In situ 타원법을 이용한 PtO$_X$ 박막의 온도 및 산소조성비의 변화에 따른 연구
(Dependence of Decomposition Process of PtO$_X$ Film on Temperature and Oxygen rate Investigated by in situ Ellipsometry)
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- 한국광학회:학술대회논문집
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- 한국광학회 2005년도 제16회 정기총회 및 동계학술발표회
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- pp.78-79
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- 2005