Construction of Laser Lithography System using Method of Monitoring the Focal Point (초점 모니터 방법을 이용한 레이져 Lithography 장치의 제작과 응용)
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- Proceedings of the Optical Society of Korea Conference
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- 한국광학회 1990년도 제5회 파동 및 레이저 학술발표회 5th Conference on Waves and lasers 논문집 - 한국광학회
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- pp.222-226
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- 1990