This paper provides an evaluation of an optimization-based, multiple-input double-output (MIDO) run-to-run (R2R) control scheme for general semiconductor manufacturing processes. The controller in this research, termed adaptive dual response optimizing controller (ADROC), can serve as a process optimizer as well as a recipe regulator between consecutive runs of wafer fabrication. In evaluation, it is assumed that the equipment model could be appropriately described by a pair of second-order polynomial functions in terms of a set of controllable variables. Of practical relevance is to consider a drifting effect in the equipment model since in common semiconductor practice the process tends to drift due to machine aging and tool wearing. We select a typical application of R2R control to chemical mechanical planarization (CMP) in semiconductor manufacturing in this evaluation, and there are five different CMP process scenarios demonstrated, including mean shift, variance increase, and IMA disturbances. For the controller, ADROC, an on-line estimation technique is implemented in a self-tuning (ST) control manner for the adaptation purpose. Subsequently, an ad hoc global optimization algorithm based on the dual response approach, arising from the response surface methodology (RSM) literature, is used to seek the optimum recipe within the acceptability region for the execution of next run. The main components of ADROC are described and its control performance is assessed. It reveals from the evaluation that ADROC can provide excellent control actions for the MIDO R2R situations even though the process exhibits complicated, nonlinear interaction effects between control variables, and the drifting disturbances.
The aim of the shaking table experiment is to verify the isolation effect of a storage liquid tank with multiple friction pendulum bearings. A 1:20 scale model of a real storage liquid tank that is widely used in the petroleum industry was examined by the shaking table test to compare its anchored base and isolated base. The seismic response of the tank was assessed by employing the time history input. The base acceleration, wave height and tank wall stress were used to evaluate the isolation effect. Finally, the influences of the bearing performance that characterizes the isolated tank, such as the friction force and residual displacement, were discussed.
International Journal of Naval Architecture and Ocean Engineering
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제12권1호
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pp.387-398
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2020
In the design stage of the very large container ships, some methodologies for the whipping effects have been developed, but most of them are based on single sea state. We developed a methodology that considers multiple sea states. Fluid-structure Interaction (FSI) analyses with one dimensional structural model were carried out to capture slamming-induced transient whipping behaviors. Because of the nature of random phases of the applied wave spectra, the required period for entire FSI analyses was determined from the convergence study where the whipping effect became stable. Low pass filtering was applied to the transient whipping responses to obtain the hull girder bending moment processes. Peak counting method for the filtered whipping responses was used to obtain collection of the vertical bending moment peaks. The whipping effect from this new method is compared with that from based on single sea state approach. The efficiency and advantage of the new methodology are presented.
In transportation geotechnical engineering, stress-strain behavior of earth structures has been analyzed by numerical simulations with the implemented plasticity constitutive model. It is a fact that many advanced plasticity constitutive models on predicting the mechanical behavior of soils have been developed as well as experimental research works for geotechnical applications in the past decades. In this study, recently developed, a unified constitutive model for both clay and sand, which is referred to as CASM (clay and sand model), was compared with a classical constitutive model, Cam-Clay model. Moreover, integration methods of stress-strain rate equations using CASM were presented for simulation of undrained and drained triaxial compression tests. As a conclusion, it was observed that semi-implicit integration method has more improved accuracy of capturing strain rate response to applied stress than explicit integration by the multiple correction and iteration.
Despite the rapid reorganization of the center of consumption online, the fashion industry is still strengthening brand marketing using offline stores. This study investigates the psychological mechanisms of shopping flow by three mediators that influence the e-word of mouth(e-WOM) as a marketing performance variable in recent marketing. Data collection was conducted online for 241 women in their 20s and 30s. The significance of multi-mediated pathways was verified using Process 3.5 Model 6. The results for multiple mediation paths are as follows. First, the direct effect of shopping flow on brand advocacy was not significant. Second, analysis of the significance of the indirect effect via simple mediation found that the path mediated by shopping value in the path from the shopping flow to brand advocacy was significant. Third, analysis of the indirect effect by double mediation revealed all three double mediating effects of shopping flow on brand advocacy were significant(emotional response and shopping value, emotional response and store attachment, shopping value and store attachment). Fourth, analysis of the significance of the indirect effect by sequential multiple mediation established the indirect effect leading to emotional response, shopping value, and store attachment was significant. These results indicate that the operation of an experiential fashion store is not just a means for sales, but a communication tool that improves and promotes the brand advocacy by providing brand experience in a store.
In this paper, we analyze a logistic system involving a supplier who produces and delivers multiple types of items and a buyer who receives and sells the products to end customers. The buyer controls the inventory level by replenishing each product item up to a given order-up-to-level to cope with stochastic demand of end customers. In response to the buyer's order, the supplier produces or outsources the ordered item and delivers them at the start of each period. For the system described above, a mathematical model for a single type of item was developed from the buyer's perspective. Based on the model, an efficient method to find the cycle length and safety factor which correspond to a local minimum solution is proposed. This single product model was extended to cover a multiple item situation. From the model, algorithms to decide the base cycle length and order interval of each item were proposed. The results of the computational experiment show that the algorithms were able to determine the global optimum solution for all tested cases within a reasonable amount of time.
Recently, a direct data-driven synthesis of a proportional integral derivative(PID) controller for a linear time-invariant(LTI) plant was presented in [1]. The authors showed that a complete set of PID controllers achieving robust performance and stability can be calculated directly from frequency response(FR) data without an identified transfer function model. However, it is not convenient to use this method because it requires complicated numerical algorithms to find specific frequencies which are solutions of an identical equation. The method also requires determination of the boundary of the controller's parameters from a finite set of FR data. In this paper, we present the development of a user-friendly Matlab toolbox based on the method in [1]. This toolbox allows us to obtain a complete three-dimensional(3-D) graphical solution of PID controllers that meet multiple design objectives. Several examples are given to demonstrate the use of the toolbox.
The nonlinear response statistics of an autoparameteric system under broad-band random excitation is investigated. The specific system examined is a vibration absorber system with internal resonance, which is known to be a good model for a variety of engineering systems, including ship motions with nonlinear coupling between pitching and rolling motions. The Fokker-Planck equations is used to generate a general first-order differential equation in the dynamic moment of response coordinates. By means of the Gaussian closure method the dynamic moment equations for the random responses of the system are reduced to a system of autonomous ordinary differential equations. The jump phenomenon was found by Gaussian closure method under random excitation.
This paper is concerned with the forced flexural vibration analysis of hard disk drive (HDD) spindle systems with multiple thin disks, supported by two ball bearings based on the finite element model. This is the extension of the previous work which analytically modeled every system component taking into account its structural flexibility and also the centrifugal stiffening effect especially for the disks. Among the end results, the forced time response is expectedly useful for the vibration control of the spindle itself or the position servo control of the magnetic head. On the other hand, the steady state responses such as the frequency response function and the unbalance response are useful for system identification. Futhermore, through a coordinate transformation the equations of motion is also derived with respect to the inertial frame for convenient analyses of certain classes.
A multiple trait animal model having milk yield and lactation length was used to estimate genetic parameters using data from four institutional herds and four field recording centers. Response to selection for milk yield alone and in combination with lactation length was estimated by using principles of genetic theory. Lactation records (n = 2,353) adjusted for age at calving to 60 months were utilized. Milk yield was 17% heritable with repeatability of 0.44. Lactation length had a low heritability of 0.06 with repeatability of 0.16. Genetic correlation between the two traits was 0.70. Selection response in milk yield can be improved slightly (103.8 vs 102.8 kg) when information on covariance with lactation length is used together with the information on milk yield.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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