• 제목/요약/키워드: Least Square Circle Fitting

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Least Square Circle Fitting을 이용한 Pre-Alignment (Pre-Alignment Using the Least Square Circle Fitting)

  • 이남희;조태훈
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
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    • 한국해양정보통신학회 2009년도 추계학술대회
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    • pp.410-413
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    • 2009
  • 웨이퍼 Pre-Alignment는 반도체 공정에서 장비에 웨이퍼를 놓기 전에 웨이퍼의 중심 및 방향을 정확하게 정렬할 필요가 있는데, 이를 위해서 일정한 수준 이하로 중심과 방향을 찾아 Alignment 하는 방법을 말한다. 본 논문에서는 웨이퍼를 Alignment 하기 위해 기존의 Mechanical한 방법이 아닌 Area 카메라를 통한 비접촉식 방법을 이용하였다. 이 방법은 웨이퍼를 45도씩 8번씩, 한 바퀴를 회전하여 이미지를 획득한 뒤, 이미지의 웨이퍼의 에지값 들을 이용하여 Least Square Circle Fitting을 이용하여 웨이퍼의 중심과 방향을 정확하게 측정하여 Alignment를 한다.

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Least Square를 이용한 수직다관절 Manipulator의 새로운 원호 경로 보간 방법 (A New Circular Curve Fitting of Articulated Manipulators Using Least Squares)

  • 정원지;이춘만;김대영;서영교;홍형표
    • 한국공작기계학회논문집
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    • 제12권4호
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    • pp.17-22
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    • 2003
  • This paper presents a new circular curve fitting approach of articulated manipulators, based on least square. The approach aims at gaining the interpolation of circle from n data points, under the condition that the fitted circle should pass both a starting point and an ending point. First a spherical fitting should be performed, using least squares. Then the circular curve fitting can be resulted from the intersection of the fitted sphere and the plane obtained from 3 points, i. e., a starting point, an ending point and the center of a sphere. The proposed algorithms are shown to be efficient by using MATLAB-based simulation.

최소자승법을 이용한 수직다관절 Manipulator의 원호보간에 관한 효과적인 방법 (An Efficient Approach to Circular Curve Fitting of Articulated Manipulators Using Least Squares)

  • 김대영;최은재;정원지;서영교;홍형표
    • 한국정밀공학회:학술대회논문집
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    • 한국정밀공학회 2002년도 추계학술대회 논문집
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    • pp.570-575
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    • 2002
  • This paper presents a new circular curve fitting approach of articulated manipulators, based on pseudoinverses. The paper aims at gaining the interpolation of circle from n data points, under the condition that the fitted circle should pass both a start point and an end point. In this paper, two algorithms of circular interpolation are presented. Prior to circular interpolation, are a spherical fitting should be performed, using least squares. In the first algorithm, the relationship between point data and normal vector on the sphere is used. In the second algorithm. the equation of plane which can be obtained from 3 points, i.e., a start point, an end point, and center of a sphere. The proposed algorithms are show to be efficient by using MATLAB-based simulation.

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초정밀 기상측정용 다이아프램 타입 접촉식 프로브의 개발 (Development of Diaphragm-type Stylus Probe for Ultra-precision On-machine Measurement Application)

  • 이정훈;이찬희;최준명;김호상
    • 한국정밀공학회지
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    • 제29권8호
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    • pp.845-852
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    • 2012
  • The diaphragm-type stylus probe was developed for ultra-precision on-machine measurement (OMM) application. This probe is equipped with two diaphragms which are parallel and one capacitive sensor is used for detecting the vertical motion of end tip in the stylus when it is contacted to the optical freeform surface. For better performance of proposed probes, several design parameters such as axial stiffness and the lateral deformations were investigated with finite element analysis techniques. To verify the feasibility, the profiles of the master sphere ball were measured on the ultra-precision milling machine. The measurement results show that the proposed probe can calculate the radius of the circle within the accuracy of 0.1 ${\mu}m$ for the ultraprecision optical surface.

20C 한반도 지진활동 특성과 영월지진(1996년12월13일)의 피해 및 진도 분석 (Characteristics of Seismic Activity in the 20th century and Analysis on the Damage and Intensity of Yeongwol Earthquake(December, 13, 1996))

  • 경재복
    • 한국지진공학회:학술대회논문집
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    • 한국지진공학회 1997년도 춘계 학술발표회 논문집 Proceedings of EESK Conference-Fall 1997
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    • pp.77-87
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    • 1997
  • The earthquake data(M$\geq$4.0) for post-1900 in the Korean Peninsula show temporal variation with active and quiet periods. The pattern is quite similar to northeastern China and Inner Zone of Southwest Japan. Yeongweol earthquake occurred in the seismic gap region of the Korean Peninsula. This is the first medium-size earthquake in inland region of the southern peninsula since 1978. The intensity based on the felt area estimation of about 400 places shows MMI III-Ⅷ in inland region. IIon Cheju Island and Ion Ulreung Island. The isoseismal of MMI Ⅶ shows an elongated circle in the direction of NE-SW and covers some parts of Jungdong-myon, Yeongweol-kun, Sindong-eup and Nam-myun, Jeongseon-kun. There occurred quite strong shaking, numerous cracks on the walls of buildings, falling and movement of slate and tiles on the roofs, falling of tiles from the wall and falling of materials from desks, rook falling from mountain and collapse of gravel lauers on the river side. The least square fitting of the intensity data of the Yeongweol earthquake by a popular intensity attenuation relation yields the following : I=Io+1.82249 - 0.65295*InR - 0.00707*R

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어려운 고속도로 환경에서 Lidar를 이용한 안정적이고 정확한 다중 차선 인식 알고리즘 (Stable and Precise Multi-Lane Detection Algorithm Using Lidar in Challenging Highway Scenario)

  • 이한슬;서승우
    • 전자공학회논문지
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    • 제52권12호
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    • pp.158-164
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    • 2015
  • 차선인식은 차선 유지, 경로 계획 등을 가능하게 하는 기술로서 자율주행차를 구성하는 가장 중요한 요소 중 하나이다. 카메라 센서를 이용한 연구가 많이 진행되었으나 센서의 특성상 화각의 한계가 존재하며 조도 환경에 취약한 단점이 있다. 반면 Lidar 센서는 넓은 화각과 함께 표면의 반사율 정보를 이용하기에 조도의 영향을 받지 않는 장점이 있다. 기존 연구에선 Hough 변환, 히스토그램 등의 방법을 이용하였는데 도로 표시들이 혼재한 상황에서 올바른 차선 인식이 이루어지지 않거나 다수의 차선이 존재함에도 주행 차선만 인식 되는 문제점들이 존재한다. 본 논문에서는 RANSAC과 regularization을 적용해 도로 표시가 혼재된 고속도로 환경에서도 정확하고 안정적인 다중 차선 인식 알고리즘을 제안한다. 정확한 차선 후보군 추출을 위해 원 모델 RANSAC을 적용하였고 안정적인 다중 차선 검출을 위해 피팅에 regularization을 추가로 제안하였다. 직접 취득한 도로 주행 데이터에 적용하여 높은 정확도와 실시간성을 정량적으로 검증하였다.