• Journal of the Korea Society for Simulation
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• v.25 no.1
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• pp.45-52
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• 2016

In this study, we consider a capacity planning problem of reentrant hybrid flowshops. High-tech electronic products such as semiconductor or TFT-LCD, are produced from manufacturing systems which can be considered as reentrant hybrid flowshops. In the considered capacity planning problem, we determine the number of machines at each stage in the manufacturing system. We introduce criteria indicating which stage needs additional machines or which stage needs reduction of machines considering the characteristics of the product types and the manufacturing system. The objective function of the problem is maximizing throughput rate of the system, of which values are obtained from the simulation model depicting the hybrid flowshops. The performance of the proposed methods were evaluated through a series of computational experiments. The simulation model was also used for conducting the comparison experiments among the proposed method and benchmarks.

• Fire Science and Engineering
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• v.26 no.5
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• pp.41-47
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• 2012

As a core process in the manufacture of state-of-the-art industrial technologies such as semiconductor and LCD, a clean room is the most important process which can affect the performance and quality of products drastically. Nevertheless, scientific research on comprehensive safety measures from a fire protection standpoint is not being carried out in Korea. This study aims to derive measures to improve smoke control systems by identifying performance and problems of smoke systems installed in clean rooms as an LCD manufacturing process and analyzing fire and evacuation simulations considering several scenarios. As a result of analysis of fires and smoke in a clean roomas an LCD manufacturing process, it is found to be necessary to stop air handling units through interlocking in case of a fire and exhaust smoke out of the room through the top of FAB in consideration of buoyancy of smoke. It is also found to be necessary to install quick response sprinkler heads and accessories to accelerate the response time, because the heat-accumulating performance of sprinkler heads decreases in this application. Despite its low density of dwelling due to the automation process, clean room is characterized by an array of complex production equipment and working environment requiring dustproof clothes, which makes it difficult to acquire evacuation safety performance. Thus, thorough control of danger factors in processes and periodic education and training are required. It is also necessary to establish a level of domestic technologies equivalent to the level of standards of advanced countries in fire protection.

• Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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• 2009.04a
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• pp.423-423
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• 2009

미진동 제어라는 분야에 대한 연구는 반도체 산업이 초고도화 및 초정밀화가 진전되고 있는 최근에 들어와 학계보다는 전문 반도체와 TFT-LCD의 미진동제어 관련 엔지니어 그룹과 정밀 장비 제작사를 중심으로 이루어져왔다. 고집적 생산 제품을 가공 및 검사하기 위해서는 가공 선폭 이상의 분해 성능을 가진 고정밀도의 생산 및 검사 장비가 필요하다. 이런 고정밀도 생산 및 검사장비는 내외부로부터 입력되는 진동에 민감한 영향을 받는다. 초기 반도체 산업을 주도한 미국을 중심으로 일부 학자와 반도체 진동 제어를 수행하는 전문연구소에서 작성한 BBN-Criteria는 정밀장비의 용도나 분해능 별로 정리된 진동허용규제치를 지침서로 사용하여 왔다. 그러나 장비의 엄밀한 주파수 특성 및 정밀도 측면에서 불확실한 영역부분을 가지고 있기 때문에 미소한 진동을 제어하는 구조 설계자 관점에서는 불충분한 자료이다. 그리고 주파수 분해능을 가진 진동허용규제치를 제시하는 것이 바람직하지만 대부분의 제작사에서는 그렇지 못하고 있다. 그런 이유에는 장비 개개의 진동허용규제치가 다른 고가의 장비 전량에 대하여 시험을 수행해야 하는 점, 가진(加振)특성, 중량, 크기 등의 진동실험 자체에 어려움 때문이다. 또한 진동실험시 가진주파수의 분해능의 결려에 따른 장비의 동적 특성이 고려되지 않은 불확실한 영역 부분을 포함한 진동허용규제치를 제시함으로서 불확실한 영역부분의 진동 하한치를 진동허용규제치의 상한치로 결정하는 문제로 인하여 진동허용규제치가 더욱 가혹하게 제시되어 건물 구조 설계와 방진의 어려움을 가중시킬 여지가 있다. 본 논문에서는 이런 어려움 등을 회피하는 방법으로 주파수응답함수(Frequency Response Function, FRF)를 이용하여 정밀장비의 진동허용규제치를 결정하는 간편하면서도 더욱 정밀한 새로운 방법을 모색하였다.

• The Transactions of the Korean Institute of Power Electronics
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• v.11 no.5
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• pp.471-479
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• 2006

Automatic transfer equipments of manufacturing and process line trend toward big size as LCD glass is big size, heavy weight. The conventional stocker uses rotational motor and mechanical power converter device as travel axis of stocker crane and then frequent maintenances by complex structure and mechanical friction are required. Also it has problem to minimize the particle generation. To solve these problems, this paper verified the performance of permanent magnet(PM) excited transverse flux linear motor(TFLM) that is big power density per unit volume applied for travel axis of 7 generation stocker that is being big size, high power, long distance by the experiment based on proposed control algorithm, controller and power converter device.

• Proceedings of the Korean Institute of Surface Engineering Conference
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• 2018.06a
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• pp.76-76
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• 2018

LCD 디스플레이 크기는 점차 대형화를 이루면서, 현재 LCD 디스플레이 크기는 3,000*3,320mm 크기까지 증가하여 개발이 활발이 이루어지고 있다. 디스플레이의 크기가 증가함에 따라 제조 장비의 크기도 증가되어야 하므로, LCD 디스플레이 CVD 공정에 사용되는 4,200*3,300mm 크기의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 에 피막두께 $15{\mu}m$ 이상을 구현함과 동시에 두께 균일도가 우수하며 염수분무시험으로 168시간 이상의 내식성 확보가 가능한 양극산화조건 개발을 위하여 양극산화 피막의 각종 특성 평가를 실시하였다. 양극산화 피막 두께 측정은 와전류(Eddy Current)의 원리를 이용한 비파괴식 두께 측정법(ISO 2360, ASTM D 7091)을 적용하였으며, 염수분무시험 방법은 (KS D 9502)을 적용하였으며, HCl bubble stream 시험 방법은 HCl 5% 농도를 투명 아크릴 튜브에 채운후 bubble stream 을 종점으로 하여 평가를 실시하였으며, 열충격을 이용한 도금밀착성(KS D 0254), 도장접착력(ASTM D 3359) 등을 이용하여 전해조건 및 전해액 농도에 따른 피막 특성 비교평가를 실시하여 최적의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 양극산화 전해 조건을 개발하여 4,200*3,300mm 크기의 대형 Aluminium Vacuum Chamber 제조를 목적으로 하였다.

• 전자공학회논문지 IE
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• v.43 no.4
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• pp.76-82
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• 2006

Wheels' Direction Indicator, an electronic direction displaying system, provides a driver with information of wheels' direction in real time. The purpose of this study is to develop the system showing on LCD and LED with measuring steering wheel's movement. This system that applies a steering wheel's movement to the data process part will reduce inconvenience that confirms wheels' direction before throughout the open window before driving a car in parking lot.

• Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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• 2009.11a
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• pp.68-68
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• 2009

최근 디스플레이 산업의 발달로 LCD 판넬의 수요가 급증함에 따라 검사장치 분야도 동반 성장하고 있다. LCD 검사를 위한 probe unit은 미세전기기계시스템 (MEMS) 공정을 이용하여 제작된다. 본 연구에서는 probe card의 미세 슬릿을 제작하기 위한 Si 깊은 식각 공정을 수행하였다. 공정에 사용된 장비는 STS 사의 D-RIE 시스템으로 식각가스로 $SF_6$, passivation용으로 $C_4F_8$ 가스를 각각 사용하였다. 식각용 마스크는 $30{\sim}50{\mu}m$의 선폭을 probe card의 패턴에 따라 제작되었으며, 분석은 SEM 측정을 이용하였다. 식각 공정 중 발생하는 scallop은 시료를 oxidation 시켜 $SiO_2$ 층을 형성한 후에 식각용액에 에칭하여 제거하였다. 제거전 scallop의 크기는 약 120 nm에서 제거후 약 $50{\mu}m$로 크게 개선됨을 SEM 사진으로 확인하였다.

• Proceedings of the Korean Society for Emotion and Sensibility Conference
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• 2003.11a
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• pp.11-17
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• 2003

본 논문은 세계적인 범용성을 갖고 널리 활용되고 있는 바코드의 유용성 및 편리함을 가장 개인적인 휴대 장비인 휴대폰에 결합하기 위한 매체로의 구현에 관한 내용이다. 바코드 스캐너의 구성에서부터 스캐너 설계 그리고 휴대폰을 이용한 Lock 시스템 설계와 시제품 소개로 구성되어 있다. 본 연구를 보안 시스템에 적용 시 물리적 key 개념이 없어지고 휴대폰이 보안의 중심이 될 수 있을 것으로 기대되며 양방향 서비스가 가능해짐으로써 결제 시장에서 활용이 확대될 것으로 예상된다. 향후 연구과제로는 다양한 응용분야에서의 적용 및 고감도 장치 개발을 들 수 있다.

• Journal of Applied Reliability
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• v.11 no.4
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• pp.419-432
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• 2011

In order to distribute machinery to European Union, it is mandatory to get CE marking to ensure the machinery is safe and reliable. The EHSR(Essential Health and Safety Requirements) of the EC Machinery Directive requires the machinery to be designed and manufactured to prevent from any dangerous situation. This study presents a case of CE Certification in Back Cover Nut Insert Machine and introduces an improvement method of product safety and reliability. This study also presents how to eliminate the deficiencies in design and manufacturing, and the process of applying EHSR for CE Marking.

• Proceedings of the Korean Society Of Semiconductor Equipment Technology
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• 2006.10a
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• pp.145-149
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• 2006

반도체의 고집적화와 LCD의 대형화로 인해 웨이퍼 및 LCD 검사용 스테이지의 성능 향상이 요구된다. 본 논문에서는 고속의 검사속도, 서브마이크론의 검사 정밀도, 그리고 대행정 구동을 위한 이중 서보 시스템을 제안하였다. 이중 서보 시스템은 선형모터로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 조동 구동부와 보이스 코일 모터(VCM)로 구동되고 공기베어링으로 가이드 되는 미세 구동부로 구성된다. 검사 효율을 향상시키기 위한 고속 세틀링을 위한 제어기로서 시간 최적 제어 기법과 시간 지연 제어기를 결합한 모드 변경 제어기를 제안하고 이중 서보 시스템에 구현하여 성능을 평가하였다.