Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.21
no.4
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pp.354-361
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2008
The dielectric characteristics of low-k interlayer dielectric materials was fabricated by plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD). BTMSM precursor was evaporated and introduced with the flow rates from 16 sccm to 25 sccm by 1sccm step in the constant flow rate of 60 sccm $O_2$ in process chamber. Manufactured samples are analyzed components by measuring FT/IR absorption lines. Decomposition each Microscopic structures through two-dimensional correlation analysis about mechanisms for the formation of SiOCH in $SiOCH_3$, Si-O-Si and Si-$CH_3$ bonding group and analyzed correlation between the micro-structure of each group. It is a tendency that seems to be growing of Si-O-Ci(C) bonding group and narrowing of Si-O-$CH_3$ bonding group relative to the increasing flow-rate BTMSM. The order of changing sensitivity about changes of flow-rate in Si-O-Si(C) bonding group is cross link mode$(1050cm^{-1})$$\rightarrow$ open link mode$(1100cm^{-1})\rightarrow$ cage link mode $(1140cm^{-1})$.
Kim, Gi-Bum;Hwang, Yoon-Sik;Kim, Yeong-Shik;Park, Jang-Sick;Park, Jae-Bum
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2007.11a
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pp.231-232
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2007
Nickel oxide thin films were deposited by the DC magnetron reactive sputtering process under the conditions such as various oxygen flow rates(0, 3, 6, 8, 10 sccm) with constant 33 sccm argon flow rate for the sputtering time of 40 second with the power of 0.3 kW. Sheet resistances were measured by the four point probes. In order to observe discharge voltage characteristics according to the oxygen flow rates, the sputtering processes were performed under the powers of 0.2kW and 0.3kW. The feasibility of the coating system for high quality ferromagnetic thin films was tested through the electromagnetic simulation and the thin film thickness measurement from the experiment. It was shown that a discharge voltage was decreased under the low power and low oxygen flow rate, since the oxygen was quickly saturated on nickel target surface. The sheet resistance was increased as oxygen flow rate increased. The film thickness deposited by the coating system for ferromagnetic target was improved approximately 10% in comparison with previous coating systems.
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.21
no.6
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pp.544-551
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2008
We have studied the dielectric characteristics of low-k interlayer dielectric materials fabricated by PECVD for various precursor's flow rates. BTMSM precursor was introduced with the flow rates from 42 sccm to 60 sccm by 2 sccm step in the constant flow rate of 60 sccm $O_2$. The absorption intensities of Si-O-$CH_x$ bonding group and Si-$CH_x$ bonding group changed synchronously for the variation of precursor flow rate, but the intensity of Si-O-Si(C) responded asynchronously with the $CH_x$ combined bonds. The heat treatment reduced the FTIR absorption intensity of Si-O-$CH_x$ bonding group and Si-$CH_x$ bonding group but increased the intensity of Si-O-Si(C). The nanopore and free space formed by the increasement of caged link mode and cross link mode of Si-O-Si(C) group implied the origin of low-k SiOCH films.
A combined theoretical and numerical study is conducted to design a slit nozzle for large-area liquid coating. The objectives are to guarantee the uniformity in the injected flow and to provide the capability of explicit control of flow rate. The woking fluid is a dilute aqueous solution containing single-walled carbon nanotubes and its low viscosity and the presence of dispersed materials pose technical hurdles. A theoretical analysis leads to a guideline for the geometric design of a slit nozzle. The CFD-based numerical experiment is employed as a verification tool. A new flow passage unit, connected to the nozzle chamber, is proposed to permit the control of flow rate by using the commodity pressurizer. The numerical results confirm the feasibility of this idea. The optimal geometry of internal structure of the nozzle has been searched for numerically and the related issues are discussed.
Transactions of the Korean Society of Mechanical Engineers B
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v.29
no.10
s.241
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pp.1083-1091
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2005
Turbulent flow around a rotating circular cylinder is investigated by Direct Numerical Simulation. The calculation is performed at three cases of low Reynolds number, Re=161, 348 and 623, based on the cylinder radius and friction velocity. Statistically strong similarities with fully developed channel flow are observed. Instantaneous flow visualization reveals that the turbulence length scale typically decreases as Reynolds number increases. Some insight into the spacial characteristics in conjunction with wave number is provided by wavelet analysis. The budget of dissipation rate as well as turbulent kinetic energy is computed and particular attention is given to the comparison with plane channel flow.
Pneumatic system is widely applied in various industry because it have a many advantage(low cost, high safety, etc..). For design of pneumatic system, accurate flow measurement is required. In this study, compressible fluid flow measurement apparatus was designed and built. It uses an isothermal chamber that can approximate isothermal condition. Therefore, it can be measured for flow-rate using pressure response of isothermal chamber. As a result, this apparatus can be measured for sonic conductance and critical pressure ratio of pneumatic components and it required less time and energy than conventional flow meter. The effectiveness of the designed apparatus is proved by experimental result.
Proceedings of the Korean Society for Agricultural Machinery Conference
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2000.11c
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pp.662-669
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2000
Based on the viscous flow characteristics of gas through capillary tube, a simple and low cost system was developed for controlling gas concentration for use in C.A experiments. The gas flow rate through capillary tube had a linear relationship with pressure, $(length)^{-1}$ and $(radius)^4$ of capillary tube, which agreed well with Hagen-Poiseuille's law. The developed system could control the gas concentration in storage chamber within ${\pm}0.3%$ deviation compared to the preset concentration. The required time for producing target gas concentration in storage chamber was exactly predicted by the model used in this study, and it required much longer time than the calculated time which divided the volume of chamber by flow rate. Therefore, for producing target gas concentration as quickly as possible, it needs to supply higher flow rate of gas during the initial stage of experiment when gas concentration in storage chamber has not reached at target value. It appeared that the developed system was very useful for C.A experiments. Because one could decide a desired flow rate by the prediction model, control flow rate freely and easily by changing pressure in the pressure-regulating chamber and the accuracy was high.
This study investigated the erosion-corrosion characteristics of 5038-H321 aluminum alloy in a natural seawater solution through various electrochemical experiments and flow rate parameters. Cathodic polarization experiments were conducted at flow rates ranging from 4 to 12 knots. Considering the concentration polarization section representing a relatively low current density, the range of the potentiostatic experiment was determined to be -1.6 to -1.0 V. The potentiostatic experiment was conducted at various potentials for 180 minutes in seawater. After the experiment, the corrosion characteristics were evaluated by observing surface morphology and measuring surface roughness. As a result, as the applied potential was lower, the amount of calcareous deposits increased and the roughness tended to increase. On the other hand, it was confirmed that the roughness was larger in the static condition than the flow rate condition due to the influence of the flow velocity. Variations in the chemical composition with flow rate variations were analyzed by energy-dispersive spectroscopy (EDS). In conclusion, the cathodic potential of AA5083-H321 in seawater was determined to be -1.0 V.
In order to obtain velocity profile of blood flow with high spatial resolution, a micro PIV technique consisted of a fluorescent microscope, double-pulsed YAG laser, cooled CCD camera was applied to in-vitro blood flow experiment through a micro round tube of a diameter $100{\mu}m$. Velocity distributions of blood flow for rabbit were obtained. The viscosity profiles for shear rate were found at flowing condition. To provide hemorheological characteristics of blood flow, the viscosities for shear rate were evaluated. The viscosity of blood also steeply increase by decreasing shear rate resulting in Non-Newtonian flow, especially in low shear rate region caused by RBC rheological properties. The results show typical characteristics of Non-Newtonian characteristics from the results of velocity profile and viscosity for blood flow. From the inflection points, cell free layer and two-phase flow consisted with plasma and suspensions including RBCs can be separated.
Qingche He;Liang-ming Pan;Luteng Zhang;Wangtao Xu;Meiyue Yan
Nuclear Engineering and Technology
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v.55
no.11
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pp.3973-3982
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2023
As for two-phase flow in rectangular channels, the flow regimes especially like churn-turbulent and annular flow are significant for the physical problem like Countercurrent Flow Limitation (CCFL). In this study, the rectangular channels with cross-sections of 4 × 66 mm, 6 × 66 mm, 8 × 66 mm are adopted to investigate the flow regimes of air-water vertical upward two phase flow under adiabatic condition. The gas and liquid superficial velocities are 0 ≤ jg ≤ 20m/s and 0.25 ≤ jf ≤ 3m/s respectively which covering bubbly to annular flow. The flow regimes are identified by random forest algorithm and the flow regime maps are obtained. As the results, the transitional void fraction from slug to churn turbulent flow fluctuate from 0.47 to 0.58 which is significantly affected by the dimensional size of channel and flow rate. Besides, the void fraction at transitional points from churn-turbulent (slug) to annular flow are 0.66-0.67, which are independent with the gap size. Furthermore, a new criteria of slug to churn-turbulent flow is established in this study. In addition, by introducing the interfacial force model, the criteria of churn-turbulent (slug) flow to annular flow is verified.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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