• 대한전자공학회논문지SD
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• 제37권3호
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• pp.1-5
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• 2000

나선형태의 평면 안테나를 갖는 유도결합형 플라즈마를 이용하여 PZT용 Pt/RuO/sub 2/ 전극을 건식식각하였다. 누설전류 억제특성이 우수한 Pt와 건식식각이 용이한 RuO/sub 2/ 박막의 장점을 동시에 이용하기 위하여 PZT의 하부전극으로 Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 시도하였다. 우선 Pt와 RuO/sub 2/ 박막 각각에 대하여 플라즈마의 여러 조건에 따라 식각율과 선택비를 조사하였다. 조사된 공정기체는 O/sub 2/ 와 Cl/sub 2/ 의 혼합기체이며, 패터닝을 위해 사용한 마스크재료는 SiO/sub 2/ 산화막이었다. Cl/sub 2/ 의 함량이 증가함에 따라 Pt의 식각율은 점점 증가하지만, RuO/sub 2/의 경우에는 Cl/sub 2/의 함량이 처음 10% 정도가지 증가할 때에는 RuO/sub 2/의 식각율이 급격히 증가하지만 더 이상의 Cl/sub 2/ 함량에서는 식각율이 점차 감소하였다. Pt/RuO/sub 2/의 2중층을 동시에 식각하기 위한 최적의 기체혼합비를 구하였으며, 0.5 마이크론급의 미세패터닝을 시도하였다.

• 전자공학회논문지D
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• 제36D권11호
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• pp.12-17
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• 1999

본 논문에서는 밀리미터파 대역에서 PPL 모드에 의한 혼신 현상을 억제할 수 있는 새로운 구조의 CB-CPW 전송선로 구조를 제안하였다. 제안된 구조는 주기판으로 사용되어지는 GaAs 기판 밑면에 Si 손실층이 부착된 형태를 갖는다. PPL 모드는 진행하며 도전율 ${\sigma}$를 갖는 Si 손실층에 의해 감쇠되고, 결과적으로 혼신은 억제된다. 모의 실험 결과, 200 um의 두께와 도전율 ${\sigma}$ = 30S/m를 갖는 Si 기판을 손실층으로 사용하였을 때 60GHz에서 -40 dB이하고 혼신을 억제할 수 있음을 확인하였다. 제안된 방법은 가격이 저렴한 Si 기판을 손실층으로 사용하므로써 밀리미터와 대역에서 동작하는 여러 분야에 이용될 수 있으리라 기대된다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제6권3호
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• pp.146-153
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• 2006

We have been investigating InGaAs HEMTs as a future high-speed and low-power logic technology for beyond CMOS applications. In this work, we have experimentally studied the role of the side-recess spacing $(L_{side})$ on the logic performance of 50 nm $In_{0.7}Ga_{0.3}As$ As HEMTs. We have found that $L_{side}$ has a large influence on the electrostatic integrity (or short channel effects), gate leakage current, gate-drain capacitance, and source and drain resistance of the device. For our device design, an optimum value of $L_{side}$ of 150 nm is found. 50 nm $In_{0.7}Ga_{0.3}As$ HEMTs with this value of $L_{side}$ exhibit $I_{ON}/I_{OFF}$ ratios in excess of $10^4$, subthreshold slopes smaller than 90 mV/dec, and logic gate delays of about 1.3 ps at a $V_{CC}$ of 0.5 V. In spite of the fact that these devices are not optimized for logic, these values are comparable to state-of-the-art MOSFETs with similar gate lengths. Our work confirms that in the landscape of alternatives for beyond CMOS technologies, InAs-rich InGaAs FETs hold considerable promise.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제5권2호
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• pp.131-135
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• 2005

The effect of different surface passivation films on blue or green (465-505 nm) InGaN/GaN multi-quantum well light-emitting diodes (LEDs) die were examined. $SiO_2$ or $SiN_x$ deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition, or $Sc_2O_3$ or MgO deposited by rf plasma enhanced molecular beam epitaxy all show excellent passivation qualities. The forward current-voltage (I-V) characteristics were all independent of the passivation film used, even though the MBE-deposited films have lower interface state densities ($3-5{\times}10^{12}\;eV^{-1}\;cm^{-2}$) compared to the PECVD films (${\sim}10^{12}\;eV^{-1}\;cm^{-2}$), The reverse I-V characteristics showed more variation, hut there was no systematic difference for any of the passivation films, The results suggest that simple PECVD processes are effective for providing robust surface protection for InGaN/GaN LEDs.

• 한국전산유체공학회지
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• 제21권1호
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• pp.50-57
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• 2016

In various industries related with construction and military machinery, a large amount of power is normally required because such machinery operations, such as digging or breaking, take place under difficult working conditions in a rough environment. Thus, a hydraulic system needs to be applied as the major power transfer system. To produce and supply hydraulic power depending on the various load conditions, a hydraulic piston pump is utilized as a typical power source for a hydraulic system. In the present study, numerical simulations were conducted using the commercial program, Ansys CFX 14.5. To lubricate the moving parts as the pump starts to operate, a small amount of oil leaks out through the clearance between the orifice in the piston-shoe and the recess at the swash-plate. Taking this into consideration, a cylindrically shaped computational domain was modeled to maintain the same equivalent leakage area. To validate the numerical method applied herein, the numerical results of the flow rate at the discharge port were compared with the experimental data, and a good agreement between them was shown. Using the verified method, the effects of the discharge pressure and the angle of the swash-plate were also evaluated under several load conditions. The results of the present study can be useful information for a hydraulic piston pump used in many different manufacturing industries.

• 인터넷정보학회논문지
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• 제19권5호
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• pp.55-66
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• 2018

기존 서버기반 인증방식은 취약한 패스워드 기반 인증을 사용함으로 개인정보유출사고가 빈번했다. 이는 불법적 아이디 도용의 문제를 야기함으로 대체할 새로운 인증방안이 연구되었다. 최근 OAuth 2.0 및 JWT 토큰기반 인증을 웹사이트 인증에 사용하고 있지만 토큰 도청만으로 인증정보가 유출되는 취약점이 있어 보완책이 강구되고 있다. 이를 위해 본 논문은 유효시간이 포함된 암호화 인증코드를 담은 검증토큰을 사용한 인증방식을 제안한다. 이 방안의 검증은 검증토큰을 복호화 하여 나온 인증코드를 자신의 계산과 비교하면 된다. 본 토큰 암복호화 방식은 타원곡선 그룹연산 기반 DH(디피헬만)의 세션키 방식과 빠른 XOR 암호방식을 사용하므로 세션키 합의 오버헤드가 없고 암호화 계산이 빠르다. 본 논문의 인증은 기존 토큰인증의 장점, 빠른 XOR 암호화의 장점, 그리고 안전한 DH 세션키 방식을 사용하여 인증 취약점으로 인한 개인정보 유출위협에 대응하는 탁월한 인증방식이다.

• 한국화재소방학회논문지
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• 제30권6호
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• pp.23-30
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• 2016

본 연구는 화학물질 운송 화학사고를 대상으로 각 연도별 사고현황, 사고유형, 사고원인 등의 화학사고 특성을 분석하였다. 그 결과 77건의 운송 화학사고 중 74건이 유 누출 유형에 의한 사고였으며, 사고 원인으로는 41건이 교통사고에 의한 화학사고였다. 또한, 사고다발 화학물질 조사에서는 46건의 사고가 유해화학물질에 의한 사고인 것으로 조사되었다. 화학물질 운송 화학사고의 예방 및 대응을 위해서는 화학물질 유 누출과 화학물질의 운송 교통사고에 의한 화학사고에 대한 예방책의 보완이 필요하며, 운송 화학사고가 발생되었을 경우 방재가 시스템적으로 신속히 이루어질 수 있도록 범국가적이고 체계적인 화학물질 운송안전 시스템을 구축하여 화학물질 운송에 적용하는 것이 필요하다.

• JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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• 제7권2호
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• pp.67-75
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• 2007

To improve low sense margin at low voltage, we propose a negatively driven sensing (NDS) scheme and to solve the problem of WL-to-BL short leakage fail, a variable bitline reference scheme with free-level precharged bitline (FLPB) scheme is adopted. The influence of the threshold voltage offset of NMOS and PMOS transistors in a latch type sense amplifier is very important factor these days. From evaluating the sense amplifier offset voltage distribution of NMOS and PMOS, it is well known that PMOS has larger distribution in threshold voltage variation than that of NMOS. The negatively-driven sensing (NDS) scheme enhances the NMOS amplifying ability. The offset voltage distribution is overcome by NMOS activation with NDS scheme first and PMOS activation followed by time delay. The sense amplifier takes a negative voltage during the sensing and amplifying period. The negative voltage of NDS scheme is about -0.3V to -0.6V. The performance of the NDS scheme for DRAM at the gigabit level has been verified through its realization on 1-Gb DDR2 DRAM chip.

• 한국태양에너지학회 논문집
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• 제29권5호
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• pp.45-52
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• 2009

Fossil power plants firing lower grade coals or equipped with modified system for $NO_x$ controls are challenged with maintaining good combustion conditions while maximizing generation and minimizing emissions. In many cases significant derate, availability losses and increase in unburned carbon levels can be attributed to poor combustion conditions as a result of poorly controlled local fuel and air distribution within the boiler furnace. In order to develop a on-line combustion tuning system, field test was conducted at operating power boiler. During the field test the exhaust gases' $O_2,\;NO_x$ and CO was monitored by using a spatially distributed monitoring grid located in the boiler's high temperature vestibule and upper convective rear pass region. At these locations, the flue gas flow is still significantly stratified, and air in-leakage is minimal which enables tracing of poor combustion zones to specific burners and over-fire air ports. using these monitored information we can improving combustion at every point within the furnace, therefore the boiler can operate at reduced excess $O_2$ and gas temperature deviation, reduced furnace exit gas temperature levels while also reducing localized hot spots, corrosive gas conditions, slag or clinker formation and UBC. Benefits include improving efficiency, reducing $NO_x$ emissions, increasing output and maximizing availability. Discussion concerning the reduction of greenhouse gases is prevalent in the world. When taking a practical approach to addressing this problem, the best way and short-term solution to reduce greenhouse gases on coal-fired power plants is to improve efficiency. From this point of view the real time optimized combustion tuning approach is the most effective and implemented with minimal cost.

• 지구물리
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• 제5권2호
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• pp.75-86
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• 2002

평택 및 인천의 액화석유가스(LPG) 지하저장기지에 대해 VSP(Vertical Seismic Profiling)탐사를 터널에 응용한 TSP(Tunnel Seismic Prediction)탐사를 시공 중에 실시하였다. 평택 LPG 지하저장기지에서의 TSP탐사는 저장동굴이 위치한 남양호 하부에 존재하고 사전조사단계에서 파악된 단층의 방향과 규모를 확인하기 위하여 실시하였다. 단층의 위치 및 규모를 입체적으로 파악하기 위하여 진입터널, 수벽공터널 및 공사용터널에서 TSP탐사를 수행하였으며, 진입터널에서 천공된 4공의 조사 공과 비교되었다. TSP탐사 결과는 조사공 결과와 일치하였고, 파악된 단층대의 위치에 따라 기존에 설계된 저장동굴의 배치와 연장을 변경하였다. 해저에 건설된 인천 LPG 지하저장기지의 경우 시공 중에 많은 출수가 있어 효과적인 지수를 위해 지질구조에 대한 정확한 파악이 요구되었다. TSP탐사에 의한 파쇄대 분포의 파악으로 적절한 지보 및 그라우팅 대책이 이루어졌다.