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무용학의 융복합적 접근 (Convergent Approaches to Dance as a Discipline)

  • 태혜신;박명숙
    • 한국콘텐츠학회논문지
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    • 제12권12호
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    • pp.605-615
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    • 2012
  • 무용학은 태생적으로 융복합의 성격을 띄고 있다. 그동안의 무용학은 타학문 영역의 이론을 수용하여 예술이론으로만은 설명할 수 없는 무용현상을 다각도에서 이론적으로 규명해나가면서 무용학 영역을 확장해왔다. 그러나 디지털 혁명에 따른 테크늄과 인터렉션 그리고 자유와 개방이라는 융합사회의 특성을 종전의 무용학만으로 설명하기에는 역부족이다. 이에 국내 무용학의 융복합 연구동향을 고찰한 결과, 2000년대에 들어서면서 무용학은 1.다양한 영역의 융복합 무용학 연구 촉발, 2.융복합 프로그램 개발 연구 시도, 3.무용디지털콘텐츠 융복합 연구 활성화, 4.융복합 무용공연예술현상 연구 이상, 네 측면에서 각 영역이 개별적이긴 하지만 지속적으로 연구가 진행되어 왔음을 알 수 있었다. 이는 무용예술의 기술융합 및 과학분야와 학제간 융복합 연구 그리고 타 학문영역과 통섭연구라는 측면에서 무용학의 영역확장 및 구조변화를 일으킬 수 있는 촉진제 역할을 하고 있었다. 그러나 문제점은 현재 연구개발안이나 연구프로그램은 무용디지털콘텐츠 융합 연구이외에는, 거의 대부분 현실화되거나 실용화되는 경우가 없었다. 이에 융합시대에 따른 무용학 발전을 위하여 다음 세 가지 결론을 도출했다. 첫째, 과학과 무용과 기술 이론이 집약된 무용융합학을 제안한다. 이는 융합사회에 따른 새로운 인문학적 모델을 제시할 수 있는 학문적 토대를 마련해 줄 수 있다. 둘째, 무용학의 학제적 융합연구가 현실에서 실효성을 거둘 수 있도록 이론을 현장에 상용화하는 행동주의적 단계로 이행해야 한다. 섯째, 무용융합공연의 연구기술 축적 및 활성화를 위해 대규모 위주의 융합공연 형태에서 아이디어가 참신한 소규모 융합공연 형태로 전환이 필요하다.

해상 어류가두리양식장의 환경영향 평가: II. 가두리 양식장 퇴적물의 산소-황화수소 경계면에서 황화수소의 산화율 및 무산소 퇴적층에서 황산염 환원율 추정 (Environmental Impact Assessment by Marine Cage Fish Farms: II. Estimation of Hydrogen Sulfide Oxidation Rate at $O_2$-H$_2$S Interface and Sulfate Reduction Rate in Anoxic Sediment Layer)

  • 이재성;김기현;유준;이필용;정래홍;이원찬;한정희;이용화
    • 한국해양학회지:바다
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    • 제9권2호
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    • pp.64-72
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    • 2004
  • 유기물이 많이 유입되는 해상어류가두리 양식장 퇴적물에서 전극 크기가 25$mu extrm{m}$인 미세전극을 이용하여 공극수의 산소, 황화수소, pH의 미세연직 농도를 측정하였다. 산소와 황화수소의 연직분포에서 얻어진 미세구간에 1차 확산ㆍ반응모델을 적용하여 각 구간에서의 산소 소모율, 황화수소 산화율, 황산염의 환원율을 추정하였다. 산소투과깊이는 0.75 mm였으며, 미세구간은 상부와 하부층 2개로 나누어졌다. 산소소모는 황화수소의 산화 영향으로 상부층에 비해 하부층에서 높았고 총산소소모플럭스는 0.092 $\mu$mol $O_2$$cm^{-2}$ $hr^{-1}$였다. 산화층에서 황화수소 산화는 0.7 mm 두께에서 0.030$\mu$mo1 H$_2$S $cm^{-2}$ $hr^{-1}$의 결과를 나타냈으며, 이 곳에서 황화수소의 turnover time은 약 2분으로 화학적 산화와 생물학적 산화가 동시에 일어나고 있었다. 황화수소와 산소의 소모율 비는 0.84로 황화수소 산화에 산소 이외의 다른 전자수용체가 사용되거나 산소-황화수소 경계면 주변에서 황 침전의 가능성을 시사하고 있었다. 추정된 총 황산염 환원 플럭스는 0.029$\mu$mol $cm^{-2}$ $hr^{-1}$로서 총산소소모플럭스의 60% 이상을 차지하고 있어 무산소 환경에서 유기물 분해가 산화환경에서보다 큰 역할을 하는 것으로 나타났다.

평형해빈단면이론을 이용한 해수면 상승에 따른 해안후퇴율 산정 (Evaluation of Shoreline Retreat Rate due to a Sea Level Rise using Theory of Equilibrium Beach Profile)

  • 강태순;조광우;이종섭;박원경
    • 한국해안·해양공학회논문집
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    • 제26권4호
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    • pp.197-206
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    • 2014
  • 본 연구의 목적은 해수면상승에 따른 연안침식을 평가하는 데 있으며, 미래 해수면상승에 따른 해안후퇴율을 산정하였다. 해안후퇴율은 23개 사빈해안(동해안 12개소, 남해안 5개소, 서해안 6개소)에 대하여 각 해안별 3개의 단면자료를 이용하여 평가하였다. 본 연구에 적용한 방법은 평형해빈단면이론이며, 우리나라 해안에서의 적용성을 파악하기 위하여 15개 해빈단면에서 검토하였다. 미래 해수면상승의 4가지 시나리오는 38 cm, 59 cm, 75 cm 그리고 100 cm가 적용되었다. 결과적으로 우리나라 해안에 대한 해안후퇴율은 38 cm 해수면상승시 43.7%, 59 cm일 경우 60.3%, 75 cm일 경우 69.2%, 그리고 100 cm일 경우에는 80.1%로 나타났다. 동해안의 해안후퇴율은 38 cm 해수면상승시 29.6%, 59 cm 상승시 45.1%, 75 cm 상승시 56.0%, 그리고 100 cm 상승시 69.9%로 나타나 남해안(51.9%, 67.6%, 77.2%, 87.3%)과 서해안(53.8%, 71.0%, 78.5%, 86.4%)의 해안후퇴율 보다 상대적으로 낮게 나타났다. 우리나라의 모든 사빈해안은 해수면상승이 증가함에 따라 취약해지는 것으로 평가된다. 본 연구의 평가결과는 미래 기후 시나리오와 마찬가지로 평가모델의 한계, 해빈단면의 시공간적 자료부족 등의 불확실성을 내포하고 있다. 따라서, 우리나라 사빈해안의 특성을 파악하기 위한 지속적이고 통합적인 모니터링과 더불어 해안침식에 대한 과학적 불확실성을 줄이는 연구들이 지속적으로 이루어져야 할 것으로 사료된다.

행사장경호 운용시스템 개선방안에 관한 연구 (The Study on the Measure to Improve the Event Place Guarding Operation System)

  • 이상철;김태민
    • 시큐리티연구
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    • 제11호
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    • pp.203-226
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    • 2006
  • 행사장은 다중이 운집되어 있는 특수한 경호대상지역으로서 특성상 고도의 전문성과 총체적이고 통합적 경호 운용시스템이 요구된다. 그럼에도 불구하고 최근에 발생한 상주 ‘가요콘서트’ 행사장사고는 민간경호업체의 전문성은 물론 종합적 안전관리체제의 미비, 전문 안전요원 배치기준 미비, 안전관리를 위한 매뉴얼 부재, 안전조치 부재 등 총체적인 문제점들을 내포하고 있었다. 그러므로 산재되어있는 국내 행사장경호에 관한 법적${\cdot}$제도적, 정책적, 운용적인 부문별 문제점과 그에 대한 개선방안을 모색하는데 본 연구의 목적이 있었으며, 본 연구를 수행하기위해 질적 연구방법을 택하여 연구를 수행하였다. 본 연구에서는 최적의 행사장경호 운용시스템을 구축하기 위한 개선방안으로 법적${\cdot}$제도적 개산방안, 정책적 개선방안, 운용적 개선방안이라는 세 가지 범주의 개선방안을 제시하였다. 법적${\cdot}$제도적 개선방안으로는 경비업법의 개정 사안, 공연법 등 행사장 경호와 관련된 관련법령의 개정 사안에 대해 논의하였다. 정책적 개선방안으로는 ‘시큐리티기획사’제도의 도입과 ‘경비지도사’제도의 강화, 관계기관의 기능 확대와 상호협력체제 구축, 수익성행사의 민영화, 민간경호에 대한 의식의 제고, 시큐리티 박람회 및 세미나의 확대에 대해 논의하였다. 운용적 개선방안으로는 시큐리티컨설팅 기법, CPTED 기법의 적용, 시스템 통합 기법, 경호운용 기법 등의 전문 시큐리티 기법의 적용, 공경호와 자원봉사자의 지원시스템 마련, 표준 ‘경호업무매뉴얼’마련, 장비의 현대화${\cdot}$첨단화, 산${\cdot}$${\cdot}$관이 참여하는 경호협의체의 구성을 제안하였다.목, 검정방법 등을 결정하도록 한다. 그리고 직업교육훈련기관의 설치 또는 연계가 필요하다.가 여자보다 더 높게 나타났다. 취업 준비를 위해 중점적으로 준비하는 것으로는 어학 공부가 40.4%로, 취업에 대한 자신감에서는 긍정적인 응답이 39.6%로 나타나 14.0%로 나타난 부정적인 응답보다 월등히 높게 나타났다. 다섯째, 경호관련 대학생들의 직업 선호도에 대해 49.2%가 공경호 분야를 선택해서 안정적인 직종을 원했고, 34.0%가 민간경호, 사설 경비업체를 선택하였다. 또한 공경호쪽에서의 희망 직종으로는 대통령 경호가 28.6%로 가장 높게 나타났다. 민간경호 부분에 있어서는 21.2%가 민간 경호, 경비업체를 선호하는 것으로 나타났다.로 분석하여 특정시기(월)에 국한되어 폐각근과 내장낭의 생화학적 함량변화가 역상관관계를 나타내는 현상을 보였다. 특히, 폐각근과 내장낭내 총 RNA 함량 변화 양상은 총단백질 함량 변화 양상과 유사한 경향을 보여 RNA 함량 증가시 단백질 함량의 증가가 일어나고 있음을 알 수 있었다.순응이 초기에 높을 때 약물 순응률이 보다 높았다. 결국 약물치료 효과에 대한 만족도가 순응률 결정에 가장 중요한 요인이라고 생각되며, 약물치료효과를 높이기 위한 다양한 전략을 사용하여, 약물 순응도를 향상 시킬 필요가 있다고 생각된다.으나, 주의력에서는 전두엽의 실행능력(executive function)과 관련되는 검사들에서 산소흡입이 특이한 효과를 보여준다는 것이 확인되었고, 기억능력에서는 단기기억능력 평가에서 산소흡입군이 대조군보다 유의한 효과를 보여주는 것으로 평가되었다. 이러한 연구결과는 산소흡입이 전두엽과 관련된 수행능력, 작동기억능력 향상에 도움이 될 가능성이 있음을 시사하는 결과라고 생각된다.증 1명(5%)이었다. 모든 대상 아동이 주 진단 이외의

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Schizosaccharomyces bombe 포자형성 유전자(spo5)의 Cloning 및 전사조절 (Cloning and Transcription Analysis of Sporulation Gene (spo5) in Schizosaccharomyces pombe)

  • 김동주
    • 한국식품영양학회지
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    • 제15권2호
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    • pp.112-118
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    • 2002
  • 분열효모 S. pombe의 포자형성은 배지상의 질소원 고갈에 의해 유도되어지며 감수분열로부터 포자형성에 도달하는 과정에는 다수의 특이적인 유전자들이 관여하고 있다. 본 실험에서는 S. pombe genomic library 형질 전환법으로 spo5 유전자를 상보하는 clone을 screening한 후, sport 유전자를 단리하였다$^{8)}$ . 전포자막 구축에 필수적인 sport 유전자를 보유하는 약 5kb의 DNA 단편을 대장균, 효모 shuttle vector pTB248'의 Hind III 부위에 subclonning하였다. 그리고 이 DNA단편으로부터 제한 효소 지도를 작성하여(Fig. 2), spo5 변이체의 상보 능력을 조사하였다 (Fig. 3). 결과에서 서술한 바와 같이 상보능력은 동일하였으며, 이러한 상보성 실험 결과로부터 삽입된 단편상의 유전자 발현은 벡터의 promoter로부터 전사가 일어나는 것이 아니라, 삽입 단편상의 효모 고유의 promoter 에 의해서 전사가 일어나는 것으로 확인되었다. 따라서 clone화 한 DNA 단편 배열상에는 변역영역뿐만 아니라 promoter 영역이 포함된 것으로 판단되었다. 결실변이 도입 해석으로부터, spo5 유전자는 Sma I 부터 Hind m의 3kb 영역에 존재하였고 (Fig. 3), Nor-thern분석에 의해서 spo5 유전자의 전사를 조사한 결과, spo5 -mRNA는 Sma I 부터 Hind III 의 3kb 영 역에서 약2.5kb 크기로 검출되었다. 이 단편의 유전해석으로 부터 약 2.5kb의 전사산물은 최대 800개의 아미노산 잔기를 code하는 단백질로 판단되었다(Fig. 4). 그리고, Northern 분석법에 의해서 spo5 유전자의 전사를 조사한 결과, 서술한 바와 같이, 이 유전자는 질소기아 조건하에서만 유전자가 발현되는 것을 확인하였다(Fig. 4-2.5kb 단편).었다. 그리고 Edman법으로 결정한 PPIase의 39아미노산 잔기가 이 배열내에 완전히 보존되어 있었다. 이 결과로부터 이 ORF는PPIase구조 유전자의 1/3에 해당하는 단편임을 확인하였다. training system to a dangerous work like as "Interruption-free live-line work exchanging COS(Cut-Out-Switch)". In this program, the user works with a instruction on the window and speaker and can't work other tasks until each part of the task completed. The workers using this system can use their hands and viewpoint movement as he is in a real environment but the trainee can't use all parts and senses of a real body with the current VR technology. Despite of this weak point, when we consider the trends of improvement in electrical devices and communication technology, we can say that 3D graphic VR application has a high potentiality.) 야생화 초지(NWP, IWP)는 관행 혼파초지나 하번초 혼파초지에 비하여 동물상이 다양하고 많게 분포되었으며 그중 외국산 야생화초지의 동물 개체수가 가장 많게 나타났다. 이상의 결과를 종합할 때, 야생화 초지는 봄부터 가을까지 야생화가 지속되었고, 양서류 및 곤충의 개체 수가 증가되었던 것으로 보아 야생화 초지의 공익적인 측면에서의 활용 가능성도 클 것으로 기대된다

병원종사자의 직업성 스트레스에 관한 연구 - 서울시내 500병상 이상 병원종사자를 중심으로 - (Occupational Stress of Hospital Workers)

  • 이우천
    • 한국병원경영학회지
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    • 제3권1호
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    • pp.1-33
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    • 1998
  • The purpose of this thesis is to study theoretical access to the methods that have been used for the research of occupational stress, thereby providing management methods of occupational stress of hospital workers. With a stress model of hospital workers set up from the viewpoint of organization management, 929 sets of questionnaires were collected from intern doctors, resident doctors, nurses, nursing aides, pharmacists, medical technicians, workers in patient affairs(reception and medical insurance workers), administrators and clerks from the 8 hospitals in Seoul with more than 500 beds. Upon variance analysis, correlation analysis and regression analysis of the collected questionnaires, this work examined how differences in stress caused by specific occupations and formulated a method of stress management for the hospital workers. The results are as follows. 1) If some duties of the nurses suffering from role-overloaded stress are transferred to the nursing aides dissatisfied with insufficient role, the two grunting groups can be satisfied at the same time. It is also necessary to transfer some jobs of the overloaded workers in patient affairs to the administrators, or the other way around. To reduce stress of conflict and ambiguity of role caused by the obscure division of roles between the workers, the role of each occupation should be delineated and the clear division of roles should be translated into action strictly according to that delineated. 2) Stress of inefficiency of organization from which the student doctors suffer can be relieved by management of participation. If they have access to the process of decision-making in general hospital affairs and consequently their understanding and the autonomy of job performance are promoted, such stress will be reduced. 3) To cope with stress of career development from which nurses, medical technicians, administrators, workers in patient affairs suffer, it is necessary to establish whether they have a chance to revive their careers, whether there are any ways of remotivation for less contributive workers, and whether they encourage each other to develope their careers. If they are given a chance to develope their careers, such stress will be relieved. 4) Pharmacists, suffering from stresses of living and personal relations, have strong cohesive power among themselves and organize a well-integrated team; thereby reducing the stress of personal relations and increasing productivity. 5) For administrators and student doctors confined to lesser social supports and for nurses and workers in patient affairs whose recognition of stress and job satisfaction are affected by social supports, emotional and informational supports for job performance help alleviate an individual's mental, and physical stress. 6) In addition to the above-mentioned stress-management methods, if an organizational coping strategy is provided according to the types of stress from the general viewpoint of the whole group of hospital workers, it would be of great help to managing stress. For example, the redesign of jobs, the management of objective, the improvement of working environment, the formation of an autonomous working group and various working plans can be set up for those who suffer from stress related to inappropriate role, while career counseling and development of career process can be provided for those dissatisfied with career development. Participation in the process of decision-making and the restructuring of the organization are needed for those who suffer from stress of malfunctioning organization, whereas creation of a supportive organizational atmosphere is desired for those who feel stressed due to personal relations. As well, such organizational coping strategies. as the increase of welfare facilities, seminars and educational programs and provision of health-promotion facilities can be provided.

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시스템의 도입과 전유 과정에 영향을 미치는 제도적 압력에 관한 연구: 병원조직의 모바일 전자의무기록 시스템을 대상으로 (A Study on the Effects of the Institutional Pressure on the Process of Implementation and Appropriation of System: M-EMRS in Hospital Organization)

  • 이준기;신호경;최희재
    • Asia pacific journal of information systems
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    • 제19권2호
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    • pp.95-116
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    • 2009
  • Increasingly the institutional theory has been an important theoretical view of decision making process and IT adoption in many academic researches. This study used the institutional theory as a lens through which we can understand the factors that enable the effective appropriation of advanced information technology. It posits that mimetic, coercive, and normative pressures existing in an institutionalized environment could influence the participation of top managers or decision makers and the involvement of users toward an effective use of IT in their tasks. Since the introduction of IT, organizational members have been using IT in their daily tasks, creating and recreating rules and resources according to their own methods and needs. That is to say, the adaptation process of the IT and outcomes are different among organizations. The previous studies on a diverse use of IT refer to the appropriation of technology from the social technology view. Users appropriate IT through not only technology itself, but also in terms of how they use it or how they make the social practice in their use of it. In this study, the concepts of institutional pressure, appropriation, participation of decision makers, and involvement of users toward the appropriation are explored in the context of the appropriation of the mobile electronic medical record system (M-EMRS) in particularly a hospital setting. Based on the conceptual definition of institutional pressure, participation and involvement, operational measures are reconstructed. Furthermore, the concept of appropriation is measured in the aspect of three sub-constructs-consensus on appropriation, faithful appropriation, and attitude of use. Grounded in the relevant theories to appropriation of IT, we developed a research framework in which the effects of institutional pressure, participation and involvement on the appropriation of IT are analyzed. Within this theoretical framework, we formulated several hypotheses. We developed a second order institutional pressure and appropriation construct. After establishing its validity and reliability, we tested the hypotheses with empirical data from 101 users in 3 hospitals which had adopted and used the M-EMRS. We examined the mediating effect of the participation of decision makers and the involvement of users on the appropriation and empirically validated their relationships. The results show that the mimetic, coercive, and normative institutional pressure has an effect on the participation of decision makers and the involvement of users in the appropriation of IT while the participation of decision makers and the involvement of users have an effect on the appropriation of IT. The results also suggest that the institutional pressure and the participation of decision makers influence the involvement of users toward an appropriation of IT. Our results emphasize the mediating effect of the institutional pressure on the appropriation of IT. Namely, the higher degree of the participation of decision makers and the involvement of users, the more effective appropriation users will represent. These results provide strong support for institutional-based variables as predictors of appropriation. These findings also indicate that organizations should focus on the role of participation of decision makers and the involvement of users for the purpose of effective appropriation, and these are the practical implications of our study. The theoretical contribution of this study is lies in the integrated model of the effect of institutional pressure on the appropriation of IT. The results are consistent with the institutional theory and support previous studies on adaptive structuration theory.

기본수준점을 이용한 국가수직기준연계 분석 연구 (Analysis of National Vertical Datum Connection Using Tidal Bench Mark)

  • 윤하수;장민철;최윤수;허룡
    • 대한공간정보학회지
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    • 제22권3호
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    • pp.47-56
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    • 2014
  • 최근 지구 온난화로 인하여 해수면의 상승속도가 증가하고, 자연재해가 증가함에 따라서 연안방재 및 개발을 위한 해 육상수직기준 연계에 대한 관심과 요구가 높아지고 있는 추세이다. 우리나라의 수직기준은 그 사용목적이 다르며, 목적에 따라 해상 및 육상에서 개별적으로 정하여 사용되고 있다. 해상수직기준은 지역평균해수면을 사용하며, 육상수직기준은 인천평균해수면을 사용한다. 따라서 본 연구에서는 첫째, 2012년과 2013년에 설치된 통합기본수준 점 48점을 이용하여 해 육상수직기준에 따른 기하표고의 차이를 분석하였다. 분석에는 지역평균해수면과 인천평균해수면을 참조하는 기하표고 및 국가지오이드모델 기반의 기하표고가 사용되었다. 전체 48점 중 도서지역을 제외한 31점 중 11점에서 10cm 이상의 잔차가 발생하였다. 잔차의 원인은 강물의 유입, 기준조위관측소의 이동, 항만공사에 따른 지형변화 등인 것으로 판단되었다. 둘째, 해 육상수직기준 연계를 위하여 해면경사의 경향을 분석하였다. 해면경사는 인천평균해수면과 지역평균해수면의 차이를 말한다. 분석결과 우리나라의 해면경사는 서해에서 남해 그리고 동해방향으로 높아짐을 확인할 수 있었다. 본 연구를 통하여 해 육상수직기준 연계를 위한 자료로서 통합기본수준점의 성과가 활용될 수 있음을 확인하였다. 향후 해 육상수직기준 연계를 위해서는, 해 육상을 연결하는 측량자료가 많이 확보되어야 하며, 국립해양조사원과 국토지리정보원의 지속적인 수직기준 관리 및 자료 공유가 필요하다. 연계된 육해상수직기준의 정보는 효율적이고 경제적인 연안개발과 방재에 크게 활용될 것으로 기대된다.

인천시 UN 국제안전도시 인증을 위한 재난 복원력 스코어카드 평가 (Evaluation of Disaster Resilience Scorecard for the UN International Safety City Certification of Incheon Metropolitan City)

  • 김용문;이태식
    • 한국방재안전학회논문집
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    • 제13권1호
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    • pp.59-75
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    • 2020
  • 본 연구는 인천시가 국제안전도시 인증을 받는 데 필요한 평가 도구인 'UNDRR의 도시 재난 복원력 스코어카드'를 적용한 사례연구이다. 이 스코어카드 평가를 통해 도출된 결과가 인천시의 재난경감 계획수립에 기여한 사례를 제시하고자 한다. 물론 재난 복원력 스코어카드는 도시가 직면한 모든 재난에 대한 복원력 향상 방안을 제시할 수 있는 것은 아니다. 다만 도시가 직면하고 있는 복원력의 약점을 발견하고, 그 해결책을 제시하여 도시의 재난 위험도를 경감시키는 데 있다. 이는 인천시가 직면한 재난위험도를 실무자들이 인지하도록 돕는 것이다. 그리고 재난에 취약한 분야에 대해 복원력을 갖출 수 있도록 UNDRR에서 권장하고 해결방안을 제시하였다. 이러한 과정이 인천시의 재난 복원력을 향상시키는데 기여할 수 있음을 확인하였다. UNDRR에서는 세계 도시의 재난경감을 위하여, 2010년부터 '기후변화, 재해에 강한 도시 만들기 캠페인, 일명 MCR(Making Cities Resilient) 캠페인'을 전 세계 도시로 확산시키고 있다. UNDRR에서 채택된 재난경감 지침을 적용함으로써 정부 및 지방자치단체, 이웃 도시들 간의 협업 등을 권장하고 있는 것이다. 인천시의 UN 도시 재난 복원력 스코어카드 평가 결과는 필수사항 10가지 중에 5개 분야(1. 재난 복원력을 위한 조직구성 및 이행 준비, 4. 복원력에 강한 도시개발과 설계추구, 5. 자연생태계가 제공하는 보호기능 강화를 위한 자연 완충재 보존, 9. 효과적인 재난대비와 대응력 확보, 10. 신속한 복원과 더 나은 재건)에서 5점 만점에 4점 이상(4.3~5.0)의 점수를 획득하여 강한 복원력 분야로 평가되었다. 이에 반해 5개 분야(2. 현재와 미래의 위험 시나리오 분석, 이해, 활용, 3. 재난 복원력을 위한 재정적 역량 강화, 6. 복원력을 위한 기관 역량 강화, 7. 복원력을 위한 사회적 역량 이해 및 강화, 8. 사회기반시설의 복원력 강화)는 5점 만점에 4점 미만(3.20~3.85)의 점수를 획득하여 약한 복원력 분야로 평가되었다. 본 연구의 스코어카드 평가 결과를 통해, 인천시가 당면한 위험요소를 우선순위별로 확인할 수 있었고, 재난위험도를 최소화할 수 있는 복원력 향상방안, 도시안전 기반의 도시개발계획 수립, 활용 가능한 재난경감자원 확인, 통합적인 재난대비 방안 등에 도움을 줄 수 있다.

텅스텐 화학적-기계적 연마 공정에서 부식방지막이 증착된 금속 컨디셔너 표면의 전기화학적 특성평가 (Electrochemical Characterization of Anti-Corrosion Film Coated Metal Conditioner Surfaces for Tungsten CMP Applications)

  • 조병준;권태영;김혁민;;박문석;박진구
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.61-66
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    • 2012
  • 반도체 산업에서 회로의 고집적화와 다층구조를 형성하기 위해 화학적-기계적 연마(CMP: Chemical-Mechanical Planarization) 공정이 도입되었으며 반도체 패턴의 미세화와 다층화에 따라 화학적-기계적 연마 공정의 중요성은 더욱 강조되고 있다. 화학적-기계적 연마공정이란 화학적 반응과 기계적 힘을 동시에 이용하여 표면을 평탄화하는 공정으로, 화학적-기계적 연마 공정은 압력, 속도 등의 공정조건과, 화학적 반응을 유도하는 슬러리(Slurry), 기계적 힘을 위한 패드 등에 의해 복합적으로 영향을 받는다. 패드 컨디셔닝이란 컨디셔너가 화학적-기계적 연마 공정 중에 지속적으로 패드 표면을 연마하여 패드의 손상된 부분을 제거하고 새로운 표면을 노출시켜 패드의 상태를 일정하게 유지시키는 것을 말한다. 한편, 금속박막의 화학적-기계적 연마 공정에 사용되는 슬러리는 금속박막과 산화반응을 하기 위하여 산화제를 포함하는데, 산화제는 금속 컨디셔너 표면을 산화시켜 부식을 야기한다. 컨디셔너의 표면부식은 반도체 수율에 직접적인 영향을 줄 수 있는 스크래치(Scratch) 등을 발생시킬 뿐만 아니라, 컨디셔너의 수명도 저하시키게 되므로 이를 방지하기 위한 노력이 매우 중요하다. 본 연구에서는 컨디셔너 표면에 슬러리와 컨디셔너 표면 간에 일어나는 표면부식을 방지하기 위하여 유기박막을 표면에 증착하여 부식을 방지하고자 하였다. 컨디셔너 제작에 사용되는 금속인 니켈과 니켈 합금을 기판으로 하고, 증착된 유기박막으로는 자기조립단분자막(SAM: Self-Assembled Monolayer)과 불화탄소(FC: FluoroCarbon) 박막을 증착하였다. 자기조립단분자막은 2가지 전구체(Perfluoroctyltrichloro silane(FOTS), Dodecanethiol(DT))를 사용하여 기상 자기조립 단분자막 증착(Vapor SAM) 방법으로 증착하였고, 불화탄소막은 10 nm, 50 nm, 100 nm 두께로 PE-CVD(Plasma Enhanced-Chemical Vapor Deposition, SRN-504, Sorona, Korea) 방법으로 증착하여 표면의 부식특성을 평가하였다. 표면 부식 특성은 동전위분극법(Potentiodynamic Polarization)과 전기화학적 임피던스 측정법(Electrochemical Impedance Spectroscopy(EIS)) 등의 전기화학 분석법을 사용하여 평가되었다. 또한 측정된 임피던스 데이터를 전기적 등가회로(Electrical Equivalent Circuit) 모델에 적용하여 부식 방지 효율을 계산하였다. 동전위분극법과 EIS의 결과 분석으로부터 유기박막이 증착된 표면의 부식전류밀도가 감소하고, 임피던스가 증가하는 것을 확인하였다.