가습된 $N_2$ /H$_2$ 혼합가스 분위기에서의 Kovar 산화 거동
(The Oxidation of Kovar in Humidified $N_2$ /H$_2$ Atmosphere)
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- 마이크로전자및패키징학회지
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- 제8권2호
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- pp.1-7
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- 2001