Miniaturized machine tool can be used to produce 3D features based on CNC and PC-NC technology in the micro/meso scale. Wide applications of CNC technology are developed and there are lots of know-hows in the cutting process and their CNC application. It helps micro/meso scale structure to machine components, which can be used directly for practical applications. In the present research, as the machine tool is miniaturized, the manufacturing machine tools costs less when compared to the equipment used in other micromachining technologies. Moreover, with advancement of micro tool technology, the cutting process can be used to produce micro/meso scale parts. In conclusion, the proposed system can reduce the cost by utilizing the current machining technology, and as a result, complex micro/meso parts can be produced efficiently with high productivity.
크로마토그래피 칼럼 검증전용으로 미니 칼럼을 이용한 자동화된 크로마토그래피 시스템(MiniValChrom)을 개발하였다. 이 시스템은 생산용 칼럼을 scale-down한 미니칼럼을 자동적으로 반복사용 하면서 실험실 내에서 ex-situ로 크로마토그래피 공정의 검증을 수행할 수 있게 설계되었다.
In this paper, a miniaturized directional coupler utilizing lumped element is proposed as a interdigital capacitor. The traditional miniaturization technique of transmission line realized a utilizing MIM(Metal-Insulator-Metal) capacitor on CPW(Coplanar Waveguide). However, we present a simplified design procedure without additional manufacturing process utilizing interdigital capacitor on microstrip with ease of design. The similar characteristics between the conventional directional coupler with ${\lambda}/4$ transmission line and the miniaturized directional coupler with ${\lambda}/8$ transmission line are validated through simulation and measurement results. Miniaturization rate of total size is about 25% while coupled line is about 60%. As a result, this proposed directional coupler can reduce the size of mobile communication system at 2 GHz.
A 7 nm technology node using extreme ultraviolet lithography with a wavelength of 13.5 nm has been recently developed and applied to the semiconductor manufacturing process. Furthermore, the development of sub-3 nm technology nodes continues to be required. In this study, design factors of an electrostatic deflector for an ultra-miniaturized microcolumn system that can realize an electron wavelength of below 1.23 nm with an acceleration voltage of above 1 eV were investigated using a three-dimensional simulator. Particularly, the optimal design of the electrostatic octupole floating deflector was derived by optimizing the design elements and improving the driving method of the 1 keV low energy ultra-miniaturized microcolumn deflector. As a result, the entire wide field of view greater than 330 ㎛ at a working distance of 4 mm was realized with an ultra-high-resolution electron beam spot smaller than 10 nm. The results of this study are expected to be a basis technology for realizing a wafer-scale multi-array microcolumn system, which is expected to innovatively improve the throughput per unit time, which is the biggest drawback of electron beam lithography.
크로마토그래피 공정 성능 검증의 한 항목인 담체의 수명 검증을 위해 자동화된 미니 크로마토그래피 시스템(MiniValChrom)을 개발하였다. 이 시스템은 크로마토그래피공정의 자동화된 반복수행, 크로마토그래피 각 step의 작동순서 및 공정조건의 자유로운 구성, on-line 실시간 모니터링 및 제어, 여러 담체 수명 검증법의 method file 저장기능 등을 갖추었다. MiniValChrom을 사용하여 BSA와 Cibacron Blue 3G-A를 각각 모델 단백질과 담체로 담체 수명 검증실험을 사례연구로 수행하였다. 담체 수명의 감소는 크로마토그래피 공정을 반복수행하면서 5 cycle 마다 변화하는 HETP값을 측정하여 HETP 값이 1 cm 이상 될 때까지 반복 수행함으로써 담체 수명을 결정할 수 있었다. 본 연구를 통해 개발된 MiniValChrom은 다른 검증 항목이나 multi-product 생산공장 내 크로마토그래피 공정 검증에도 유용하게 쓰일 수 있을 것으로 기대된다.
무선 센서 네트워크에서 가장 중요하고 기본적인 요소는 환경 정보를 수집하고 이를 사용자 응용시스템에 전송하는 무선 센서 노드이다. 무선 센서 노드는 센서로 환경 정보를 수집하고 이를 저장, 가공하여 처리된 데이터를 사용자에게 전송하는 무선 송수신 장치로 기술의 발전에 따라 소형화, 지능화되고 있다. 특히 마이크로컨트롤러, RF 모듈, 메모리 등을 하나의 칩 내부에 모두 통합하는 SoC(System-on-Chip)기술은 센서 노드의 소형화와 제조 단가를 낮추는데 중요한 역할을 한다. 본고에서는 상용 SoC를 사용하여 무선 센서 네트워크를 위한 소형 무선 센서 노드를 설계하였으며 이를 이용한 여러 활용 방안 및 추가적인 고려사항에 대하여 논하였다.
This paper describes the design of micro machine tools system for mechanical machining of micro/meso scale mechanical parts. The micro machining systems such as $\mu-Late$, $\mu-milling/drilling$ machine and $\mu-grinding$ machine are the basic elements constructing $\mu-factory$ which gains more attention recently because of increasing needs of mico and nano-parts in various industrial and medical area. A miniaturized 3-axis milling machine with VCM stage and air spindle and palm-top size micro-late are designed, and air bearing stage and stepwise linear motion system with PZT are studied for motion system. The micro cutting characteristics are investigated experimentally, and reconfigurable machine structures are also considered.
Recent trends for the miniaturization and weight reduction of portable electronic parts have driven uses of subminiature components. Assembly of the miniaturized components requires subminiature screws of which pitch sizes are micrometer scale. To produce such subminiature screws with high precision threads, not only a precision forming technology but also a high-precision measurement technology is required. The present study covers the development of a vision inspection system for precision screws for the automatic measurement of subminiature screws with high speed and reliability. In this study, the feeding unit that transfers the subminiature screws to the inspection unit is investigated through finite element(FE) analysis. The vibration characteristics of the feeding unit are predicted through FE analyses, from which we can determine whether the subminiature screw can be stably fed into the inspection unit or not. The effects of several design parameters on the vibration characteristics are also discussed.
Though a micro pump is a crucial element in miniaturized bio-fluidic systems or drug delivery systems, most of the conventional micro pumps still have some limitations to miniaturize their controller system and to obtain the sufficient back pressure which can rise over the inner pressure of human body or experimental animals. In this paper, to overcome these limitation, a new PZT disc and its controller were designed and fabricated to get the sufficient flowrate and the back pressure with guaranteeing embeddability of the controller into pumping body. The amplitudes of the disc deflections were as large as 40 ${\mu}m$ at 200 V - 100 Hz condition. As results of experiments, the flow rate and the back pressure increase when the frequency increases. The obtainable maximum flow rate and back pressure are 5.2 ml/min at 95 Hz and 13.14 kPa at 90 Hz respectively.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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