daegun;Kim, Hung Soo
Membrane and Water Treatment
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v.10
no.1
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pp.1-11
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2019
The Intergovernmental Panel on Climate Change (IPCC) Fifth Assessment Report (AR5) predicted that recent extreme hydrological events would affect water quality and aggravate various forms of water pollution. To analyze changes in water quality due to future climate change, input data (precipitation, average temperature, relative humidity, average wind speed and sunlight) were established using the Representative Concentration Pathways (RCP) 8.5 climate change scenario suggested by the AR5 and calculated the future runoff for each target period (Reference:1989-2015; I: 2016-2040; II: 2041-2070; and III: 2071-2099) using the semi-distributed land use-based runoff processes (SLURP) model. Meteorological factors that affect water quality (precipitation, temperature and runoff) were inputted into the multiple linear regression analysis (MLRA) and artificial neural network (ANN) models to analyze water quality data, dissolved oxygen (DO), biological oxygen demand (BOD), chemical oxygen demand (COD), suspended solids (SS), total nitrogen (T-N) and total phosphorus (T-P). Future water quality prediction of the Anseongcheon River basin shows that DO at Gongdo station in the river will drop by 35% in autumn by the end of the $21^{st}$ century and that BOD, COD and SS will increase by 36%, 20% and 42%, respectively. Analysis revealed that the oxygen demand at Dongyeongyo station will decrease by 17% in summer and BOD, COD and SS will increase by 30%, 12% and 17%, respectively. This study suggests that there is a need to continuously monitor the water quality of the Anseongcheon River basin for long-term management. A more reliable prediction of future water quality will be achieved if various social scenarios and climate data are taken into consideration.
Early detection of small concrete crack or reinforcement corrosion is necessary for Structural Health Monitoring (SHM). Global vibration based methods are advantageous over local methods because of simple equipment installation and cost efficiency. Among vibration based techniques, FRF based methods are preferred over modal based methods. In this study, a new coupled method using frequency response function (FRF) and proper orthogonal modes (POM) is proposed by using the dynamic characteristic of a damaged beam. For the numerical simulation, wave finite element (WFE), coupled with traditional finite element (FE) method is used for effectively incorporating the damage related information and faster computation. As reported in literature, hybrid combination of wave function based wave finite element method and shape function based finite element method can addresses the mid frequency modelling difficulty as it utilises the advantages of both the methods. It also reduces the dynamic matrix dimension. The algorithms are implemented on a three-dimensional reinforced concrete beam. Damage is modelled and studied for two scenarios, i.e., crack in concrete and rebar corrosion. Single and multiple damage locations with different damage length are also considered. The proposed methodology is found to be very sensitive to both single- and multiple- damage while being computationally efficient at the same time. It is observed that the detection of damage due to corrosion is more challenging than that of concrete crack. The similarity index obtained from the damage parameters shows that it can be a very effective indicator for appropriately indicating initiation of damage in concrete structure in the form of spread corrosion or invisible crack.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.16
no.6
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pp.1081-1088
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2021
The modern wireless communication system employes the beamforming technique based on a massive array antenna with a number of elements, for supporting the smooth communication services. A reliable beamforming technology requires the Angle-of-Arrival(: AOA) information for the signal incident to the receiving antenna, which is generally estimated by the high-resolution AOA estimation algorithm such as Multiple Signal Classification(: MUSIC). Although the MUSIC algorithm has the excellent estimation performance, it is difficult to estimate AOA in real time for the massive array antenna due to the extremely high computational complexity. In order to enhance this problem, in this paper, we propose the cascade AOA estimation algorithm based on a Flexible Massive Concentric Circular Array(: FMCCA) antenna with the On/Off function for antenna elements. The proposed cascade algorithm consists of the CAPON algorithm using some elements among entire antenna elements and the Beamspace MUSIC algorithm using entire elements. We provide computer simulation results for various scenarios to demonstrate the AOA estimation performance of the proposed approach.
Alagille syndrome (AGS) is a rare autosomal dominant inherited disorder, with major clinical manifestations of bile duct paucity, cholestasis, cardiovascular anomaly, ophthalmic abnormalities, butterfly vertebrae, and dysmorphic facial appearance. It is caused by heterozygous mutations in JAG1 or NOTCH of the Notch signaling pathway presenting with variable phenotypic penetrance and involving multiple organ systems. The following case report describes a unique case of a 16-year-old female with AGS who presented with the primary complaint of renovascular hypertension. She had a medical history of ventricular septal defect and polycystic ovary syndrome. The patient had a dysmorphic facial appearance including frontal bossing, bulbous tip of the nose, a pointed chin with prognathism, and deeply set eyes with mild hypertelorism. Stenoocclusive changes of both renal arteries, celiac artery, lower part of the abdominal aorta, and left intracranial artery, along with absence of the left internal carotid artery were found on examination. Whole exome sequencing was performed and revealed a pathologic mutation of JAG1, leading to the diagnosis of AGS. Reverse phenotyping detected butterfly vertebrae and normal structure and function of the liver and gallbladder. While the representative symptom of AGS in most scenarios is a hepatic problem, in this case, the presenting clinical features were the vascular anomalies. Clinical manifestations of AGS are diverse, and this case demonstrates that renovascular hypertension might be in some cases a presenting symptom of AGS.
Khodabandelu, Ali;Park, JeeWoong;Choi, Jin Ouk;Sanei, Mahsa
International conference on construction engineering and project management
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2022.06a
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pp.563-570
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2022
Industrialized and modular construction is a growing construction technique that can transfer a large portion of the construction process to off-site fabrication yards. This method of construction often involves the fabrication, pre-assembly, and transportation of massive and long volumetric modules. The module weight keeps increasing as the modules become more complete (with infill) to minimize the work at the site and, as higher productivity can be achieved at the fabrication shop. Thus, a volumetric module delivery gets more challenging and risky. Despite its importance, past research paid relatively insufficient attention to the problem related to the lifting of heavy modules. This can be a complex and time-consuming problem with multiple lifting for transportation-and-installation operations both in fabrication yard and jobsite, and require complex crane operations (sometimes, more than one crane) due to crane load capacity and load balance/stability. This study investigates this problem by focusing on the structural perspective of lifting such long volumetric modules through simulation studies. Various scenarios of lifting a weighty module from the top using four lifting cables attached to crane hooks (either a single crane or double crane) are simulated in SAP software. The simulations account for various factors pertaining to structural indices, e.g., bending stress and deflection, to identify a proper method of module lifting from a structural point of view. The method can identify differences in structural indices allowing identification of structural efficiency and safety levels during lifting, which further allows the selection of the number of cranes and location of lifting points.
Journal of Wellbeing Management and Applied Psychology
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v.7
no.3
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pp.67-72
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2024
This study developed a dry composite module-type deodorization facility with Twisting airflow changes and two forms (catalyst, adsorbent) within one module. Experiments were conducted to evaluate the reduction efficiency of odor substances C8H7N and C9H9N. The device combines UV oxidation using TiO2, catalytic oxidation using MnO2, and adsorption using A/C in five different methods. Data analysis of experimental results utilized the statistical package program Python 3.12. The program applied frequency analysis of odor removal efficiency, one-way ANOVA, and post-hoc tests, with statistical significance determined by p-value to ensure reliability and validity of the measurements. Results indicated that the highest removal efficiency of C8H7N and C9H9N was achieved by the UV+A/C method, suggesting the superior effectiveness and efficiency of the developed device. Combining multiple processes and technologies within one module enhanced odor treatment efficiency compared to using a single method. The device's modularity allows for flexibility in adapting to various sewage treatment scenarios, offering easy maintenance and cost-effective deodorization. This composite reaction module device can apply multiple technologies, such as biofilters, plasma, activated carbon filters, UV-photocatalysis, and electromagnetic-chemical systems. However, this study focused on UV-photocatalysis, catalysts, and activated carbon filters. Ultimately, the research demonstrates the practical applicability of this innovative device in real sewage treatment operations, showing excellent reduction efficiency and effectiveness by integrating UV oxidation, TiO2 photocatalysis, MnO2 catalytic oxidation, and A/C adsorption within a modular system.
Accurate reconstruction of radiation field and path planning are very important for the safety of operators in the process of dismantling nuclear facilities. Based on radial basis function (RBF) interpolation algorithm, this paper discussed the application of inverse multiquadric radial basis Function (IMRBF) interpolation method to the reconstruction of gamma radiation field, and proved the feasibility of reconstructing a radiation field with multiple γ sources. The average relative errors of IMRBF interpolation results were 4.28% and 8.76%, respectively, for the experimental scenarios with single and double gamma sources. After comparing the consistency between the simulated scene and the experimental scene, IMRBF method and Cubic Spline method were respectively used to reconstruct the gamma radiation field by Geant4 simulation data. The results showed that the interpolation accuracy of IMRBF method was superior to that of Cubic Spline method. Further, more RBF interpolation algorithms were used to reconstruct the multi-γ source radiation field, and then the Probabilistic Roadmap (PRM) algorithm was used to optimize the human walking path in the radiation field reconstructed by different interpolation methods. The optimal paths in radiation fields generated by multiple interpolation methods were compared. The results herein contribute to a comprehensive understanding of RBF interpolation methods in reconstructing γ radiation fields and their application in optimizing paths in radiation environments. The insights may provide valuable information for decision-making in radiation protection during the decommissioning of nuclear facilities.
After towing rope connecting a barge to a tug was subdivided into multiple finite elements, then those dynamic models was established using Newton's second law and considering the external force and moment such as tension, drag, Coriolis force, gravity, buoyancy, and impact due to free surface acting on each element. While the previous research on the model of towing rope considered only translation, five-degree-of-freedom equations of motion except roll based on the body-fixed frame were established in this paper. All elements are connected by a spring and a damper, and the stiffness of the spring was set as the equivalent value of the real rope. In order to confirm the established multiple finite element model, various scenarios such as freely falling of towing rope in the air and above the free surface, accelerating of a tug which tows a barge connected by towing rope, and sinusoidal moving of a tug were set up and simulated. As the results, the trajectories of the tug, the barge, and the towing rope showed good tendencies to the ones of real expected situations.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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