• 제목/요약/키워드: Microwave Annealing

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비정질 As-Ge-Te 스위칭 소자의 전기적 및 마이크로파 주파수 특성 (Electrical and Microwave properties of Amorphous As-Ge-Te devices)

  • 이병석;천석표;이현용;이영종;정홍배
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1016-1018
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    • 1995
  • In this paper, we studied the electrical and the microwave properties of the amorphous $As_{10}Ge_{15}Te_{75}$ thin film. The electrical properties of a-$As_{10}Ge_{15}Te_{75}$ thin film were examined d.c. and a.c. bias with annealing condition. As the result of the electrical properties, we observed the physical characteristics of a-$As_{10}Ge_{15}Te_{75}$ thin film such as the density of defect states, characteristic relaxation time, localized density of states, and localized wave function by using CBH and QMT model. We also examined the microwave conduction properties before and after d.e. switching.

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Tunable 소자 응용을 위한 $(Pb_{x},Sr_{x-1})TiO_{3}$ 박막의 구조 및 유전특성 (Structureal and dielectric properties of $(Pb_{x},Sr_{x-1})TiO_{3}$ thin film for tunable device application)

  • 김경태;김창일;이성갑
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 춘계학술대회 논문집 센서 박막재료 반도체재료 기술교육
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    • pp.78-81
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    • 2002
  • Ferroelectric thin film is a very attractive material for the tunable microwave device applications such as electronically tunable mixers, delay lines, filters and phase shifters. Thin films of $Pb_{x}Sr_{1-x}TiO3(PST)$ were fabricated onto Pt/Ti/SiO2/Si substrate by the sol-gel method. We have investigated the structural and dielectric properties of PST(50/50) thin films for tunable microwave device applications. The PST thin films show typical polycrystalline structure with a dense microstructure without secondary phase formation. Dielectric properties of PST films are strongly dependent on annealing temperature. The dielectric constants, loss and tunability of the PST (50/50) thin films were 404, 0.023 and 51.73 %, respectively.

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Computer Modeling, Characterization, and Applications of Gallium Arsenide Gunn Diodes in Radiation Environments

  • El-Basit, Wafaa Abd;El-Ghanam, Safaa Mohamed;Abdel-Maksood, Ashraf Mosleh;Kamh, Sanaa Abd El-Tawab;Soliman, Fouad Abd El-Moniem Saad
    • Nuclear Engineering and Technology
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    • 제48권5호
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    • pp.1219-1229
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    • 2016
  • The present paper reports on a trial to shed further light on the characterization, applications, and operation of radar speed guns or Gunn diodes on different radiation environments of neutron or g fields. To this end, theoretical and experimental investigations of microwave oscillating system for outer-space applications were carried out. Radiation effects on the transient parameters and electrical properties of the proposed devices have been studied in detail with the application of computer programming. Also, the oscillation parameters, power characteristics, and bias current were plotted under the influence of different ${\gamma}$ and neutron irradiation levels. Finally, shelf or oven annealing processes were shown to be satisfactory techniques to recover the initial characteristics of the irradiated devices.

마이크로파 반사계수 측정을 통한 Copper(II)-phthalocyanine 박말의 결정 성장 시간에 따른 전기전도도 특성 변화 연구 (Conductivity changes of copper(II)-phthalocyanie thin films due to annealing time of grain growing measuring microwave reflection coefficients)

  • 박미화;유현준;임은주;나승욱;이기진;차덕준
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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    • pp.1074-1078
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    • 2004
  • 열 중착 방법을 이용하여 copper(II)-phthalocyanine(CuPc) 박막을 glass 기판 위에 제작하였다. 박막은 열처리를 하지 않은 경우와 열처리 조건을 $150^{\circ}C$ 로 후열(annealing) 처리 하는 방식으로 하였으며 후열 처리한 경우 $150^{\circ}C$에서의 열처리 지속 시간을 각각 2시간, 3시간, 4시간으로 달리하였다. 제작된 박막의 전기전도도를 평가하기 위해 마이크로파의 근접장 효과를 이용한 근접장 현미경(near-field scanning microwave microscope)을 이용하여 비파괴적인 방식으로 CuPc 박막의 반사계수(reflection coefficient)를 측정하였다. CuPc 박막의 전기전도도 특성을 UV 흡수도를 통한 HOMO(highest occupied molecular orbital), LUMO(lowest unoccupied molecular orbital) 준위의 밴드갭의 shift 현상과 관련지어 설명하였다. 박막 표면 특성은 SEM(scanning microscope microscopy)을 통해 관측하였다. 열처리 지속 시간에 따른 CuPc 박막의 전기전도도 특성은 2시간으로 지속한 경우의 박막의 경우 가장 좋았으며 그 보다 더 오랜 시간 동안 열처리를 지속한 경우에는 전기 전도 특성이 오히려 나빠짐을 알 수 있었다.

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Annealing 효과에 의한 $(\textrm{Li}_{1/2}\textrm{Nd}_{1/2})\textrm{TiO}_{3}$ 세라믹스의 고주파 유전특성 (The Microwave Dielectric Characteristics of $(\textrm{Li}_{1/2}\textrm{Nd}_{1/2})\textrm{TiO}_{3}$ Ceramics by the Annealing Effects)

  • 박종목;이응상
    • 한국재료학회지
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    • 제7권3호
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    • pp.251-264
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    • 1997
  • 공진 주파수 온도 계수($\tau$$_{f}$)가 큰 음의 값을 가지는 (Li$_{1}$2Nd$_{1}$2)TiO$_{3}$(LNT) 고주파 유전체를 125$0^{\circ}C$에서 140$0^{\circ}C$까지의 온도에서 2시간동안 소결을 하였고 소결후에는 소결온도보다 약간 낮은 120$0^{\circ}C$에서 5시간 동안 annealing을 실시를 하였다. 그리고 열처리에 의한 상, 미세구조의 변화를 X-ray, SEM을 통해서 분석하였으며, 열처리가 고주파 유전물성에 대해 미치는 영향에 대해서도 고찰하였다. 130$0^{\circ}C$에서 135$0^{\circ}C$ 근방에서 소결시킨 재료는 Annealing효과에 의해 소결체에 균일한 입도 분포가 증진되었고 체적 밀도가 향상되었으며, 열처리 효과에 의해 품질계수(Q)값이 향상되었고 유전상수($\varepsilon$$_{r}$)는 약간 감소하였으며 공진주파수 온도계수($\tau$$_{f}$)는 더 큰 음의 값을 가지게 되었다. 그러나 135$0^{\circ}C$이상에서 소결한 경우에는 비정상적인 입자 성장에 의해 밀도가 감소되며, 이에 따라 고주파 유전특성이 전반적으로 저하되었다.었다.

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결정 성장 조건에 따른 copper(II)-phthalocyanine 박막의 전기전도도 특성 (Conductivity of copper(II)-phthalocyanine thin films due to a grain growth)

  • 박미화;유현준;이기진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 디스플레이 광소자분야
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    • pp.132-136
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    • 2004
  • 열 증착 방법을 이용하여 copper(II)-phthalocyanine(CuPc) 박막을 glass 기판 위에 제작하였다. 열처리 조건은 $150^{\circ}C$에서 후열(annealing) 처리 하는 방식과 예열하는 두 가지 방식으로 달리하였다. 제작된 박막의 전기전도도를 평가하기 위해 마이크로웨이브 근접장 효과를 이용한 근접장 현미경(near-field scanning microwave microscope)을 이용하여 비파괴적인 방식으로 CuPc 박막의 반사계수(reflection coefficient)를 측정하였다. CuPc 박막의 전기전도도 특성을 UV 흡수도를 통한 에너지 밴드갭의 shift 현상과 관련지어 설명하고 또한 x-ray diffraction(XRD) data를 통해 박막의 결정 특성과 비교하였다. 박막 표면 특성은 SEM(scanning microscope microscopy)을 통해 관측하였다. 열처리 조건에 따른 CuPc 박막의 전기전도도 특성은 후열 처리한 박막의 경우 예열 처리한 박막보다 전기 전도 특성이 향상되었음을 관측할 수 있었다.

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금속유기분해 법으로 제조한 ZrTiO4 박막의 미세구조 및 고주파 유전특성 (Microstructure and Microwave Dielectric Properties of ZrTiO4 Thin Films Prepared by Metal-organic Decomposition)

  • 박창순;선호정
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권1호
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    • pp.53-60
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    • 2009
  • $ZrTiO_4$ dielectric thin films were coated by metal-organic decomposition, and annealed by rapid thermal processing up to $900^{\circ}C$ for their crytallization. Crystallized single-phase $ZrTiO_4$ thin films were fabricated above the annealing temperature of $800^{\circ}C$, but their grains were randomly oriented without specific textured orientation. Best dielectric properties were presented by the sample annealed at $800^{\circ}C$ which had crystalline structure and flat surface. Dielectric constant of the film was maintained at 32 throughout full frequency range up to 6 GHz, and dielectric loss was varied between 0.01 and 0.04.

높은 비저항을 갖는 RF 소자용 CoPdAlO 박막의 자기적 특성 (Magnetic Properties of High Electrical Resistive CoPdAlO Film for RF Device)

  • 김택수;이영우;김종오
    • 한국자기학회지
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    • 제11권3호
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    • pp.109-113
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    • 2001
  • Presently, an inductor adapted at MMIC (Monolithic Microwave Integrated Circuit) which is used for cellular phone or PHS operates at quasi-microwave range over 800 MHz. However, a W-CDMA (Wideband Code Division Multiple Access) will use about 2 GHz range. Therefore magnetic film device should be compatible up to 2 GHz. We have deposited Co-Pd-Al-O system film using rf sputtering method which is expected up to 2 GHz, and investigated the effect of Pd content and magnetic field annealing. When Pd composition is 19%, Hk was 118 Oe, and ${\mu}$′showed flat frequency characteristics up to 1.5 GHz. The Q factor (=${\mu}$′/${\mu}$") was 23.3 at 1 GHz, 6.7 at 1.5 GHz and 1.5 at 2 GHz, respectively. Resonance frequency was 2 GHz. Therefore Co-Pd-Al-O thin film could be used at over 1 GHz, and also expected as an inductor material for wide band CDMA type cellular phone.

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마이크로웨이브 magnetron sputtering법으로 제막된 ZnO:Al 박막의 전기광학적 특성 (Electrical and optical properties of ZnO:Al thin films prepared by microwave magnetron sputtering)

  • 유병석;오근호
    • 한국결정성장학회지
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    • 제8권4호
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    • pp.587-591
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    • 1998
  • 마이크로 웨이브를 보조 여기원으로 사용한 직류 magnetron 스퍼터링법으로 Aluminum이 2wt% 포함되어 있는 Zn:Al 합금타겟을 사용하여 AZO(Aluminum doped zinc oxide) 투명 전도막을 제막하였고 그 영향을 조사하였다. 타겟인가 전압이 420V에서 증착된 막의 투과율, 비저항 그리고 증착속도는 각각 50~70%, $5.5{\times}10^{-3}{\Omega}$cm 그리고 6,000$\AA\textrm{mm}^2$/J 이었다. 이 막을 40$0^{\circ}C$에서 30분간의 열처리하면 광투과율은 80% 이상으로 열처리전에 비해 향상되었으며 전도도는 2배 이상 향상되어 비저항값이 $2.0{\times}10^{-3}{\Omega}$cm인 막을 얻을 수 있었다.

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