The Mass Flow Controller(MFC) has become crucial in semiconductor manufacturing equipments. It is an important element because the quality and the yield of a semiconductor process are decided by the accurate flow control of gas. Therefore, the demand for the high speed and the highly accurate control of MFCs has been requested. It is hard to find an article of the control algorithm applied to MFCs. But, it is known that commercially available MFCs have PID control algorithms. Particularly, when the system detects the flow by way of heat transfer, MFC control problem contains the time delay and the nonlinearity. In this presentation, MFC control algorithm with the superior performance to the conventional PID algorithm is discussed and the superiority is demonstrated through the experiment. Fuzzy controller was utilized in order to compensate the nonlinearity and the time delay, and the performance is compared with that of a product currently available in the market. The control system, in this presentation, consists of a personal computer, the data acquisition board and the control algorithm carried out by LabWindows/CVI program on the PC. In addition, the method of estimating an actual flow from sensor output containing the time delay and the nonlinearity is presented. In conclusion, according to the result of the experiment, the proposed algorithm shows better accuracy and is faster than the conventional controller.
This paper suggests that the immune network algorithm based on fuzzy set can effectively be used in tuning of a PID controller for multivariable process or nonlinear process. The artificial immune network always has a new parallel decentralized processing mechanism for various situations, since antibodies communicate to each other among different species of antibodies/B-cells through the stimulation and suppression chains among antibodies that from a large-scaled network. In addition to that, the structure of the network is not fixed, but varies continuously. On the other hand, a number of tuning technologies have been considered for the tuning of a PID controller. As a less common method, the fuzzy and neural network or its combined techniques are applied. However, in the case of the latter, yet, it is not applied in the practical field, in the former, a higher experience and technology is required during tuning procedure. Along with these, this paper used the fuzzy set in order that the stimulation and suppression relationship between antibody and antigen can be more adaptable controlled against the external condition, including noise or disturbance of plant. The immune network based on fuzzy set suggested here is applied for the PID controller tuning of multivariable process with two inputs and one output and is simulated.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.10
no.10
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pp.922-929
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2004
In this paper, we develop control hardware such as an FPGA based general purposed intelligent controller with a DSP board to solve nonlinear system control problems. PID control algorithms are implemented in an FPGA and neural network control algorithms are implemented in a BSP board. An FPGA was programmed with VHDL to achieve high performance and flexibility. The additional hardware such as an encoder counter and a PWM generator can be implemented in a single FPGA device. As a result, the noise and power dissipation problems can be minimized and the cost effectiveness can be achieved. To show the performance of the developed controller, it was tested fur nonlinear systems such as a robot hand and an inverted pendulum.
International Journal of Fuzzy Logic and Intelligent Systems
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v.4
no.2
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pp.161-164
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2004
The yo-yo system has been introduced as an interesting plant to demonstrate the effectiveness of intelligent controllers. Having nonlinear and asymmetric characteristics, the yo-yo plant requires a controller quite different from conventional controllers such as PID. In this paper is presented an adaptive method of controlling the yo-yo system. Fuzzy logic controller based on human expertise is referred at first. Then, an adaptive fuzzy controller which has adaptation features against the variation of plant parameters is proposed. Finally, experimental results are presented.
Transactions of the Korean Society of Automotive Engineers
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v.3
no.6
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pp.176-187
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1995
The problem of designing intelligent cruise control system for a longitudinal motion of an automobile, which is powered by internal combustion engines coupled to an automatic multispeed transmission, is considered. The basic concept is a vehicle-following system which maintains desired spacing between vehicles. This system actuates throttle with the information of the spacing error so as to maintain proper spacing and improve passenger ride comfort. In designing the controller, a modified controller, i.e, PID gain scheduling and fuzzy controller with fuzzy compensator was developed in order to overcome the nonlinearities of the automobile and obtain better performance. The computer simulation results illustrate that the better vehicle responses were obtained with the modified fuzzy controller and, under this controller, the vehicle responses were found to be relatively insensitive to parameter variations.
International Journal of Control, Automation, and Systems
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v.4
no.6
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pp.775-781
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2006
An intelligent optimization method for designing Fractional Order PID(FOPID) controllers based on Particle Swarm Optimization(PSO) is presented in this paper. Fractional calculus can provide novel and higher performance extension for FOPID controllers. However, the difficulties of designing FOPID controllers increase, because FOPID controllers append derivative order and integral order in comparison with traditional PID controllers. To design the parameters of FOPID controllers, the enhanced PSO algorithms is adopted, which guarantee the particle position inside the defined search spaces with momentum factor. The optimization performance target is the weighted combination of ITAE and control input. The numerical realization of FOPID controllers uses the methods of Tustin operator and continued fraction expansion. Experimental results show the proposed design method can design effectively the parameters of FOPID controllers.
This paper suggests that the immune algorithm can effectively be used in tuning of a PID controller. The artificial immune network always has a new parallel decentralized processing mechanism for various situations, since antibodies communicate to each other among different species of antibodies/B-cells through the stimulation and suppression chains among antibodies that form a large-scaled network. In addition to that, the structure of the network is not fixed, but varies continuously. That is, the artificial immune network flexibly self-organizes accord Eng to dynamic changes of external environment (meta-dynamics function). However, up to the present time, models based on the conventional crisp approach have been used to describe dynamic model relationship between antibody and antigen. Therefore, there are some problems ...
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.6
no.3
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pp.248-255
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2000
Whereas the linear PID controller is widely used for control of industrial servo systems a high precision positioning system is not easy to control only with the PID controller due to uncertain nonlinear dynamics such as friction backlash etc. As a viable means to overcome the difficulty a learning control scheme is proposed in this paper that is simple and straightforward to implement. The proposed learning controller takes full advantage of current feedback capability of the inner-loop of the control system in that electrical motor dynamics as the well as mechanical part of X-Y positioning system is included in the learning control scheme, The experimental results are given to demonstrate its feasibility and effectiveness in terms of convergence precision of tracking and robustness in comparison with the conventional control method.
Journal of Institute of Control, Robotics and Systems
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v.9
no.12
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pp.969-976
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2003
A remote control strategy for vehicles in Intelligent Vehicle Highway System (IVHS) is considered. An optimal scheduling of a limited communication channel is proposed for lead vehicle control in a platoon. The optimal scheduling problem is to find the optimal communication sequence that minimizes the cost obtained inherently by an optimal control without the communication constraint. In this paper, the PID control law which guarantees the string stability is used for the lead vehicle control. The fact that the PID control law is equivalent to the approximately linear quadratic tracker allows to obtain the performance measure to find an optimal sequence. Simulations are conducted with five maneuvering platoons to evaluate the optimality of the obtained sequence.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.15
no.6
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pp.297-304
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2014
Due to the nonlinearity and complexity of the three-phase photovoltaic inverter, we propose an intelligent control based on fuzzy logic and the classical proportional-integral-derivative. The feedback linearization method is applied to cancel the nonlinearities, and transform the dynamic system into a simple and linear subsystem. The system is transformed from abc frame to dq0 synchronous frame, to simplify the state feedback linearization law, and make the close-loop dynamics in the equivalent linear model. The controls improve the dynamic response, efficiency and stability of the three-phase photovoltaic grid system, under variable temperature, solar intensity, and load. The intelligent control of the nonlinear characteristic of the photovoltaic automatically varies the coefficients $K_p$, $K_i$, and $K_d$ under variable temperature and irradiation, and eliminates the oscillation. The simulation results show the advantages of the proposed intelligent control in terms of the correctness, stability, and maintenance of its response, which from many aspects is better than that of the PID controller.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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