Proceedings of the Korean Institute of Information and Commucation Sciences Conference (한국정보통신학회:학술대회논문집)

The Korea Institute of Information and Commucation Engineering (한국정보통신학회)
권호 표지

Pre-Alignment Using the Least Square Circle Fitting

Least Square Circle Fitting을 이용한 Pre-Alignment

  • Lee, Nam-Hee (Korea University of Technology and Education, Graduate School, Dept. of Electricity & Electronic Eng.) ;
  • Cho, Tai-Hoon (Korea University of Technology and Education, School of Information Technology Eng.)
  • 이남희 (한국기술교육대학교 전기전자공학과) ;
  • 조태훈 (한국기술교육대학교 정보기술공학부)
  • Published : 2009.10.29
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Abstract

Wafer pre-alignment is to find the center and the orientation of a wafer and to move the wafer to the desired position and orientation. In this paper, an area camera based pre-aligning method is presented that captures 8 wafer images regularly during 360 degrees rotation. From the images, wafer edge positions are extracted and used to estimate the wafer's center and orientation using least square circle fitting. These information are utilized for the proper alignment of the wafer.

웨이퍼 Pre-Alignment는 반도체 공정에서 장비에 웨이퍼를 놓기 전에 웨이퍼의 중심 및 방향을 정확하게 정렬할 필요가 있는데, 이를 위해서 일정한 수준 이하로 중심과 방향을 찾아 Alignment 하는 방법을 말한다. 본 논문에서는 웨이퍼를 Alignment 하기 위해 기존의 Mechanical한 방법이 아닌 Area 카메라를 통한 비접촉식 방법을 이용하였다. 이 방법은 웨이퍼를 45도씩 8번씩, 한 바퀴를 회전하여 이미지를 획득한 뒤, 이미지의 웨이퍼의 에지값 들을 이용하여 Least Square Circle Fitting을 이용하여 웨이퍼의 중심과 방향을 정확하게 측정하여 Alignment를 한다.

Keywords