Fabrication of Micro-heaters Using MgO as Medium Layer and It`s Application for Micro-Flowsensors (매개층 산화마그네슘막을 이용한 백금박막 미세발열체의 제작과 마이크로 유량센서에의 응용)
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- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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- 1999.11a
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- pp.358-361
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- 1999