JSTS:Journal of Semiconductor Technology and Science
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v.9
no.3
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pp.125-135
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2009
An analytical 2-dimensional model to explain the small signal and noise properties of an AlGaN/GaN modulation doped field effect transistor has been developed. The model is based on the solution of two-dimensional Poisson's equation. The developed model explains the influence of Noise in ohmic region (Johnson noise or Thermal noise) as well as in saturated region (spontaneous generation of dipole layers in the saturated region). Small signal parameters are obtained and are used to calculate the different noise parameters. All the results have been compared with the experimental data and show an excellent agreement and the validity of our model.
We have grown undoped $In_ xGa_{1-x}N,\; In_xGa_{1-x}N:Si\;and\;In_{0.1}Ga_{0.9}N:Zn$ thin films by MOCVD at temperature between 880 and $710^{\circ}C which endows various In composition in the epilayer from 0.07 to 0.22 as examined using X-ray diffraction, optical absorption(OA), photocurrent (PC) and photoluminescence (PL). The In molar fraction estimated from PL results is higher than that from the OA, PC, and X-ray data for $X{\le}0.22$, which may be caused by phase separation. However, the In molar fraction estimated by X-ray diffraction, OA, PC and PL for $In_xGa_{1-x}N:Si$ does not show discrepancy. With the appropriate Zn doping in undoped $In_{0.1}Ga_{0.9}N$, the emission peak is shifted from 3.15 eV which originates from the band edge emission peak to 2.65 eV which resulted from the conduction band to acceptor transition due to a deep acceptor level.
Gallium oxyhydroxide (GaOOH) powders were heat-treated in a flowing ammonia gas to form GaN, and the reaction kinetics of the oxide to nitride was quantitatively determined by X-ray diffraction analysis. GaOOH turned into intermediate mixed phases of $\alpha-\;and\;\beta-Ga_2O_3$, and then single phase of GaN. The reaction time for full conversion $(t_c)$ decreased as the temperature increased. There were two-types of rapid reaction processes with the reaction temperature in the initial stage of nitridation at below $t_c$, and a relatively slow processes followed over $t_c$ does not depends on temperatures. The nitridation process was found to be limited by the rate of an interfacial reaction with the reaction order n value of 1 at $800^{\circ}C$ and by the diffusion-limited reaction with the n of 2 at above $1000^{\circ}C$, respectively, at below $t_c$. The activation energy for the reaction was calculated to be 1.84 eV in the temperature of below $830^{\circ}C$, and decreased to 0.38 eV above $830^{\circ}C$. From the comparative analysis of data, it strongly suggest the rate-controlling step changed from chemical reaction to mass transport above $830^{\circ}C$.
Kim, Sung-Bock;Bae, Sung-Bum;Ko, Young-Ho;Kim, Dong Churl;Nam, Eun-Soo
Applied Science and Convergence Technology
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v.26
no.4
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pp.79-85
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2017
The crack-free AlGaN template has been successfully grown by using selective area growth with triangular GaN facet. The triangular GaN stripe structure was obtained by vertical growth rate enhanced mode with low growth temperature of $950^{\circ}C$ and high growth pressure of 500 torr. The lateral growth rate enhanced mode of AlGaN for crack-free and flat surface was also investigated. Low pressure of 30 torr and high V/III ratio of 4400 were favorable for lateral growth of AlGaN. It was confirmed that the $4{\mu}m$ -thick $Al_{0.2}Ga_{0.8}N$ was crack-free over entire 2-inch wafer. The dislocation density of $Al_{0.2}Ga_{0.8}N$ was as low as ${\sim}7.6{\times}10^8/cm^2$ measured by cathodoluminescence. Based on the high quality AlGaN with low dislocation density, the ultraviolet laser diode epitaxy with cladding, waveguide and GaN/AlGaN multiple quantum well (MQW) was grown by metalorganic chemical vapor deposition. The stimulated emission at 349 nm with full width at half maximum of 1.8 nm from the MQW was observed through optical pumping experiment with 193 nm KrF laser. We also have fabricated the deep ridge type ultraviolet laser diode (UV-LD) with $5{\mu}m-wide$ and $700{\mu}m-long$ cavity for electrical properties. The turn on voltage was below 5 V and the resistance was ${\sim}55{\Omega}$ at applied voltage of 10 V. The amplified spontaneous emission spectrum of UV-LD was also observed from pulsed current injection.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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v.10
no.2
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pp.40-43
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2009
The authors fabricated a nanopatterned surface on a GaN thin film deposited on a sapphire substrate and used that as an epitaxial wafer on which to grow an InGaN/GaN multi-quantum well structure with metal-organic chemical vapor deposition. The deposited GaN epitaxial surface has a two-dimensional photonic crystal structure with a hexagonal lattice of 230 nm. The grown structure on the nano-surface shows a Raman shift of the transverse optical phonon mode to $569.5\;cm^{-1}$, which implies a compressive stress of 0.5 GPa. However, the regrown thin film without the nano-surface shows a free standing mode of $567.6\;cm^{-1}$, implying no stress. The nanohole surface better preserves the strain energy for pseudo-morphic crystal growth than does a flat plane.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1999.07a
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pp.121-121
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1999
Gallium nitride (GaN) semiconductor is intensively under investigation for commercialization of short wavelength light emitting devices and laser diodes. One of serious obstacles to overcome is to reduce the defect density in GaN film grown by various techniques such as MOCVD, HVPE, etc. Many research groups including SAIT are trying to improve the defect density to 106-107/cm2 from the level of 108-1010/cm2. We have investigated epitaxial growth behaviour of GaN thin and thick films under hidride vapour phase epitaxy (HVPE) condition. In this report, we present the microstructural and crystallographical characteristics of the GaN films grown on sapphire (0001) substrate which were studied by both conventional and high-resolution transmission electron microscopy (TEM). Also we present some microscopic analysis results obtained from GaN films grown by ELO(dpitzsial lateral overgrowth)-HVPE and from GaN quantum well structures grown by MOCVD. Another serious problem in growing GaN thick film by HVPE is internal micro-cracks. We also comment the origin of the micro-crack.
Endophytic fungi are known for the production of valuable metabolites, but information on the gibberellin production capacity of this group is limited. We isolated 9 endophytic fungi from the roots of salt-stressed soybean plants and screened them on waito-c rice, in order to identify plant growth promoting fungal strains. The fungal isolate TK-2-4 gave maximum plant length (20.35 cm) promotion in comparison with wild-type Gibberella fujikuroi (19.5 cm). In a separate experiment, bioassay of TK-2-4 promoted plant length and biomass of soybean cultivar Taegwangkong. The TK-2-4 culture filtrate was analyzed for the presence of gibberellins, and it was found that all physiologically active gibberellins, especially $GA_4$ and $GA_7$, were present in higher amounts ($GA_1$, 0.11 ng/ml; $GA_3$, 2.91 ng/ml; $GA_4$, 3.21 ng/ml; and $GA_7$, 1.4 ng/ml) in conjunction with physiologically inactive $GA_9$ (0.05 ng/ml), $GA_{12}$ (0.23 ng/ ml), $GA_{15}$ (0.42 ng/ml), $GA_{19}$ (0.53 ng/ml), and $GA_{20}$ (0.06 ng/ml). The fungal isolate TK-2-4 was later identified as a new strain of Phoma herbarum, through the phylogenetic analysis of 28S rDNA sequence.
The elongation of mesocotyl and coleoptile plays important roles in the seedling emergence and stand establishment of dry direct-seeded rice. Experiments were carried out to elucidate the effects of seed-presoaking treatments of GA$_3$ and some inorganic salts on the mesocotyl, and coleoptile elongation of rice. Seed-soaked GA$_3$ promoted the elongation of mesocotyl, but little effect on the coleoptile elongation. The stimulation effects of GA$_3$ were found to be enhanced by addition of CaCl$_2$ However, the sole treatment of CaCl$_2$ showed no stimulating effect on the mesocotyl and coleoptile elongation. Mesocotyl elongation was most prominent in the combined treatments of 50ppm GA$_3$ with 100 mM CaCl$_2$. The synergistic effects of GA$_3$ and CaCl$_2$ on mesocotyl elongation varied with varietal groups. The stimulating effects of GA$_3$ were enhanced significantly by the addition of CaCl$_2$ in japonica varieties, Dongjinbyeo, Ilpumbyeo and Milyang 95, and tall indica variety, Labelle, but not in semidwarf Tongil type varieties, Tongilbyeo, Milyang 23, and Nampungbyeo, and semi-dwarf indica, Short Labelle. The promoting effects of GA$_3$ on the mesocotyl elongation were decreased in proportion to the lowered osmotic potential by PEG 6000 on the contrary to CaCl$_2$ This implies that the synergistic effects of CaCl$_2$ with GA$_3$ on mesocotyl elongation was not caused by osmotic potential lowered by CaCl$_2$ addition but by the salt itself. Salts such as Ca(NO$_3$)$_2$, MgCl$_2$ BaCl$_2$, NaCl, KCl and KNO$_3$ showed the synergistic effects with GA$_3$ on mesocotyl elongation as well. The degree of synergistic effects showed no differences among salts tested, implying that there is no specificity of ions constituting the salts.
Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
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2010.06a
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pp.31-31
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2010
The growth of the high-quality GaN epilayers is of significant technological importance because of their commercializedoptoelectronic applications as high-brightness light-emitting diodes (LEDs) and laser diodes (LDs) in the visible and ultraviolet spectral range. The GaN-based heterostructural epilayers have the polar c-axis of the hexagonal structure perpendicular to the interfaces of the active layers. The Ga and N atoms in the c-GaN are alternatively stacked along the polar [0001] crystallographic direction, which leads to spontaneous polarization. In addition, in the InGaN/GaN MQWs, the stress applied along the same axis contributes topiezoelectric polarization, and thus the total polarization is determined as the sum of spontaneous and piezoelectric polarizations. The total polarization in the c-GaN heterolayers, which can generate internal fields and spatial separation of the electron and hole wave functions and consequently a decrease of efficiency and peak shift. One of the possible solutions to eliminate these undesirable effects is to grow GaN-based epilayers in nonpolar orientations. The polarization effects in the GaN are eliminated by growing the films along the nonpolar [$11\bar{2}0$] ($\alpha$-GaN) or [$1\bar{1}00$] (m-GaN) orientation. Although the use of the nonpolar epilayers in wurtzite structure clearly removes the polarization matters, however, it induces another problem related to the formation of a high density of planar defects. The large lattice mismatch between sapphiresubstrates and GaN layers leads to a high density of defects (dislocations and stacking faults). The dominant defects observed in the GaN epilayers with wurtzite structure are one-dimensional (1D) dislocations and two-dimensional (2D) stacking faults. In particular, the 1D threading dislocations in the c-GaN are generated from the film/substrate interface due to their large lattice and thermal coefficient mismatch. However, because the c-GaN epilayers were grown along the normal direction to the basal slip planes, the generation of basal stacking faults (BSFs) is localized on the c-plane and the generated BSFs did not propagate into the surface during the growth. Thus, the primary defects in the c-GaN epilayers are 1D threading dislocations. Occasionally, the particular planar defects such as prismatic stacking faults (PSFs) and inversion domain boundaries are observed. However, since the basal slip planes in the $\alpha$-GaN are parallel to the growth direction unlike c-GaN, the BSFs with lower formation energy can be easily formed along the growth direction, where the BSFs propagate straightly into the surface. Consequently, the lattice mismatch between film and substrate in $\alpha$-GaN epilayers is mainly relaxed through the formation of BSFs. These 2D planar defects are placed along only one direction in the cross-sectional view. Thus, the nonpolar $\alpha$-GaN films have different atomic arrangements along the two orthogonal directions ($[0001]_{GaN}$ and $[\bar{1}100]_{GaN}$ axes) on the $\alpha$-plane, which are expected to induce anisotropic biaxial strain. In this study, the anisotropic strain relaxation behaviors in the nonpolar $\alpha$-GaN epilayers grown on ($1\bar{1}02$) r-plane sapphire substrates by metalorganic chemical vapor deposition (MOCVO) were investigated, and the formation mechanism of the abnormal zigzag shape PSFs was discussed using high-resolution transmission electron microscope (HRTEM).
Kim, Zin-Sig;Ahn, Hokyun;Lim, Jong-Won;Nam, Eunsoo
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2014.02a
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pp.292-292
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2014
Wide band gap semiconductors, such as III-nitrides (GaN, AlN, InN, and their alloys), SiC, and diamond are expected to play an important role in the next-generation electronic devices. Specifically, GaN-based high electron mobility transistors (HEMTs) have been targeted for high power, high frequency, and high temperature operation electronic devices for mobile communication systems, radars, and power electronics because of their high critical breakdown fields, high saturation velocities, and high thermal conductivities. For the stable operation, high power, high frequency and high breakdown voltage and high current density, the fabrication methods have to be optimized with considerable attention. In this study, low ohmic contact resistance and smooth surface morphology to AlGaN/GaN on 2 inch c-plane sapphire substrate has been obtained with stepwise annealing at three different temperatures. The metallization was performed under deposition of a composite metal layer of Ti/Al/Ni/Au with thickness. After multi-layer metal stacking, rapid thermal annealing (RTA) process was applied with stepwise annealing temperature program profile. As results, we obtained a minimum specific contact resistance of $1.6{\times}10^{-7}{\Omega}cm2$.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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