Negative Thick Photoresist를 이용한 $100{\mu}m$ 높이의 금속 구조물의 제작에 관한 연구
(Fabrication of $100{\mu}m$ High Metallic Structure Using Negative Thick Photoresist and Electroplating)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1998년도 하계학술대회 논문집 G
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- pp.2541-2543
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- 1998