• 대한전기학회논문지:시스템및제어부문D
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• 제54권1호
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• pp.33-39
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• 2005

In this paper, we propose a slider servo-mechanism driven by electro-magnetic actuator to improve straightness of linear motor stages. Based on axial-position dependent deterministic characteristics of the straightness error, a feedforward compensation control is appled to reduce the straightness error. In the consideration of uncertain properties of friction and its effects on positioning accuracy, a sliding mode control is applied. The effectiveness of the suggested mechanism and the control performances are illustrated along with some experimental results.

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제19권4호
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• pp.18-21
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• 2020

Undetected wafer slip during the lift pin-down motion in semiconductor equipment may affect the center to edge variation, wafer warpage, and pattern misalignment in plasma equipment. Direct measuring of the amount of wafer slip inside the plasma process chamber is not feasible because of the hardware space limitation inside the plasma chamber. In this paper, we demonstrated a practice for the wafer lift pin-up and down motions with respect to the gear ratio, operating voltage, and pulse width modulation to maintain accurate wafer position using remote control linear servo motor with an experimentally designed chamber mockup. We noticed that the pin moving velocity and gear ratio are the most influencing parameters to be control, and the step-wised position control algorithm showed the most suitable for the reduction of wafer slip.

• 한국전자통신학회논문지
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• 제17권5호
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• pp.833-840
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• 2022

산업 현장에서 자동화 장비 및 모터의 정밀도가 요구되고 있고 전 세계 모터 시장 규모는 많이 증가하였지만, 국내 모터 기술은 해외 기술보다 뒤처져 있다. 본 논문에서는 모터의 기술 향상을 위해 PLC 서보 모터와 아두이노 스텝모터에 비선형 알고리즘을 적용하여 정밀도 안정도, 효율을 선형 알고리즘과 비교하였다. 비선형 알고리즘이 선형 알고리즘에 비해 모터의 최고 속도가 빨라 같은 구동 기준 소요 시간을 단축할 수 있었으며 곡률이 적어 정밀도가 향상되는 것을 확인하였다.

• 한국공작기계학회:학술대회논문집
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• 한국공작기계학회 2000년도 춘계학술대회논문집 - 한국공작기계학회
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• pp.291-296
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• 2000

Liner DC motors are widely used for servo-actuator, which would be applied for semiconductor equipments and precise machining systems. we have been developed linear DC motor with high speed, acceleration and position accuracy. From performance test, the position accuracy. From performance test, the position and repeatability accuracy were able to be controlled with 10 ${\mu}{\textrm}{m}$ and $\pm$1 ${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. The highest acceleration and speed were obtained 3 G and 2m/sec, respectively. Static thrust force was 270N, and then error was 25%.

• Journal of Electrical Engineering and Technology
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• 제2권1호
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• pp.50-54
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• 2007

In this paper, a dual-servo type VCM (Voice Coil Motor) for the measuring of nano-level displacement and small thrust is proposed and developed. The shape of VCM for improving the resolution of displacement and ensuring a large displacement are presented. The FEM (finite element method) is utilized to analyze the characteristics of VCM that produces linear driving thrust and satisfies the thrust that the measurement system requires. The Prototype is fabricated and an experiment is performed in order to measure displacement. As a result of simulation and testing, the proposed VCM shows the applicable possibility for a nano-level measurement system.

• 전력전자학회논문지
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• 제9권6호
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• pp.553-559
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• 2004

기존의 선형 이송 시스템은 구동원으로 서보 모터를 사용하고 있다. 서보 모터의 회전 운동을 직선 운동으로 변환하기 위해서는 기계적인 동력전달 장치가 필요하며, 이는 위치 오차의 발생이나 주기적인 시스템의 유지보수의 필요성 등의 문제점을 야기한다. 본 논문에서는 단위 체적당 추력비가 기존의 모터에 비해 우수한 횡축형 선형전동기를 이용하여 LCD 공정에 사용되는 인덱서(indexer) 시스템의 선형 추진부에 적용하는 연구를 수행하였다. 실험결과 횡축형 선형전동기는 가속능력, 최대속도 및 위치결정 정밀도 등에서 인덱서 시스템에 적용하기에 적합한 것을 검증하였다.

• 한국정보통신학회:학술대회논문집
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• 한국해양정보통신학회 2007년도 추계종합학술대회
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• pp.897-900
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• 2007

본 논문은 BLDC 서보모터를 사용하는 power-by-wire(PBW) 시스템을 위한 DSP 제어기와 IGBT 인버터 드라이버를 설계하는 연구를 제안한다. 이 BLDC 서보모터 시스템은 DSP(Digital Signal Processor)와 IGBT 인버터 모듈로써 구현되어진다. PBW 시스템은 직선 추력 동작을 위해 서보 모터의 속도 제어가 필요하다. 본 논문에서는 벡터 제어와 min-max PWM 기술로 이러한 서보 제어기를 구현한다. 제어기의 CPU로써, TMS320F2812 DSP는 PWM(펄스폭변조) 파형발생기, A/D변환기, SPI(직병렬인터페이스) 포트 그리고 많은 입/출력 포트 등을 가지고 있기 때문에 채택되었다.

• 전력전자학회논문지
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• 제11권2호
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• pp.159-163
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• 2006

선형 서보 응용분야에서 속도제어기를 정밀하게 조정하기 위해서는 부하 및 가동자의 질량을 항상 정확하게 알고 있어야 한다. 본 논문에서는 선형 영구자석 동기전동기의 가동부 질량을 추정하기 위하여 상수추정 알고리즘으로 최소자승법을 적용한 질량 추정방법을 제안하였다. 먼저 최소자승법을 적용하기 위한 기계적인 동전 시스템에 대한 DARMA(deterministic autoregressive moving average)모델을 유도하고, 유도된 DARMA모델에 최소자승법을 적용한 시뮬레이션 덴 실험 결과를 제시하여 제안한 방법으로 질량을 정밀하게 추정할 수 있음을 보였다.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2000년도 추계학술대회 논문집
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• pp.993-996
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• 2000

A brushless linear motor is suitable for a high-accuracy servo mechanism. It is also suitable for operation with higher speed and precision. Since it does not involve some sort of mechanical coupling, linear driving force can be applied directly. Basic models including magetomotive force and electromotive forces are introduced and simplified. Both conventional PID and fuzzy controllers are implemented and performance results using those controllers are compared. Along with better simulated performance observed using fuzzy controller, further fabrication is to be included with various empirical results. Several system operational characteristics have been observed. Typical nonlinearities as friction, cogging and torque or thrust ripple that might deteriorate system performance would be tackled using presumably effective method such as neural network based learning controller.

• 한국정밀공학회:학술대회논문집
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• 한국정밀공학회 2000년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.973-976
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• 2000

A brushless linear motor is suitalbe fur a high-accuracy servo mechanism. It is also suitable for operation with higher speed and precision. Since it does not involve some sort of mechanical coupling, linear driving force can be applied directly. Basic models including magetomotive farce and electromotive forces are introduced and simplified. Both conventional PID and fuzzy controllers are implemented and performance results using those controllers are compared. Along with better simulated performance observed using fuzzy controller, further fabrication is to be included with various empirical results. Typical nonlinearities as friction, cogging and torque or thrust ripple that might deteriorate system performance would be tackled using presumably effective method such as neural network based learning controller.