Advanced Disposable Spacer를 이용한 Low Vcc Operation용 $0.12\mu\textrm{m}$ 저전력 SRAM 공정개발에 관한 연구
(Development of $0.12\mu\textrm{m}$ Low Power SRAM with Advanced Disposable Spacer Scheme for Low Vcc Operation)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 2002년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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- pp.58-58
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- 2002