• 제목/요약/키워드: Industries 4.0

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원예치료 효과 검증을 위한 연구논문의 메타분석 (Meta-Analysis of Research Papers on Horticultural Therapy Program Effect)

  • 장유진;한고운;홍종원;윤성은;박천호
    • 원예과학기술지
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    • 제28권4호
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    • pp.701-707
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    • 2010
  • 원예치료 연구논문의 원예치료 효과 분석을 위하여 1985년부터 2009년 2월까지 총 377편의 국내 외 원예치료 관련 연구 논문(국내 학위논문 196, 국내 학술지 논문 113, 국외 학위논문 5, 국외 학술지 논문 63) 중 메타분석이 가능한 108편의 논문을 대상으로 메타분석을 수행한 결과, 전체적인 원예치료의 효과크기(Effect size)는 0.71로 나타나 효과가 큼을 알 수 있었다. 대상자의 유형과 연령, 인원수 간의 효과분석 결과, 아동을 대상으로 실시한 연구에 있어서 가장 효과가 컸으며 대상자의 유형에 있어서는 일반인에 비하여 정신지체아동, 치매 노인에 있어서 효과가 높음을 알 수 있었다. 연구대상자수에 있어서는 5명 이하로 구성된 소그룹에서 효과가 컸으며 연구자의 전공영역에 있어서는 원예 관련학과에서 수행한 원예치료 프로그램의 효과가 타전공 영역에서 보다 큰 것을 알 수 있었다. 원예치료 프로그램 관련 변인에 있어서의 효과분석에서는, 화훼장식을 이용한 프로그램이 효과가 가장 높았으며 프로그램의 횟수에 따라서는 21-30회, 31회 이상에서 효과가 큰 것으로 나타났다. 단기적 원예치료 프로그램에 있어서의 원예치료의 영역별 효과검증 결과, 인지적, 사회적, 신체적, 정서적 영역 중에서 신체적 영역이 가장 효과가 큰 것으로 나타났다.

증기 개질기의 반응 및 열변형 특성에 미치는 공정가스와 버너가스 온도의 영향 (Effect of Process Gas and Burner Gas Temperature on Reaction and Thermal Deformation Characteristics in a Steam Reformer)

  • 한준희;김지윤;이정희;이성혁
    • 한국산학기술학회논문지
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    • 제17권9호
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    • pp.126-132
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    • 2016
  • 본 연구는 전산유체역학 기법을 이용하여 수소 생산 플랜트의 개질 튜브 공정가스와 버너 가스 온도에 따른 화학반응과 열변형 특성을 분석한다. 개질로 내부의 온도는 약 800 K 내지 1000 K 이상으로 고온으로 유지되기 때문에 튜브의 열변형 문제가 심각하게 발생할 수 있다. 따라서 개질로의 구조건전성을 평가하고 안정된 생산력을 가진 장비를 운영하기 위해서 반응과 열변형 특성에 대한 이해는 필수적이다. 본 연구는 상용 전산해석 코드(ANSYS Fluent/Mechanical V.13.0)를 사용하여, 대류, 전도 및 복사 열전달을 포함한 복합 열전달과 난류유동을 3차원적으로 해석하였다. 특히, 열유동 특성에 따른 연성해석(Fluid-Solid Interaction: FSI)를 수행하였으며 고온 버너가스와 공정가스 운전조건에 따른 반응 특성과 열변형 변화를 분석하였다. 수치해석 결과, 개질 공정가스와 버너 가스의 주입온도가 각각 200 K 감소하면, 수소생성량은 최대 약 4 배, 최소 약 2 배 감소한다. 또한, 공정가스와 버너 가스의 주입온도에 따라 열변형은 최대 약 20%, 최소 약 15% 감소한다.

시멘트 그라우트재에서 $Cr^{6+}$용출특성에 관한 연구 (A Study on Leaching Characteristics of $Cr^{6+}$ in Cement Grout Materials)

  • 김동우;이재영;천병식
    • 한국지하수토양환경학회지:지하수토양환경
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    • 제8권2호
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    • pp.62-69
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    • 2003
  • 그동안 고분자계열 약액에 비하여 상대적으로 독성이 약한 시멘트 계열 약액이 환경에 미치는 영향을 경미하게 다루어졌으나 최근 일본에서 시멘트계열 약액을 사용한 공사현장에서 발암물질인 6가 크롬의 용출로 일본 건설성에서는 이에 대한 규정을 발효하고 시행하여 엄격히 관리하고 있으나 우리나라에서는 상대적으로 이에 대한 연구가 부족한 실정이다 본 연구에서는 다양한 현장조건에서의 시멘트계 그라우트재에서의 6가 크롬 용출특성을 파악하기 위해, 현장 배합비를 기초로 하여 다양한 현장조건에 따른 용출실험을 통하여, 시멘트계 그라우트재의 6가 크롬 용출 특성을 파악하였다. 먼저 원재료인 시멘트의 6가 크롬 함유량 실험을 한 결과 보통 포틀랜트 시멘트에서 22.1 mg/kg으로 다른 재료에 비해 가장 많이 함유되어 있었으며, 호모겔 그리고 샌드겔에서의 용출실험 결과 폐기물 공정시험법에 의할 경우 규제기준인 1.5 kg/L를 대체적으로 만족하였으나, 토양오염공정시험법에 의할 경우 특히 보통 포틀랜트 시멘트가 4.85 mg/kg으로 ‘가’ 지역의 우려기준인 4 mg/kg보다 높은 값을 나타내었다. 모의 주입장치를 이용한 실험결과 물시멘트 비와 주입압이 증가함에 따라 몰드 밖으로 나오는 배출액 중의 6가 크롬의 용출량이 커지는 경향을 나타내었으며, 주입압이 4 이상일 경우 수질오염보전법상의 규정인 0.5 mg/L를 초과하여 검출되었다. 최근 pH4의 산성비 및 매립지의 산생성 단계에서 pH 5이하의 침출수에 의한 그라우트재에서의 6가 크롬의 용출특성을 알아보기 위한 pH에 따른 6가 크롬의 용출경향을 실험한 결과 강산성 및 강염기 상태에서 6가 크롬의 용출량이 급격히 증가하는 경향을 보여 그라우트재가 주입되는 환경에 따라 6가 크롬의 용출량이 증가할 수 있다는 것을 알 수 있었다. 또한 그라우트재가 해안 또는 매립지에 적용될 경우 해수와 침출수에 의한 강도의 변화를 살펴보기 위해 실험한 결과 초순수 중에서 양생 시켰을 때 보다 강도발현 현저히 저하되었으며, 시멘트 종에 따라서는 ‘보통포틀랜트 시멘트>마이크로 시멘트>슬래그’ 시멘트의 순으로 영향을 받는 것으로 나타났다. 이는 강도의 저하로 인한 오염물질의 누출 및 6가 크롬의 용출을 증가시킬 수 있다는 것을 짐작할 수 있다. 이와 같은 결과를 통하여, 그라우트재의 종류에 따라 6가 크롬의 용출량은 현재 규제치를 초과하여 용출되어 질 수 있는 가능성이 있으며, 과압 또는 과량의 주입이 6가 크롬의 용출량을 증가시킬 수 있다고 할 수 있었다. 또한 일반 현장과 다른 특수한 현장에서는 강도 및 pH에 따른 6가 크롬의 용출량을 고려한 재료 선택 및 배합비가 마련되어져야 할 것으로 판단되어진다.

지역 기반 산업의 인력 수요 분석을 통한 공업 계열 특성화 고등학교의 교육과정 개편 사례 연구 (Case Study on Revising Curriculum of a Industrial High School through Analysis of Manufacturing Workforce demand focused on Chungnam Province in Korea)

  • 이상봉;최지연
    • 대한공업교육학회지
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    • 제38권1호
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    • pp.221-238
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    • 2013
  • 이 연구의 목적은 ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교가 위치한 충청남도 금산 지역의 기반 산업인 제조업의 현황 및 인력 수요를 분석하여 이를 기초로 ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교 교육과정을 개편하는데 있다. 이 연구에서는 ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교의 현황 및 실태를 파악하기 위해 통계 자료 및 문헌을 조사 분석하였으며, ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교의 교직원, 학생, 학부모, 학교운영위원, 지역사회 인사 등 학교 이해 당사자들의 인식을 조사하기 위해 교육과정 개편 및 교명 변경에 대한 설문 조사 및 면담 등을 실시하였다. 또한 충남지역의 제조업 현황 및 인력 수요를 분석하기 위해 통계 자료 및 문헌을 조사 분석하였다. 그리고 분석한 자료를 토대로 ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교의 교육과정 개편 및 교명 변경 방안을 도출하였다. 충청남도 금산지역은 제조 제어 분야의 중소기업이 밀집되어 있으며, 자동차 부품, 전자 정보기기, 첨단문화, 농축산 바이오, 4개 산업분야를 지역 전략 산업으로 육성하고 있다. 산업별 취업자수는 제조업이 33.6%를 차지하고, 서비스업 광업 및 제조업이 차지하는 비율이 전체의 80 %이상이 되어, 제조업과 서비스 분야에서 많은 인력 수요가 창출될 것으로 예상된다. 따라서, ${\bigcirc}{\bigcirc}$공업고등학교는 현재의 학교 체제와 교육과정을 전면적으로 개편하보다는 '컴퓨터응용기계과'는 '기계제어', '전기제어과'는 '자동화전기설비', '바이오식품공업과'는 '식품공정제어' 중심의 교육과정으로 재구성하고 학과를 개편하여, 금산군의 주력 산업 산업이자 충청남도 지역 전략 산업 분야인 친환경 농업 및 제조 제어 산업의 인력을 양성 공급함으로써 양질의 취업을 늘리고, 공업계열 특성화고등학교로서의 정체성을 살려 나가는 것이 바람직하다.

남동 태평양의 참치 어획양과 해양환경과의 관계 (Relationship between the Catches of Tuna and Oceanographic Conditions in the South-East Pacific)

  • 조규대;김윤애;박성우;김재철;박민식
    • 한국수산과학회지
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    • 제20권4호
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    • pp.360-369
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    • 1987
  • 남동 태평양의 위도 $5^{\circ}N\~12^{\circ}S$, 경도 $115^{\circ}$ 해역에서 1980년 12월 9일부터 1981년 4월 2일에 걸쳐 조업한 참치 어장 야장과 DBT 기록 테이프를 정리여, 어획된 해구의 각 정점마다의 수온 연직 구조 및 남동 태평양의 해양 환경과 그에 따른 어획물 포를 알아본 결과는 다음과 같다. 본 연구에서 조업이 행해진 해역은 위도 $5^{\circ}N\~12^{\circ}S$의 적도 용승역을 포함하는 남적도 해류역이였으며, 이 해역의 1, 2, 3월의 깊이 10m의 수온 수평분 포도를 살펴보면 거의 모든 해역의 온도가 $25^{\circ}C$ 정도임을 알 수 있다. 또, 위 해역의 염분은 $34.80\~35.00\%_{\circ}$ 였다. 한편 위 해역에서 눈다랑어와 황다랑어는 수온 약층의의 상부 수심 100m 정도에서 수온 약층 하부 수심 300m 까지의 수온차가 약 $12^{\circ}C$ 정도되는 SW type의 수온 연직 구조에서 주로 어획이 되었고, 수온 약층의 깊이가 깊을 수록 어획량이 많아지고 있다. 또한 날개다랑어는 온도 $8\~26^{\circ}C$이며 수심 50m 간격간의 수온 차가 약 $2.5^{\circ}C$로 균일한 변화를 나타내는 가장 완만한 형태인 SS type의 수온 연직 구조에서 주로 어획이 되었다. 그리고 눈다랑어의 최소한의 산소 요구량인 1ml/l 등양면의 깊이는 $140\~100^{\circ}W$에서는 주로 $200\~100m$ 수심이며 $110^{\circ}W$에서 부터 남미대륙쪽으로갈수록 등양면(1ml/l)의 길이는 100m 정도로 낮아진다. 어획량의 수평 분포를 살펴보면 남적도 해류역에서 눈다랑어가 황다랑어 보다 더 많이 어획되었다. 그리고, 남북미 대륙쪽에 가까와질수록 주 수온 약층 아주 얕아지고 그 기울기가 급하게 되며, 또 1ml/l 용재 산소 등양면의 깊이가 낮아질수록 황다랑어와 눈다랑어의 어획량이 줄고 있음을 고찰할 수 있다.

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SEM-EDX 분석법에 의한 부산 S공업단지의 PM10과 PM2.5의 화학적 조성 및 발생원 추정 (Source Apportionment Study and Chemical Composition of PM10 and PM2.5 in the Industrial Complex of Busan City, Korea)

  • 김용석;최금찬;서정민
    • 한국환경과학회지
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    • 제26권11호
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    • pp.1297-1306
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    • 2017
  • This study identified physical characteristics and aerosol particle sources of $PM_{10}$ and $PM_{2.5}$ in the industrial complex of Busan Metropolitan City, Korea. Samples of $PM_{10}$, $PM_{2.5}$ and also soil, were collected in several areas during the year of 2012 to investigate elemental composition. A URG cyclone sampler was used for collection. The samples were collected according to each experimental condition, and the analysis method of SEM-EDX was used to determine the concentration of each metallic element. The comparative analysis indicated that their mass concentration ranged from 1% to 3%. The elements in the industrial region that were above 10% were Si, Al, Fe, and Ca. Those below 5% were Na, Mg, and S. The remaining elements (1% of total mass) consisted of elements such as Ni, Co, Br and Pb. Finally, a statistical tool was applied to the elemental results to identify each source for the industrial region. From a principal components analysis (SPSS, Ver 20.0) performed to analyze the possible sources of $PM_{10}$ in the industrial region, five main factors were determined. Factor 1 (Si, Al), which accounted for 15.8% of the total variance, was mostly affected by soil and dust from manufacturing facilities nearby, Factors 2 (Cu, Ni), 3 (Zn, Pb), and 4 (Mn, Fe), which also accounted for some of variance, were mainly related to iron, non-ferrous metals, and other industrial manufacturing sources. Also, five factors determined to access possible sources of $PM_{2.5}$, Factor 1 (Na, S), accounted for 13.5% of the total variance and was affected by sea-salt particles and fuel incineration sources, and Factors 2 (Ti, Mn), 3 (Pb, Cl), 4 (K, Al) also explained significant proportions of the variance. Theses factors mean that the $PM_{2.5}$ emission sources may be considered as sources of incineration, and metals, and non-ferrous manufacturing industries.

선박용 알루미늄 합금재의 부식피로균열 진전특성과 그 억제에 관한 연구 (Corrosion Fatigue Cracking Propagation Characteristics and its Protection for the AL-Alloys of Shipbuilding)

  • 임우조;김수병;이진열
    • 수산해양기술연구
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    • 제25권2호
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    • pp.87-104
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    • 1989
  • Recently, with the tendency of more lightening, high-strength and high-speed in the marine industries such as marine structures, ships and chemical plants, the use of the aluminium Alloy is rapidly enlarge and there occurs much interest in the study of corrosion fatigue crack characteristics. In this paper, the initiation of surface crack and the propagation characteristics on the base metal and weld zone of 5086-H116 Aluminium Alloy Plate which is one of the Al-Mg serious alloy(A5000serious) used most when building the special vessels, were investigated by the plane bending corrosion fatigue under the environments of marine, air and applying cathodic protection. The effects of various specific resistances on the initiation, propagation behavior of corrosion fatigue crack and corrosion fatigue life in the base metal and heat affected zone were examined and its corrosion sensitivity was quantitatively obtained. The effects of corrosion on the crack depth in relation to the uniform surface crack length were also investigated. Also, the structural, mechanical and electro-chemical characteristics of the metal at the weld zone were inspected to verify the reasons of crack propagation behavior in the corrosion fatigue fracture. In addition, the effect of cathodic protection in the fracture surface of weld zone was examined fractographically by Scanning Electron Microscope(S.E.M.). The main results obtained are as follows; (1) The initial corrosion fatigue crack sensitibity under specific resistance of 25Ω.cm% show 2.22 in the base metal and 19.6 in the HEZ, and the sensitivity decreases as specific resistance increases (2) By removing reinforcement of weldment, the initiation and propagation of corrosion crack in the HAZ are delayed, and corrosion fatigue life increases. (3) As specific resistance decreases, the sensitivity difference of corrosion fatigue life in the base metal and HAZ is more susceptible than that of intial corrosion fatigue crack. (4) Experimental constant, m(Paris' rule) in the marine environment is in the range of about 3.69 to 4.26, and as specific resistance increases, thje magnitude of experimental constant, also increases and the effect by corrosion decreases. (5) Comparing surface crack length with crack depth, the crack depth toward the thickness of specimen in air is more deeply propagated than that in corrosion environment. (6) The propagation particulars of corrosion fatigue crack for HAZ under initial stress intensity factor range of $\Delta$k sub(li) =27.2kgf.mm super(-3/2) and stress ratio of R=0 shows the retardative phenomenon of crack propagation by the plastic deformation at crack tip. (7) Number of stress cycles to corrosion fatigue crack initiation of the base metal and the welding heat affected zone are delayed by the cathodic protection under the natural sea water. The cathodic protection effect for corrosion fatigue crack initiation is eminent when the protection potential is -1100 mV(SCE). (8) When the protection potential E=-1100 mV(SCE), the corrosion fatigue crack propagation of welding heat affected zone is more rapid than that of the case without protection, because of the microfissure caused by welding heat cycle.

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국내 연구개발 지원산업의 현황분석과 육성방안에 관한 연구 (A Present Condition of R&D Supporting Industries: A Search for their Promotion)

  • 이장재;박종오
    • 기술혁신학회지
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    • 제2권2호
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    • pp.219-232
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    • 1999
  • 연구개발 지원산업은 연구개발 활동을 직·간접적으로 지원하는 산업을 의미한다. 이러한 산업에 대한 개념화는 연구개발 활동의 전문화(professionalization), 분업화(division of labor)가 진행되고 있음을 의미하는 동시에 연구개발체제의 유연성 제고 및 고도화, 효율화가 이루어지고 있음을 나타내고 있다. 우리의 경우 (과학기술혁신을 위한 특별법) 제 15조 등을 통하여 연구개발 지원사업에 대한 특별지원제도의 시행을 명시하고 있으나 현재까지 연구개발 지원사업자를 지정·육성하기 위한 기본현황 파악이나 분석이 이루어지지 않은 실정이다. 본고는 이러한 수요를 반영하여 국내에서의 연구개발 지원산업에 대한 수요를 중심으로 실태를 파악 ·분석하는 동시에 산업지원 육성방안을 제시하고 있다. 국내 연구개발 지원산업의 규모를 추정해 보면 97년 현재 약 3,000억원에서 4,000억원의 규모로 나타나며, 이중 기술정보서비스업이 약 27.0%, 연구장비 및 시험 ·평가 ·검색 ·분석업이 약 38.4%, 연구개발 설계·자문업 등 기타사업이 34.6% 로 나타나고 있다. 연구개발지원 기능은 시험·검사 기능과 기술정보제공 기능이 대부분을 차지하고 있고, 전자의 경우는 내부처리의 비중이 높고 후자의 경우 외부의 전문기관을 이용하는 비중이 높게 나타나고 있다. 특히 기업이 연구개발활동 수행시에 필요한 지원기능을 외부에 위탁할 경우에 느끼는 애로사항은 첫째, 외부 전문위탁기관의 부족 및 정보 미흡이 가장 크고, 둘째, 전문기관의 해외정보력·경쟁력 부족이 다음이며, 공공기관의 지원기능이 미흡하다는 애로사항에 대한 비중이 상대적으로 낮게 나타나고 있다. 연구개발 지원산업을 특별지원·육성하기 위한 기본관점은 특별법의 시행령을 구체적으로 실행하기 위한 시행계획의 수립과 연구개발 지원산업의 육성 시책의 추진 절차의 결정, 사업자 선정, 지원 사항 등으로 제시될 수 있다. 먼저, 기업 연구개발활동의 고도화·효율화를 위해 연구개발 및 기술개량에 필요한 업무 중 기술정보서비스와 연구시험·평가·검사·분석 그리고 중소기업 기술집약화를 지원하는 사업 등을 연구개발 지원산업으로 범위를 정할 필요성이 있다. 다음으로 연구개발 지원사업자를 별도로 선정·인정하는 방식으로 지원해야 할 필요성이 있다. 기존의 산업 지원방식으로는 연구개발 지원기능이 주된 활동으로 인정받을 수 없으므로 국내 연구개발 지원기능의 발전에 한계가 있다. 따라서 취약한 여건을 감안하여 연구개발 지원산업을 육성하지 않게 되면, 각 분야별로 민간사업자의 참여가 거의 이루어지지 않거나, 참여해도 연구개발 지원 기능의 발전보다는 기존의 사업이 주가 될 가능성이 크다. 연구개발 지원 사업자의 지정 지원방식과는 별도로 이루어질 수 있는 지원활동에 대한 지원은 기업회계처리상의 문제와 일관성이 있는 시책추진 및 효과를 기대하기 어렵기 때문에 사전에 동산업의 참여 자격·능력을 갖춘 사업자에 대해서는 제한없이 참여할 수 있도록 Positive System으로 추진해야 할 것이다. 그리고 연구개발 지원사업자에 대한 지원내용을 조세·금융 등 직접적 지원과 타 제도와의 연계지원 그리고 정부구매 등 시장지원 등이 아울러 다양하게 추진될 필요가 있다.

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THE EFFECTS OF SURFACE CONTAMINATION ON THE SHEAR BOND STRENGTH OF COMPOMER

  • Heo, Jeong-Moo;Lee, Su-Jong;Im, Mi-Kyung
    • 대한치과보존학회:학술대회논문집
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    • 대한치과보존학회 2001년도 추계학술대회(제116회) 및 13회 Workshop 제3회 한ㆍ일 치과보존학회 공동학술대회 초록집
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    • pp.577-577
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    • 2001
  • The lastest concepts in bonding are "total etch", in which both enamel and dentin are etched with an acid to remove the smear layers, and "wet dentin" in which the dentin is not blown dry but left moist before application of the bonding primer. Ideally, the application of a bonding agent to tooth structure should be insensitive to minor contamination from oral fluids. Clinically contaminations such as saliva, gingival fluid, blood and handpiece lubricant are often encountered by dentists during preparation of a restoration. The aim of this study was to evaluate the effect of contamination by hem-ostatic agents on shear bond strength of compomer restorations. One hundred and ten extracted human maxillary and mandibular molar teeth were collected. The teeth were cleaned from soft tissue remnant and debris and stored in physiologic solution until they were used. Small flat area on dentin of the buccal surface were wet ground serially with 400, 800 and 1200 abrasive paper on automatic polishing machine. The teeth were randomly divided into 11 groups. Each group was conditioned as follows: Group 1 : Dentin surface was not etched and not contaminated by hemostatic agents. Group2 : Dentin surface was not etched but was contaminated by Astringedent (Ultradent product Inc., Utah, U.S.A.). Group3 : Dentin surface was not etched but was contaminated by Bosmin (Jeil Phann, Korea.). Group4 : Dentin surface was not etched but was contaminated by Epri-dent (Epr Industries, NJ, U.S.A.). Group5: Dentin surface was etched and not contaminated by hemostatic agents. Group 6 : Dentin surface was etched and contaminated by Astringedent. Group7 : Dentin surface was etched and contaminated by Bosmin. Group8 : Dentin surface was etched and contaminated by Epri-dent. Group9 : Dentin surface was contaminated by Astringedent. The contaminated surface was rinsed by water and dried by compressed air. Group10 : Dentin surface was contaminated by Bosmin. The contaminated surface was rinsed by water aud dried by compresfed air. Group 11 : Dentin surface was contaminated by Epri-dent. The contaminated surface was rinsed by water and dried by compresfed air. After surface conditioning, F2000 was applicated on the conditoned dentin surface. The teeth were thermocycled in distilled water at $5^{\circ}C\;and\;55^{\circ}C$ for 1000 cycles. The samples were placed on the binder with the bonded compomer-dentin interface parallel to the lmife-edge shearing rod of the Universal testing machine(Zwick 020, Germany) running at a cross head speed of 1.0mmimin. There were no significant differences in shear bond strength between groups 1 and group 3 and 4, but group 2 showed significant decrease in shear bond strength compared with group 1. There were no significant differences in shear bond strength between group 5 and group 7 and 8, but group 6 showed significant decrease in shear bond strength compared with group 5. There were no significant differences in shear bond strength between group 5 and group 9, 10 and 11.

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RF 반응성 스펏터링으로 제조한 $Ta_{2}O_{5}$ 막의 특성 (Characteristics of $Ta_{2}O_{5}$ Films by RF Reactive Sputtering)

  • 박욱동;금동열;김기완;최규만
    • 센서학회지
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    • 제1권2호
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    • pp.173-181
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    • 1992
  • RP 반응성 스펏터링으로서 P형 실리콘 웨이퍼위에 $Ta_{2}O_{5}$막을 제조하였다. 시편의 구조 및 조성은 XRD와 AES로 조사하였다. 산소의 혼합비가 10%일 때 C-V 특성으로부터 구한 $Ta_{2}O_{5}$막의 비유전률은 10-12이었다. AES와 RBS로 측정한 $Ta_{2}O_{5}$막의 Ta : O의 비는 각각 1 : 2와 1 : 2.49로 나타났으며, 산소분위기에서 $700^{\circ}C$의 열처리 온도에서 결정성장이 시작되었다. 산소분위기에서 $1000^{\circ}C$로 열처리한 $Ta_{2}O_{5}$막의 비유전률값은 20.5였으며, 질소분위기에서 열처리한 경우의 비유전률값은 23으로 나타났다. 이 때 가육방전계(pseudo hexagonal ${\delta}-Ta_{2}O_{5}$)의 결정구조를 나타내었다. 시편의 ${\Delta}V_{FB}$와 누설전류밀도는 산소의 혼합비가 증가함에 따라 감소하였다. 그리고 최대절연파괴전장은 산소가 10% 혼합되었을 때 2.4MV/cm로 나타났다. 이러한 $Ta_{2}O_{5}$막은 수소이온 감지막 및 기억용소자의 게이트 절연막 등에 응용될 수 있을 것이다.

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