• 한국소음진동공학회논문집
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• 제18권4호
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• pp.458-464
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• 2008

The structural health monitoring has been gaining more importance in civil engineering areas such as earthquake and wind engineering. The use of health monitoring system can also provide tools for the validation of structural analytical model. However, only few structures such as historical buildings and some important long bridges have been instrumented with structural monitoring system due to high cost of installation, long and complicated installation of system wires. In this paper, the structural monitoring system based on cheap and wireless monitoring system is investigated. The use of advanced technology of micro-electro-mechanical system(MEMS) and wireless communication can reduce system cost and simplify the installation. Further the application of wireless MEMS system can provide enhanced system functionality and due to low noise densities. Identification results are compared to ones using data measured from traditional accelerometers and results indicate that the system identification using wireless MEMS system estimates system parameters accurately.

• 한국정밀공학회지
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• 제24권1호
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• pp.47-56
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• 2007

Recently, demands on mechanical micro machining technology have been increased in manufacturing of micro-scale precision shapes and parts. The main purpose of this research is to verify the accuracy and cost efficiency of the mechanical micro machining. In order to measure the precision and feasibility of mechanical micro machining, various micro features were machined. Aluminum molds were machined by a 3-axis micro stage in order to fabricate microchips with $200{\mu}m$ wide channel for capillary electrophoresis, then the same geometry of microchip was made by injection molding. To evaluate the cost efficiency of various micro manufacturing processes, cost estimation for mechanical micro machining was conducted, and actual costs of microchips fabricated by mechanical micro machining, injection molding, and MEMS (Micro electro mechanical system) were compared.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2006년도 춘계종합학술대회
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• pp.924-926
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• 2006

저전력 집적회로 기술과 MEMS (micro electro-mechanical systems) 기술이 융합된 산물인 스마트 센서는 작은 크기, 저비용, 저전력의 특성을 가지고, 그와 더불어 임베디드 어플리케이션에 사용되기에 적합하므로 이동 환경 컴퓨팅 분야에서 주목을 받고 있다. 이 센서들이 이동 통신에 적용되면 어플리케이션의 특성에 따라 인간의 접촉이 쉽지 않은 곳과 원격 통신이 가능하다는 장점이 있다. 이러한 혁명적인 원격 네트워크 기술로 인하여 활동적인 연구자들에게 엄청난 연구의 장이 열린 것이다. 본 논문에서는 그 중 한가지의 어플리케이션인 열센서 카메라에 대한 응용 분야로, 적외선 열센서 카메라에 대한 미세 조정을 위한 시스템 구축 방안에 대하여 논의한다.

• 대한전자공학회논문지SD
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• 제43권2호
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• pp.1-7
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• 2006

본 연구는 MEMS 정전발전기(MEMS Electrostatic Power Generator)를 개발하기 위한 선행연구로 정전발전기를 통해 발생시킨 고전압의 정전기를 동전기로 바꾸는 변환소자를 제안하고 이를 시뮬레이션 툴을 이용하여 설계 및 시뮬레이션하였으며, 결과를 바탕으로 소자를 제작하여 기초적인 검증을 실시하였다. 시뮬레이션과 제작된 소자를 이용한 기초실험 결과 전압을 gate에 인가할 때 제작소자인 PM형 다이오드의 공핍층내 전계에 의해 효과적으로 anode 전류가 형성됨을 확인하였으며, 정전하를 gate에 인가할 때에도 유사한 결과가 나을 것으로 기대된다.

• 한국항공우주학회지
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• 제31권7호
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• pp.53-62
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• 2003

• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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• pp.573-574
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• 2006

The planarization technology of Chemical-mechanical polishing(CMP), used for the manufacturing of multi-layer various material interconnects for Large-scale Integrated Circuits (LSI), is also readily adaptable as an enabling technology in MicroElectroMechanical System (MEMS) fabrication, particularly polysilicon surface micromachining. However, general LSI device CMP has partly distinction aspects, the pattern scale and material sorts in comparison with MEMS CMP. This study performed preliminary CMP tests to identify slurry characteristic used in general IC device. The experiment result is possible to verify slurry characteristic in MEMS structure material.

• Applied Microscopy
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• 제51권
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• pp.8.1-8.7
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• 2021

Growing demands for comprehending complicated nano-scale phenomena in atomic resolution has attracted in-situ transmission electron microscopy (TEM) techniques for understanding their dynamics. However, simple to safe TEM sample preparation for in-situ observation has been limited. Here, we suggested the optical microscopy based micro-manipulating system for transferring TEM samples. By adopting our manipulator system, several types of samples from nano-wires to plate-like thin samples were transferred on micro-electro mechanical systems (MEMS) chip in a single step. Furthermore, the control of electrostatic force between the sample and the probe tip is found to be a key role in transferring process.

• 한국항해항만학회:학술대회논문집
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• 한국항해항만학회 2006년도 International Symposium on GPS/GNSS Vol.1
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• pp.265-270
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• 2006

Recently, inertial sensors like gyros and accelerometers have been quite miniaturized by Micro Electro-Mechanical Systems (MEMS) technology. JAXA is developing a MEM-based GPS/INS hybrid navigation system named Micro-GAIA. The navigation performance of Micro-GAIA was evaluated through off-line analysis by using flight test data. The estimation errors of the roll, pitch, and azimuth were $0.03^{\circ}$, $0.05^{\circ}$, $0.05^{\circ}$ $(1{\sigma})$, respectively. he horizontal position errors after 60-second GPS outages were reduced to 25 m CEP. The attitude errors and position errors are nearly half of ones reported previously[2]. Furthermore, using the adaptive Kalman filters, the robustness against the uncertainty of the measurement noise was improved. Comparing the innovation-based and residual-based adaptive Kalman filters, it was confirmed that the latter is robuster than the former.

• 전기전자학회논문지
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• 제18권1호
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• pp.119-127
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• 2014

본 논문에서는 MEMS(Micro Electro Mechanical System) 가속도센서를 위한 CMOS readout 회로를 설계하였다. 설계된 CMOS readout 회로는 MEMS 가속도 센서, 커패시턴스-전압 변환기(CVC), 그리고 2차 스위치드 커패시터 ${\Sigma}{\Delta}$ 변조기로 구성된다. 이들 회로에는 저주파 잡음과 오프셋을 감소시키기 위한 correlated-double-sampling(CDS)와 chopper-stabilization(CHS) 기법이 적용되었다. 설계 결과 CVC는 150mV/g의 민감도와 0.15%의 비선형성을 갖는다. 설계된 ${\Sigma}{\Delta}$ 변조기는 입력전압 진폭이 100mV가 증가할 때, 출력의 듀티 싸이클은 10%씩 증가하며, 0.45%의 비선형성을 갖는다. 전체 회로의 민감도는 150mV/g이며, 전력소모는 5.6mW이다. 제안된 회로는 CMOS 0.35um 공정을 이용하여 설계하였고, 공급 전압은 3.3V이며, 동작 주파수는 2MHz이다. 설계된 칩의 크기는 PAD를 포함하여 $0.96mm{\times}0.85mm$이다.

• 한국항해항만학회:학술대회논문집
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• 한국항해항만학회 2018년도 추계학술대회
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• pp.328-330
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• 2018

태양 에너지를 전기 에너지로 변환시키는 장치가 설치된 해상 부유체는 파도에 의해서 운동한다. 해상 부유체의 안전성을 평가하기 위해서는 부유체 운동의 측정과 해석이 필요한데, 일반적으로 6자유도 운동을 이용한다. 6자유도 운동은 저전력, 소형, 저가의 특징을 갖고 있는 MEMS(Micro-Electro Mechanical System)를 이용하여 측정할 수 있다. 문제는 MEMS의 낮은 정밀도이다. 본 연구에서는 이러한 MEMS를 이용한 해상 태양광 부유체의 거동을 측정하고, 측정한 거동을 이용한 안전성 평가 기법에 관하여 검토하였다. 연구결과 3축의 가속도계와 3축의 자이로스코프를 이용한 관성 측정 플랫폼을 통해서 해상 부유체의 모델링과 안전성 평가가 가능함을 알았다.