A robot hand is used to transport the glass substrate in TFT-LCD manufacturing process. Carbon/epoxy composite is one of the best materials for this kind of robot hand application, due to their lightweight, high stiffness, and good damping characteristics. Major requirement of the robot hand is given as allowable deflection under weight loading of glass substrate and robot hand itself. In this thesis, a carbon/epoxy robot hand was analyzed using finite element method and beam theory to determine the deflection of the hand under the loading that is equivalent to actual weight. Because natural frequency is one of the major interests in robot hand design for TFT-LCD manufacturing process, modal analysis is also conducted using finite element method and beam theory. A robot hand was manufactured, and actual deflection and natural frequency were measured to verify the analysis results and compliance to requirement. The test results showed good agreement with analysis results.
For last couple of decades, uses of TFI-LCDs have been expanded to many FPD(Flat Panel Display) applications including mobile displays, desktop monitors and TVs. Furthermore, there has been growing demand for increasingly larger LCD TVs. In order to meet this demand as well as to improve productivity, LCD manufactures have continued to install larger-generation display fabrication facilities which are capable of producing more panels and larger displays per mother glass(substrate). As the size of mother glass becomes larger, a robot required to handle the glass becomes bigger accordingly, and its end effectors(arms) are extended to match the glass size. With this configuration, a considerable static deflection occurs at the end of the robot arms. In order to stack maximum number of mother glasses on a given footprint, the static deflection should be compensated. This paper presents a novel static deflection compensation algorithm. This algorithm requires neither measurement instrument nor additional vertical axis on the robot. It is realized by robot controller software. The forward and inverse kinematics considering compensation always guarantees a unique solution, so the proposed algorithm can be applied to an arbitrary robot position. The algorithm reduced static deflection by 40% in stationary robot state experiment. It also improved vertical path accuracy up to 60% when the arm was running at its maximum speed. This algorithm has been commercialized and successfully applied to a seventh-generation LCD glass-handling robot.
Factros considered building the magnetron sputtering system for TFT LCD (thin film transistor liquid crystal display0 metallization were thin film thichnes uniformity, temperature uniformity and the pressure gradient of sputtering gas flow in vacuum chamber, base pressure, and the stability fo the carrier moving . The system was consisted of a deposition chamber, a pre-heating chamber, a RF-precleaning chamber and a load/unload lock chamber. The system was designed to handle a substrate with dimension of 400$\times$400mm. The temperautre uniformity of a heater table developed showed $250 ^{\circ}C\pm$5% accuracyon the substrate glass. A base pressure of 1.8 $\times$10-7 torr was obtained after 24 hours pumping with a cryo pump. After an aluminum target was installed in a sputtering source and the film wa sdeposited on the glass, the uniformity, reflectivity and sheet resistance of the deposited film were measured.
We have investigated the Electro-Optical Characteristics for a nematic liquid crystal (NLC) alignment with rubbing alignment method on polyimide surfaces using plastic substrates. It was found that monodomain alignment of NLC is obtained with rubbing alignment method on polyimide surfaces using thin plastic substrates. EO characteristics of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on polymer are almost the same as that of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on glass. However, the transmittances of the TN-LCD with a rubbed PI surface based on polymer is less than that with a rubbed PI surface based on glass.
The purpose of this study is to reprocess Waste-LCD(Liquid Crystal Display), to widely increase specific surface-area by foaming agent in the process of reprocessing and to use as a substrate of water treatment which is increased the ability of biological treatment, as well as to control non-point source pollutants produced by surface run off during rainfall with using this substrate, and to improve water quality of public watershed as developing substrate for water treatment to be able to purify second treated water which is exhausted at the wastewater treatment plant. The average removal efficiency of Waste-LCD that using the foaming technology was SS 71.2%, BOD 55.7%, COD 58.4%, T-N 29.5% and T-P was 50.3%. Almost Media, early stage showed low removal efficiency of SS and BOD. However, it became high when the microorganism adhered the Media. The variation of SS removal efficiency was high by inflow concentration of SS. The reason for the Media 4 showed high SS removal efficiency is that it has wide specific surface-area, and also it has a pore. All in all, it shows floating matter treatment ability not only inside but it also works outside of the substrate.
We investigated the electro-optical(EO) performances of the super twisted nematic liquid crystal display(STN-LCD) on the polyimide(PI) surface using polymer film. The NLC pretilt angles generated are about $18^{\circ}$ by the rubbing alignment method on thin plastic substrates. However, the pretilt angle are at about $13^{\circ}$ lower on the glass substrate than on thin plastic substrate. Monodomain alignment of the plastic STN-LCD can be observed. A stable voltage-transmittance(V-T) curve of the plastic STN-LCD was observed on the polyimide(PI) surfaces using polymer film. Also, a faster response time for the plastic STN-LCD on the polyimide(PI) surfaces using polymer film can be achieved.
We investigated the electro-optica](EO) performances of the super twisted nematic liquid crystal display(STN-LCD) on the polyimide(PI) surface using polymer film. The NLC(Nematic Liquid Crystal) pretilt angles generated are about 18$^{\circ}$by the rubbing alignment method on thin plastic substrates. However, the pretilt angle are at about 13$^{\circ}$ lower on the glass substrate than on thin plastic substrate. Monodomain alignment of the plastic STN-LCD can be observed. A stable voltage-transmittance(V-T) curve of the plastic STN-LCD was observed on the polyimide(PI) surfaces using polymer film. Also, a faster response time for the plastic STN-LCD on the polyimide(PI) surfaces using polymer film can be achieved.
We observed that static electricity has an influence on the etching unformity of dry etching process. When the static electricity was applied from-200[V]to-1000[V] on glass substrates, the etching rate uniformity was changed to 1.5%-15%. In this experiment, the soft X-ray to neutralize static electricity was adopted as ore of neutralization methods. As an experimental result, soft X-ray irradiation improved neutralization capability on the surface of LCD glass substrate within the short time, about 15-30sec. The difference of etching rate uniformity was below 0.5%.
편광법을 사용하여 패턴이 있는 LCD 유리기층위에 놓여 있는 러빙된 PI(polyimide)의 광학이방성을 분석하였다. 투과형 편광계를 사용하여 0.4 nm 이하의 극히 작은 위상지연의 크기와 광축의 방향을 정밀하게 측정하였다. 온도에 따르는 광학이방성의 미세변화를 위상지연의 크기 및 광축 방향의 변화곡선으로 나타내고 간단한 광학모델을 사용하여 설명하였다.
A new printing process for LCD color filter is proposed in this work by using the localized laser heating, which is called laser-induced spray printing (LISP) process. The LISP is a non-contact process, which injects the ink from the donor substrate to the glass substrate by the bubble pressure induced by laser heating. The temperature distribution of the donor substrate is calculated numerically to explain the ink ejection phenomena. The composition of the ink was includes the red pigment, n-butanol, xylene, BCA and epoxy. Experiments were conducted by using the fiber laser system, and the color filter patterns were deposited successfully under the proper laser heating conditions.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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