The multi-dielectric layer SiOz/Si3N4/SiO2(ONO) is used to scale down the memory device. In this paper, the change of composition in ONO layer due to the process condition and the conduction mechanism are observed. The composition of the oxide film grown through the oxidation of nitride film is analyzed using auger electron spectroscopy(AES). AES results show that oxygen concentration increases at the interface between oxide and nitride layers as the thickness -of the top oxide layer increases. Results of I-V measurement show that the insulating properties improve as the thickness of the top oxide layer increases. But when the thickness of the nitride layer decreases below 63.angs, insulating peoperties of film 28.angs. of top oxide and film 35.angs. turn over showing that insulating property of film 28.angs. of top oxide is better than that of film 35.angs. of top oxide. This phenomenon of turn over is thought as the result of generation of surface state due to oxygen flow into nitride during oxidation process. As the thickness of the top oxide and nitride increases, the electrical breakdown field increases, but when the thickness of top oxide reaches 35.angs, the same phenomenon of turn over occurs. Optimum film thickness for scaled multi-layer dielectric of memory device SONOS is estimated to be 63.angs. of nitride layer and 28.angs. of top oxide layer. In this case, maximum electrical breakdown field and leakage current are 18.5[MV/cm] and $8{\times}{10^-12}$[A], respectively.
Kim, Cheol-Woon;Park, Hyun-Bin;Kim, Tae-Sung;Lee, Joon-Ung
Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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v.11
no.2
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pp.90-94
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1998
This study aims at analyzing to treeing in the solid-solid interface which is insulation type of cable junction parts, the proceeding of tree-growth and electrical breakdown were research in the study. Interface was made artificially to detect how it influenced the insulating ability of the whole system, the specimen were XLPE generally used in cable. The interface conditions were divided into two parts. First condition being the one focused on the surface of interface, it was treated with sand paper (#80, #600, #1200). For the second condition, the pressure of interface was varied as the value of 1, 5, 10 [$kg/cm^2$]. Using above conditions, treeing and breakdown properties on tree-growth were respectively compared in details. As a result, breakdown time was shorter for the full range of supplied voltage in the case of interface existed in the joint than non-existed interface. In the case of existed interface, the interface which had high-interface pressure and painted with silicon insulating oil was the best in the aspect of breakdown characteristics.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.18
no.6
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pp.338-340
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2017
Breakdown of solid insulating materials in power equipment could result in undesired outages and replacements, and may be due to an increase in electric stress on the material. Therefore, it is necessary to conduct a proper diagnosis of materials before their practical use. In this work, a few inherent properties of different non-cellulosic insulating materials, such as Nomex, Teflon, laminated Nomex, glass bonded mica, epoxy resin bonded mica paper, and epoxy resin bonded fiberglass, have been evaluated by performing non-destructive dielectric diagnostic measurements, and an attempt has been made to correlate these basic parameters to evaluate the breakdown strength (BDS). An equation has been proposed using a basic theory which defines the correlation between the BDS, dielectric constant, dissipation factor, sample thickness, and volume resistivity. The results obtained from the equation are also compared with the experimental values. The suggested equation will be helpful to predict the BDS of any non-cellulosic material without experimentation in the laboratory.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.6
no.6
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pp.294-300
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2005
According to the trend for electric power equipment of high capacity and reduction of its size, the needs for the new high performance electric equipments become more and more important. On of the possible solution is high temperature superconducting (HTS) power application. Following the successful development of practical HTS wires, there have been renewed activities in developing superconducting power equipment. HTS equipments have to be operated in a coolant such as liquid nitrogen ($LN_2$) or cooled by conduction-cooling method such as using Gifford-McMahon (G-M) cryocooler to maintain the temperature below critical level. In this paper, the dielectric strength of some insulating materials, such as unfilled epoxy, filled epoxy, and polyimide in $LN_2$ was analyzed. Epoxy is a good insulating material but fragile at cryogenic temperature. The filled epoxy composite not only compensates for this fragile property but enhances its dielectric strength.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2008.06a
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pp.495-496
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2008
This paper describes the influence of Ultra-violet irradiation on time to tracking resistance of epoxy insulating materials by use of the inclined plane test. And, the influence of surface degradation was evaluated through several method such as measurement of contact angle, surface roughness, using a scanning electron microscopy. As the 1000 hours of the surface degradation with UV-CON, the flashover time decreases at different rates depending on epoxy resin and silicone rubber specimen. As the duration of the surface degradation with UV-CON is prolonged, the contact angle of epoxy resin decreases at the rate of degradation time, while that of silicone rubber was not exchanged. It is assumed that this phenomenon is related to the decrease in hydrophobicity of the surface of the materials. Also, as to epoxy resin, the decrease of hydrophobicity due to surface degradation with UV-CON is greater than that resulting from surface degradation with WOM. The UV radiation produced chalking and crazing on the surface of the insulating materials specimen.
For the operation of high temperature superconducting (HTS) power equipments, it is necessary to develop insulating materials and high voltage (HV) insulation technology at cryogenic temperature of bushing. In this paper, the surface flashover characteristics of various insulating materials in $LN_2$ are studied. These results are studied at both AC and impulse voltage under a non-uniform field. The negative impulse breakdown voltage of GFRP is slightly higher than the positive impulse breakdown voltage. The use of glass fiber reinforced plastic (GFRP) and polytetrafluoroethylene (PTFE, Teflon) as insulation body for HTS bushing should be much desirable. Especially, GFRP is excellent material not only surface flashover characteristics but also mechanical characteristics at cryogenic temperature. The surface flashover is most serious problem for the shed design in $LN_2$ and operation of superconducting equipment.
Proceedings of the Korea Institute of Applied Superconductivity and Cryogenics Conference
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2003.10a
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pp.226-229
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2003
Following the successful development of practical high temperature superconducting (HTS) wires, there has been renewed activity in the development of superconducting power equipments. HTS equipments must be operated in the coolant, such as liquid nitrogen (L$N_2$) or cooled by cooler, such as GM-cryocooler to maintain the temperature below critical temperature. In this paper, dielectric strength of some insulating materials, such as epoxy, teflon, and glass fiber reinforced plastic (GFRP) in L$N_2$was measured. Surface breakdown voltage of GFRP which is basic property in design of HTS solenoid coil was measured. Epoxy is a goof insulating material but it is fragile at cryogenic temperature. The multi-layer insulating method of current lead is suggested to compensate this fragile property. It consists of teflon tape layer and epoxy layer fixed with texture. Based on these measurements, the 6.6㎸ class HTS magnet for DC reactor type high-T$_{c}$ superconducting fault current limiter (SFCL) was successfully fabricated and tested.d.
The Proceedings of the Korean Institute of Illuminating and Electrical Installation Engineers
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v.11
no.2
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pp.110-118
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1997
This paper describes the dissipation factor measuring techniques of insulating oil on operating pole transformers by using digital signal processor. After applying voltage to the condenser which is in¬stalled in a transformer, acquiring source voltage and current of condenser and using cross-correla¬tion techniques, we can check the dissipation factor of insulating oil. To improve measuring accuracy and the speed of process, we use hardware such as TMS320C31 DSP board and software such as cross -correlation techniques. We simulated the measuring accuracy and the degree of the noise effect of this new measuring techniques by using computer simulation, and compared the simplified measuring devices with Schering bridge on degraded insulating oil. The result showed that this measuring tech¬nique can be used as diagnostic method on the pole transformers.
This paper describes the dissipation factor measuring techniques of insulating oil on the operating transformer by using digital signal processing. After applying voltage to the electrodes which is installed In a transformer, acquiring source voltage and current of electrodes and using cross-correlation techniques. we can check the dissipation factor of insulating oil. To Improve measuring accuracy and the speed of process, we use hardware such as TMS320C31 DSP board and analog filter and software such as cross-correlation techniques, rectangular window, and digital filtering techniques. We simulated the measuring accuracy and the degree of the noise effect of this new measuring techniques by using computer simulation, and compared the simplified measuring devices with schering bridge on degraded insulating oil. The result showed that this measuring technique can be used as diagnostic method on the pole transformers.
This paper describes the dissipation factor measuring techniques of insulating oil on operating pole transformer by using digital signal processor. After applying voltage to the electrodes which is installed in a transformer, acquiring source voltage and current of electrodes and using cross-correlation techniques, we can check the dissipation factor of insulating oil. To improve measuring accuracy and the speed of process, we use hardware such as TMS320C31 DSP board and software such as cross-correlation techniques and rectangular window techniques. We simulated the measuring accuracy and the degree of the noise effect of this new measuring techniques by using computer simulation, and compared the simplified measuring devices with schering bridge on degraded insulating oil. The result showed that this measuring technique can be used as diagnostic method on the pole transformers.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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