• 제목/요약/키워드: Micro-sensor

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가속도 및 지자기 검지 기능의 복합센서 모듈 개발 (Development of Hybrid Sensor Module for Acceleration and Geomagnetic sensing)

  • 박호준;채경수;조성환;김현준;함건
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2006년도 제37회 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.1633-1634
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    • 2006
  • 3축 가속도 센서, 2축 지자기 센서, 구동 ASIC 및 마이크로 컨트롤 유니트(MCU, Micro Control Unit)를 집적시킨 복합센서 모듈을 개발하였다. 센서 모듈의 사이즈는 $8.3mm{\times}5.3mm{\times}1.5mm$ (0.066 cc)로서 스택(stack) 패키징 방식으로 제작하였다. 제작된 센서 모듈의 특성은 가속도 센서와 지자기 센서 모두 목표한 범위내의 값이 얻어졌으며, 특히 까다로운 규격의 신뢰성 테스트 모두 통과함으로서 우수한 성능을 보유하고 있음을 입증할 수 있었다.

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마이크로 가스센서를 이용한 $H_2$ 가스 감지특성에 관한 연구 (A study on hydrogen gas sensing characteristics using micro gas sensor)

  • 이의식;이주헌;이병욱;김창교
    • 대한전기학회:학술대회논문집
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    • 대한전기학회 2005년도 제36회 하계학술대회 논문집 C
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    • pp.2369-2371
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    • 2005
  • MEMS 기술을 이용하여 마이크로 $H_2$ 가스센서를 제작하고 마이크로 히터의 열적 특성과 $H_2$ 가스 농도 변화에 따를 마이크로 가스센서에 대한 감도를 분석하였다. 마이크로 가스센서의 전압 인가에 따른 히터의 온도는 1.0V에서 $250-280^{\circ}C$의 고온 특성을 보였으며, 동작온도 $250^{\circ}C$에서 $H_2$ 가스는 $SnO_2/V_2O_5/Pd$의 감응물질을 도포한 센서의 반응이 우수한 특성을 확인하였다. 동작 온도 $250^{\circ}C$ $H_2$ 농도 5000ppm의 조건에서 $SnO_2/V_2O_5/Pd$의 감응물질을 도포한 가스센서에서 $H_2$ 흡착 반응 시간은 3sec이 탈착 반응 시간은 8-10sec의 결과를 보였다.

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효율적인 Micromixer의 통합된 기능 평가 및 Glucose-Catalysts 반응에 적용 (Integrated function evaluation of efficient micromixer and application to glucose-catalysts reaction)

  • 김덕중;백주열;이상훈
    • 센서학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.291-296
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    • 2005
  • In this paper, the PDMS based micromixer having 3-dimension triangular structure has been developed for the reaction of samples in the micro volume. The mixing efficiency was measured according to the change of Reynolds number (Re: 0.08, 0.8, 8, 16) and channel height (100, 200, $300{\mu}m$). Total length of mixing region is 7.4 mm and the measured mixing efficiencies at the outlet were over 85 %. Within the mixing length 2.4 mm, the mixing efficiencies were more than 70 % at any Reynolds numbers, and this indicates the strong mixing has occurred inside the mixing channel due the triangular structures. By employing these 2 mixers, we have fabricated the microreactor to detect the glucose-catalysts reaction. The microreactor showed good reactivity of glucose and enzymes with the small amount of sample solution.

미소유체 칩 상에서 Quantum Dot 및 마이크로 비드를 이용한 생체물질 분석 (Microbead-based bio-assay using quantum dot fluorescence in a microfluidic chip)

  • 윤광석;이도훈;김학성;윤의식
    • 센서학회지
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    • 제14권5호
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    • pp.308-312
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    • 2005
  • We present a microfluidic chip designed for the detection of antibody by using quantum dots fluorescence and a microbead-based assay. A custom designed PDMS microfluidic chip with multi-layer channel is utilized for capturing microbeads; antibody injection into each micro-well; QD injection; and fluorescence detection. The experiment using the fabricated microfluidic chip has been performed on solutions with various concentrations of antibody and has shown correlated fluorescent intensities.

A Single-Pole, Eight-Throw, Radio-Frequency, MicroElectroMechanical Systems Switch for Multi-Band / Multi-Mode Front-End Module

  • Kang, Sung-Chan;Kim, Hyeon-Cheol;Chun, Kuk-Jin
    • 센서학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.77-81
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    • 2011
  • This paper presents a single-pole eight-throw(SP8T) switch based on proposed a radio-frequency(RF) microelectromechanical systems (MEMS) switches. The proposed switch was driven by a double stop(DS) comb drive, with a lateral resistive contact. Additionally, the proposed switch was designed to have tapered signal line and bi-directionally actuated. A forward actuation connects between signal lines and contact part, and the output becomes on-state. A reverse actuation connects between ground lines and contact part, and the output becomes off-state. The SP8T switch of 3-stage tree topology was developed based on an arrangement of the proposed RF MEMS switches. The developed SP8T switch had an actuation voltage of 12 V, an insertion loss of 1.3 dB, a return loss of 15.1 dB, and an isolation of 31.4 dB at 6 GHz.

전해 방전법을 이용한 유리 미세 구멍가공 (Micro-hole Fabrication of Glass Using Electro-chemical Discharge Method)

  • 이왕훈;이영태
    • 센서학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.72-77
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    • 2004
  • In this paper, we fabricated an apparatus of the electro-chemical discharge drilling for boring narrow through-hole into a glass. In the electrolyte, electro-chemical discharge creates high temperature condition by the electro-discharge energy. Therefore, glass are removed by the accelerated chemical reaction with glasses and chemicals in the high temperature condition. For optimization of the electro-chemical discharge drilling, the process condition was studied experimentally as a function of the electrolyte concentration, supply voltage and process time. The optimum condition was from DC25V to DC30V of applied voltage, 35 wt% NaOH solution.

Excel을 이용한 마이크로 흐름센서의 열전달 해석 (Thermal Transfer Analysis of Micro Flow Sensor Based on Excel)

  • 김태용;정완영
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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    • pp.251-254
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    • 2006
  • 마이크로 흐름센서는 종래의 반도체 집적회로 공정기술을 이용하여 소형으로 제작이 가능하며, 빠른 응답특성을 가지는 장점이 있어 다양한 응용이 기대되고 있다. 본 연구에서는 넓은 흐름의 세기영역에서 정밀한 감도를 가지는 2차원 마이크로 흐름센서를 실리콘 기판위에 설계하여 왔다. 이러한 흐름센서의 정확한 온도특성을 분석하고 이 결과로부터 최적을 온도 감지막 위치를 결정할 필요가 있다. 설계방법으로서 표계산 소프트웨어 Excel을 이용하여 열운송방정식의 차분 방정식을 매크로 기능을 이용하여 적용하고 워크시트 내에서 셀 참조방식을 활용하여 자동 계산을 수행하도록 구현하였다. 본 연구에서는 Excel을 활용한 효율적인 설계방법을 제시하고 하나의 히터와 양측에 한 쌍의 온도 감지막을 가진 마이크로 흐름센서에 대해서 열전달 특성을 계산하고 이로부터 최적을 온도 감지막 위치를 결정할 수 있었다.

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전류센서가 없는 불연속 도통모드 플라이백 태양광 마이크로 인버터 (Flyback PV Micro-inverter without Current Sensor under Discontinue conduction mode)

  • 김현우;전영태;박종후
    • 전력전자학회:학술대회논문집
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    • 전력전자학회 2014년도 전력전자학술대회 논문집
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    • pp.365-366
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    • 2014
  • 본 논문에서는 플라이백 마이크로 인버터를 통해 전류센서 없이 최대전력 추종(Maximum Power Point)방법을 제안한다. 이 인버터는 태양광 전력을 역률1인 정현파, 낮은 왜곡율(THDs)로 계통연계 할 수 있는 태양광 인버터 이다. MPPT방식은 전류 센서리스로서 PV모듈의 전압과 MPPT제어 출력 값을 곱하여 PV전력의 정보를 비례적인 값으로 간접적으로 얻는 방식으로 태양광 최대 전력점을 찾을 수 있다. 또한, 계통의 전압으로 위상정보를 얻어 이를 정류시켜 MPPT제어와 곱하여 PWM파형을 발생한다. 제안한 태양광 인버터 전력단 회로는 플라이백으로 불연속 모드(DCM)로 동작하였으며, MPPT제어는 디지털(DSP)로 구현하였다. 100W급 하드웨어로 설계하여 실험을 진행 분석하였다.

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RF 무선통신 기술을 이용한 심전도 및 온.습도 측정 시스템 (The Measurement System of ECG, Temperature and Humidity Using RF wireless Communication Technique)

  • 임진희;남효덕;정우철
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2007년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.356-357
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    • 2007
  • In this paper, we developed an integrated miniaturized device which acquires and transmits the signal of ECG an interested heartbeat and body's temperature and humidity. Using an amplifier circuit on the electrodes and the radio frequency transmission, the developed system dispenses with the use of cables among the electrodes, amplifier, and the post processing system. The sensor signals are transmitted to the RF-wireless terminal that was developed using the micro controller Aduc812, LCD, RF-module (frequency 424MHz, 9600-bps). In results, the developed system improves not only the signal-to-noise ration in dynamic ECG & and body's temperature and humidity measurement, but also the user convenience.

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co-sputtering법으로 제조한 Insb박막의 후열처리기술에 의한 자기저항 특성 (Properties of Magneto-resistance by annealing using by co-sputtering method)

  • 김태형;소병문;송민종;박춘배
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2002년도 제4회 영호남학술대회 논문집
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    • pp.128-132
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    • 2002
  • Many compound semiconductors which have high carrier mobility and small band gap have attentive in application of various practical a field. Especially, InSb served for Hall device and magnetic resistor such as magnetic sensor because InSb thin film has high mobility. Many studies on InSb thin film deposistion because In and Sb has been very different feature of vapor pressure($10^{-4}$ times) When In and. Sb deposited. In this paper studied it In and Sb deposited simultaneously using by method of co-sputtering deposotion. This process, get to effects of manufacture process simplification. After that this paper observed micro structure and electronic behavior of InSb thin film using by co-sputtering and we study properties of magneto-resistance by annealing

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