• Title/Summary/Keyword: Mixed abrasive slurry(MAS)

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A Study on the Oxide CMP Characteristics According to the $CeO_2$ Abrasive Adding (세리아 연마제 첨가에 따른 산화막 CMP 특성 연구)

  • Han, Sang-Jun;Lee, Young-Kyun;Park, Sung-Woo;Seo, Yong-Jin;Lee, Woo-Sun
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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    • 2008.06a
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    • pp.542-542
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    • 2008

  • 본 논문에서는 기존에 상용화된 슬러리에 비해 새로운 혼합 연마제 슬러리의 우수성을 입증하고, 최적화 된 공정기술을 연구의 기반으로 활용하고자 Silica slurry에 $CeO_2$ 연마제를 혼합하여, 어떠한 연마 특성을 나타내는지 알아보았고, AFM, EDX, XRD, TEM 분석을 통해 그 가능성을 비교 분석하였다.

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