Molecular Dynamics Simulations Study on Abrasive's Speed Change Under Pad Compression (연마패드 압력에 따른 연마입자 이동속도 변화의 분자동역학적 시뮬레이션 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.25 no.7
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- pp.569-573
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- 2012