절연막이 후 열처리가 Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor 구조의 전기적 특성에 미치는 영향 (Effects of the Post-annealing of Insulator on the Electrical Properties of Metal/Ferroelectric/Insulator/Semiconductor Structure)
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- 한국세라믹학회지
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- 제37권11호
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- pp.1051-1057
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- 2000