Proceedings of the KIEE Conference (대한전기학회:학술대회논문집)

The Korean Institute of Electrical Engineers (대한전기학회)
권호 표지

A study on hydrogen gas sensing characteristics using micro gas sensor

마이크로 가스센서를 이용한 $H_2$ 가스 감지특성에 관한 연구

  • Lee, Eui-Sik (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
  • Lee, Joo-Hun (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
  • Lee, Byoung-Wook (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University) ;
  • Kim, Chang-Kyo (School of Information Technology Engineering, Soonchunhyang University)
  • 이의식 (순천향대학교 정보기술공학부) ;
  • 이주헌 (순천향대학교 정보기술공학부) ;
  • 이병욱 (순천향대학교 정보기술공학부) ;
  • 김창교 (순천향대학교 정보기술공학부)
  • Published : 2005.07.18
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Abstract

MEMS 기술을 이용하여 마이크로 $H_2$ 가스센서를 제작하고 마이크로 히터의 열적 특성과 $H_2$ 가스 농도 변화에 따를 마이크로 가스센서에 대한 감도를 분석하였다. 마이크로 가스센서의 전압 인가에 따른 히터의 온도는 1.0V에서 $250-280^{\circ}C$의 고온 특성을 보였으며, 동작온도 $250^{\circ}C$에서 $H_2$ 가스는 $SnO_2/V_2O_5/Pd$의 감응물질을 도포한 센서의 반응이 우수한 특성을 확인하였다. 동작 온도 $250^{\circ}C$ $H_2$ 농도 5000ppm의 조건에서 $SnO_2/V_2O_5/Pd$의 감응물질을 도포한 가스센서에서 $H_2$ 흡착 반응 시간은 3sec이 탈착 반응 시간은 8-10sec의 결과를 보였다.

Keywords