고에너지 P 이온 주입한 실리콘에 형성된 격자 결함에 관한 고분해능 투과전자현미경 연구 (A high-resolution transmission electron microscopy study on the lattice defects formed in the high energy P ion implanted silicon)
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- 한국재료학회:학술대회논문집
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- 한국재료학회 1995년도 추계 학술발표 강연 및 논문개요집
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- pp.25-26
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- 1995