Semiconductor equipment manufacturers desire to enhance efficiency of Sub Fab to increase semiconductor productivity. For this reason, Sub Fab equipment manufacturers are developing Integrated System that combined modules with multiple facilities. Integrated System is required to apply Mount Leveler of Wedge Type in compliance with weight increase compared with existing single equipment and product shape change. This thesis analyzes main design variables of components of Wedge Mount Leveler and carries out structure analysis using ANSYS, finite element analysis program Analysis shows that main design variables of components of Wedge Mount Leveler has self-locking condition by friction force of Wedge and adjusting bolt. Each friction force hinges upon Wedge angle and Friction Coefficient of contact surface and upon the thread angle and Friction Coefficient of contact surface. Also, as a result of carrying out structure analysis of Wedge Mount Leveler, deflection and stress appears in different depending on the height of the level.
Kim, Jin-Beom;Hong, Pil-Gi;Seo, Tae-Il;Son, Chang-Woo
Design & Manufacturing
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v.13
no.1
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pp.13-18
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2019
The size and prospects of the domestic semiconductor equipment market are increasing every year. In the case of various parts used inside semiconductor equipments, high durability such as high strength and abrasion resistance is demanded. Particularly, the gases used in semiconductor production processes are toxic. In order to prevent such toxic gas leakage, a precision processing technique and a surface treatment technique for preventing corrosion are required. Electro-polishing is an electro-chemical method of polishing a metal surface to make it smooth and polished. Electro-polishing is mainly used in the finishing process of metal surface. Unlike mechanical polishing, electro-polishing is used in many fields, such as fine chemical etching equipment, since no damaged layer or burr, fine polishing groove and particles are generated. However, in order to withstand the gas used in the semiconductor equipment, the parts must have high corrosion resistance. However, the surface hardness generally become lowered through electro-polishing. Therefore, in this study, surface hardness were experimentally observed before and after electro-polishing. Then, a method of improving hardness by preparing a nitrided layer by plasma ion nitriding treatment.
Lee, Won Ho;Lee, Seok Won;Kang, Tae Jin;Chung, Kwansoo;Youn, Jae Ryoun
Fibers and Polymers
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v.3
no.4
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pp.159-168
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2002
Polyurethane foams were produced by using a homogenizer as a mixing equipment. Effects of stirring speed on the foam structure were investigated with SEM observations. Variation of the bubble size, density of the foam, compressive strength, and thermal conductivity were studied. A hybrid foam consisting of polyurethane foam and commercial polystyrene foam is produced. Mechanical and thermal properties of the hybrid foam were compared with those of pure polyurethane foam. Advancement of flow front during mold filling was observed by using a digital camcorder. Four types of mold geometry were used for mold filling experiments. Flow during mold filling was analyzed by using a two-dimensional control volume finite element method. Variation of foam density with respect to time was experimentally measured. Creeping flow, uniform density, uniform conversion, and uniform temperature were assumed for the numerical simulation. It was assumed for the numerical analysis that the cavity has thin planar geometry and the viscosity is constant. The theoretical predictions were compared with the experimental results and showed good agreement.
Journal of the Korean Society of Manufacturing Technology Engineers
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v.26
no.4
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pp.357-364
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2017
Metal casting is a process in which molten metal or liquid metal is poured into a mold made of sand, metal, or ceramic. The mold contains a cavity of the desired shape to form geometrically complex parts. The casting process is used to create complex shapes that are difficult to make using conventional manufacturing practices. For the optimal casting process design of sleeve parts, various analyses were performed in this study using commercial finite element analysis software. The simulation was focused on the behaviors of molten metal during the mold filling and solidification stages for the precision and sand casting products. This study developed high-life sleeve parts for the sink roll of continuous hot-dip galvanizing equipment by applying a wear-resistant alloy casting process.
Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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2002.05a
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pp.387-392
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2002
A portable mould oscillation analyzer with an integrated computer, developed by POSCO, records the movement of the mould in every spatial direction. The system uses the gap sensors to measure the mould movement (displacement) in two horizontal directions according to the mould narrow and broad faces and the vertical strokes in the four corners of mould. The gap sensor is a non-contacting minute displacement-measuring device using the principle of high frequency eddy current loss. The mould oscillation diagnostic system integrates the gap sensors, their converters and the industrial portable computer with plug-in data acquisition boards. In an own expert module, which is included in the diagnosis program, one can obtain much information about the mould oscillation equipment.
The peltier thermoelectric module are used to cool the heat generated by electronic equipment. In order to increase the efficiency of the peltier thermoelectric module, the heat must be released to the outside. A heat sink is used to discharge such heat to the outside. in this paper, two types of heat sinks with internal tunnels were designed. And the heating and cooling performance of the heat sink with internal tunnel structure was compared and analyzed through ANSYS. The heat sink of the A type had better heat transfer than the heat sink of the B type. Which is about 70% improved.
Most of automobile parts manufactured through sheet metal forming are mass-produced by using press mold. In recent years, automation and speeding up of press lines have been expanding to maximize product productivity using a press die. The proportion of the moving time in the press line is high, and therefore requires high-speed and automated equipment for the moving process. In this paper, to provide the double-moving system can be the moving time reduction and increased productivity. Developed transport system consists of the material supply, the material feeding device and the PLC controller and the devices are positioned between each of the pressing process. In this paper, the double-moving system including developed units using a multi-axial single-acting through this reduced the C/T(cycle time) and improved the productivity.
The autotransformer currently used on the electric railway system is made of class A insulation material and uses the paper insulation method. As a power converter supplying power to the trolley wire, the autotransformer is one of critical equipment in the railway system. In the autotransformer, load irregularly changes and overload often occurs. These cause overheating of the autotransformer and facilitate deterioration of the autotransformer resulting in burnout accidents due to insulation breakdown. Also, the current autotransformer has poor insolation and short-circuit strength which often badly affect the service life of the transformer, and needs to improve its quality urgently. To overcome one of existing shortcomings of the mold transformer, manufacturers use epoxy resins that have superior flame retardancy to get rid of fro and explosion possibilities during accidents. Currently, new mold transformers are used in indoor distribution facilities with fire-fighting equipments. Coils molded in epoxy resins do not have their insulation performance compromised by humidity, dust, etc enabling easy inspection and maintenance. Comparing to the oil immersed transformer, the mold transformer does not have any concern about environmental pollutions by oil leak or replacement Therefore, to reduce breakdowns and improve reliability of the autotransformer, it is necessary to develop a new mold autotransformer with low loss suitable for our environment to suppress breakdowns of the autotransformer and improve the reliability. This study is about development of a low-loss mold autotransformer necessitated by reasons mentioned earlier.
This paper proposes the polydimethylsiloxane (PDMS) blade coating method for fabrication of paper-based analytical device (PAD) that is able to monitor the disease diagnosis and progress without special analytical equipment. The mold that has PAD design is easily modified by using laser cutting technique. And the fabricated mold is used for hydrophobic barrier formation by blade coating. We have optimized the stable formation of PDMS hydrophobic barrier as blade coating condition, which is established by analyzing the structure of the PDMS hydrophobic barrier and change of hydrophilic channel size as thickness of the ink and contact time with the chromatography paper. Based on optimal condition, we demonstrate that PAD as biosensor can apply to detect protein, glucose, and metal ion without special analysis equipment.
Lately, the development of the semiconductor industry has led to the miniaturization of electronic devices. Therefore, semiconductor wafers of very thin thickness that can be used in Multi-Chip Packages are required. There is active research on the backgrinding process to reduce the thickness of the wafer. The backgrinding process polishes the backside of the wafer, reducing the thickness of the wafer to tens of ㎛. The equipment that performs the backgrinding process requires ultra-precision. Currently, there is no full auto backgrinding equipment in Korea. Therefore, in this study, ultra-precision backgrinding equipment was designed. In addition, finite element analysis was conducted to verify the equipment design validity. The deflection and structural stability of the backgrinding equipment were analyzed using finite element analysis.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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