• Current Applied Physics
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• 제18권11호
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• pp.1196-1200
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• 2018

We have experimentally demonstrated circular polarization generation from linear polarized soft X-ray at synchrotron by adopting a thin magnetic film polarizer. Polarizer is composed of Co/Pt multilayer with a perpendicular magnetic anisotropy, which allows us to easily accommodate without needing any tilting angle into the measurement setup since the circular polarization is generated for the X-ray with normal incidence and transmission. Generated circular polarization is examined by observing magnetic domain features based on the X-ray magnetic circular dichroism, where~11% of circular component is estimated compared to the case of full circular polarization.

• 마이크로전자및패키징학회지
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• 제21권2호
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• pp.85-89
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• 2014

본 연구에서는 자기 소프트 몰드를 이용하여 피치 143.59 nm의 고 성능 NWGP(Nano Wire Grid Polarizer) 필름의 새로운 제조 방법을 제안하였다. 제작된 편광필름은 $6cm{\times}6cm$의 PET기판위에 알루미늄 격자 구조를 가지고 있으며, 이는 TFT-LCD(Thin Flat Transistor Liquid Crystal Display)에 응용 가능할 것으로 보인다. 자기 소프트 몰드는 너비 70.39 nm의 규격으로 제작되었으며, 이를 이용하여 2단계의 복제과정을 거쳐 제작되어진다. 이를 통해 본 연구에서는 기판위에 75.68 nm 선폭과 64.76 nm의 높이 143.59 nm pitch를 가지는 격자구조의 NWGP 패턴을 제작하였다. 또한, 이는 800 nm 파장 영역 대에서 75%의 최대 투과율과 10%의 최소 투과율을 가지는 것을 확인하였다. 따라서, 본 공정을 통해 독창적인 저 비용의 나노패터닝 기술로 디스플레이 산업에서 적용되어 질 것으로 보여진다.