A Study on the Design of Optimized Ohmic Contact Structure for Micro Bolometer Monolithic Process (마이크로 볼로미터 어레이의 모놀로식 공정을 위한 ohmic contact 최적화 구조 설계에 대한 연구)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 2010.06a
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- pp.201-201
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- 2010