• Title/Summary/Keyword: Kim Seong Joon

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푸리에 변환 적외선 분광분석에 의한 에피층의 두께 측정 기술

  • Jeong, Seong-Hwa;Kim, Sang-Gi;Kwon, Oh-Joon
    • ETRI Journal
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    • v.13 no.2
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    • pp.54-61
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    • 1991
  • 에피택시층의 두께는 푸리에변환적외선분광분석(FTIR)을 이용하여 간단하고 비파괴적으로 측정할 수 있음이 알려져 있다. 본고에서는 측정법의 기본적인 배경을 살펴보고 실제 시편의 측정결과를 제시하며 본 두께 측정법의 적용 가능성 및 문제점에 대해 논의한다.

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