• 한국진공학회지
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• 제10권2호
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• pp.234-240
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• 2001

본 연구에서는 Mg을 첨가한 Cu-alloy에 의해 TiN의 확산방지능력을 향상시키고자 하였다. Cu(Mg) 박막은 대기노출시킨 TiN박막위에 증착되었으며 열처리시 Cu 박막내의 Mg은 TiN의 표면에 있는 산소와 반응하여 매우 얇은(~100 $\AA$) MgO를 형성하게되고 MgO에 의해 TiN의 확산방지능력은 Cu(4.5 at.%Mg)의 경우 $800^{\circ}C$까지 향상됨을 알 수 있었다. 그러나 Cu(Mg) a]toy는 TiN위에서 접착특성이 좋지 않기 때문에 TiN을 $O_2$plasma 처리하였으며 $O_2$ plasma 처리후 $300^{\circ}C$ 진공열처리를 통해 접착력이 크게 향상되는 것을 알 수 있었다. 이는 $O_2$ plasma 처리에 의해 TiN표면에 Mg과 반응할 수 있는 산소의 양이 증가하는 데 기인하며 이에 따라 Mg의 계면이동이 크게 증가되어 치밀한 MgO가 형성됨을 확인하였다. 그리고 $O_2$ plasma 처리시 RF power를 증가시키면 계면으로 이동하는 Mg의 양이 오히려 감소하였고 이것은 TiN의 표면이 $TiO_2$로 변하여 Mg과 결합할 수 있는 산소의 양이 상대적으로 감소하였기 때문인 것으로 생각된다. 또한 접착층으로서 Si을 50$\AA$ 증착하여 접착력을 크게 향상시켰으며 Si 증착에 의한 TiN의 확산방지능력은 감소되지 않는 것을 알 수 있었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 2005년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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• pp.15-17
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• 2005

In this study, tunable dielectric materials are important for resonator, variable capacitor, phased array antenna and other devices application. In this paper, Dielectric constant increased and tuning range increased with the increased of $BaSrTiO_3/Li_{2}CO_{3}$ content, which probably can be explained by the substitution of Ba3+, Li1+ on BaTiO3 lattice. The tunability and dielectric loss of the $BaSrTiO_2/Li_{2}CO_{3}$ thick film, sintered at $1150^{\circ}C$, were about 43 % and 0.234 at 10$\sim$15 MHz, respectively. In case of BaSrTi/MgO, Dielectric constant decreased and tenability increased with the added of $BaSrTiO_3/MgO$. The ferroelectrics properties were distinct when adding Li to BST ceramic thick film, and paraelectrics pattern was distinct when adding Mg.

• 한국결정학회지
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• 제13권2호
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• pp.57-62
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• 2002

MgO(001)면 위에 Ti 금속을 증착시킨 후 400℃에서 산소에 노출시킴으로써 헤테로 에피탁시 TiO 막을 성장시켰다. 성장된 TiO막의 원자구조를 비행시간형 직충돌 이온산란 분광법을 사용하여 해석하였다. MgO(001)면에 성장된 에피탁시 TiO막은 다음과 같은 구조를 갖고 있음이 밝혀졌다. Ti및 O 원자가 MgO 원자의 위에 위치하여 면내방향의 격자상수는 MgO의 격자상수와 일치하고, TiO막의 표면은 3차원적 섬 형상이 없는 평활한 구조를 가지고 있다.

• 한국표면공학회지
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• 제40권3호
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• pp.113-116
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• 2007

Titanium dioxide ($TiO_2$) films were deposited by RF reactive magnetron sputtering on non-alkali glass and single crystal MgO (100) substrate at substrate temperature of $400^{\circ}C$. Micro structures of $TiO_2$ films were investigated by XRD, FE-SEM, and Pole figure measurements. $TiO_2$ films deposited on glass substrate showed preferred orientation of anatase (101), whereas $TiO_2$ films deposited on the MgO single crystal substrate showed hetero-epitaxial anatase (100). $TiO_2$ film grown on MgO substrate showed higher photoctalytic activity than that of glass substrate.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2000년도 춘계학술대회 논문집 디스플레이 광소자 분야
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• pp.148-151
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• 2000

$Mg_{2-2x}Ti_xO_2$ films were prepared by e-beam evaporation method to be used as possible substitutes for the conventional MgO protective layer. The oxygen content in the films and in turn, the ratio of metal to oxygen gradually increased with increasing the $TiO_2$ content in the starting materials. The pure MgO films exhibited the crystallinity with strong (111) orientation. The $Mg_{2-2x}Ti_xO_2$ films, however, had the crystallinity with (311) preferred orientation. When the $[TiO_2/(MgO+TiO_2)]$ ratios of 0.1 and 0.15 were used, the deposited films exhibited the secondary electron emission yields improved by 50% compared to that of the conventional MgO protective layer, which resulted in reduction in discharge voltage by 12%.

• 한국결정성장학회지
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• 제10권6호
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• pp.378-380
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• 2000

The epitaxial $BaTiO_{3}$ thin film was prepared on the MgO substrate by the coating-pyrolysis process using a mixed solution of Ba-naphthenate and Ti-naphthenate. The crystal structure of the epitaxial $BaTiO_{3}$ thin film was characterized by XRD ${\theta}/2{\theta}$ scan and asymmetric {303} rocking curve scan. The epitaxial $BaTiO_{3}$ thin film had the cubic phase with the lattice parameter of a = c = 0.4018 nm.

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
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• pp.898-901
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• 2004

[ $ZnCr_2O_4$ ]를 모물질로 하고 MgO, $TiO_2$를 몰비로 2:1, 4:1, 6:1, 및 8:1이 되게 정량적으로 조합한 후, 조사하였다. $ZnCr_2O_4$-MgO와 $ZnCr_2O_4-TiO_2$를 X-선 분석한 결과 Spinel 결정구조를 형성하였으며, 또한 SEM과 EDX 분석결과 각각 $Li_2CrO_4$와 $Li_3VO_4$의 형성으로 인하여 저항 특성이 나타나는 것을 알 수 있었다. $ZnCr_2O_4-MgO$, $ZnCr_2O_4-TiO_2$에서 MgO의 양이 증가할수록 저항값은 약간 감소하는 반면, $TiO_2$의 양이 증가할수록 저항값이 급격히 증가하는 특성을 나타내었고, 감습 특성에서도 M??보다 TiO2가 더 높게 나타내었다. 습에 따른 복원 특성의 경우 $700^{\circ}C$에서 소결한 ($ZnCr_2O_4:MgO=4:1$)과 ($ZnCr_2O_4:TiO_2=6:1$) 조성의 센서가 가장 양호하였다.

• 한국세라믹학회지
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• 제43권1호
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• pp.62-67
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• 2006

Time-of-flight impact-collision ion scattering spectroscopy (TOF-ICISS) using 2 keV $He^+$ ion was applied to study the geometrical structure of the $BaTiO_3$ thin film which was grown on the MgO(100) surface. Hetero-epitaxial $BaTiO_3$ layers were formed on the MgO(100) surface by thermal evaporation of titanium followed first by oxidation at $400^{\circ}C$, subsequently by barium evaporation, and finally by annealing at $800^{\circ}C$. The atomic structure of $BaTiO_3$ layers was investigated by the scattering intensity variation of $He^+$ ions on TOF-ICISS and by the patterns of reflection high energy electron diffraction. The scattered ion intensity was measured along the <001> and <011> azimuth varying the incident angle. Our investigation revealed that perovskite structured $BaTiO_3$ layers were grown with a larger lattice parameter than that of the bulk phase on the MgO(100) surface.

• 한국세라믹학회지
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• 제37권6호
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• pp.537-544
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• 2000

Thin-film humidity sensor which TiO2, ZrO2, or CeO2 was added to MgCr2O4-based materials, respectively, were fabricated on the alumina substrate by using a resistant-heating evaporator. Thin films were approximately 2${\mu}{\textrm}{m}$ in grain size and shwoed porous microstructures. The resistance of the sensor decreased with increasing the relative humidity and the MgCr2O4-TiO2 sensor had the best humidity-sensing characteristics (linearity in relative humidity versus resistance).

• 공업화학
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• 제34권1호
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• pp.30-35
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• 2023

TiO₂ 졸을 사용하여 유리알 표면에 TiO₂ 코팅한 후 건조 처리한 시료(TB)와 소성한 시료(TBc)를 제조하였다. 이들 시료에 대한 TiO₂ 박막의 특성분석과 메틸렌블루 및 톨루엔의 광분해 실험을 수행하였다. FE-SEM, XPS 및 FTIR 분석 결과, TB 시료의 TiO₂ 박막은 스펀지 폼과 같은 형태이며 무정형 TiO₂와 일부 결정형 TiO₂가 존재하였다. TBc 시료의 TiO₂ 박막에는 결정형 TiO₂가 주로 존재하며 침상형 입자와 미세 입자들이 혼재하였다. TBc 시료(46 mg/g)의 톨루엔 흡착량은 같은 코팅량의 TB 시료 대비 적었으나 톨루엔 분해율은 비슷했다. TB 시료의 경우, TiO₂ 코팅량이 증가함에 따라 톨루엔 분해능이 흡착능에 비해 적게 감소하였다. 이러한 결과는 소성하지 않은 TB 시료는 TiO₂ 코팅량이 증가하면 무정형 텍스처의 비표면적은 감소하는 반면 결정성 입자들의 활성점 감소는 적게 일어나기 때문으로 판단된다.