This paper describes the design and development of a KrF excimer laser stepper and discusses the detailed system parameters and characterization data obtained from the performance test. We have developed a deep UV step-and-repeat system, operating at 248 nm, by retrofitting a commercial modules such as KrF excimer laser, precision wafer stage and fused silica illumination and 5X projection optics of numerical aperture 0.42. What we have developed, to the basic structure, are wafer alignment optics, reticle alignment system, autofocusing/leveling mechanisms and environment chamber. Finally, all these subsystem were integrated under the control of microprocessor-based controllers and computer. The wafer alignment system comprises the OFF-AXIS and the TTL alignment. The OFF-AXIS alignment system was realized with two kinds of optics. One is the magnification system with the image processing technique and the other is He-Ne laser diffraction type system using the alignment grating on the wafer. 'The TTL alignment system employs a dual beam inteferometric method, which takes advantages of higher diffraction efficiency compared with other TTL type alignment systems. As the results, alignment accuracy for OFF-AXIS and TTL alignment system were obtained within 0.1 $\mu\textrm{m}$/ 3 $\sigma$ for the various substrate on the wafers. The wafer focusing and leveling system is modified version of the conventional systems using position sensitive detectors (PSD). This type of detection method showed focusing and leveling accuracies of about $\pm$ 0.1 $\mu\textrm{m}$ and $\pm$ 0.5 arcsec, respectively. From the CD measurement, we obtained 0.4 $\mu\textrm{m}$ resolution features over the full field with routine use, and 0.3 $\mu\textrm{m}$ resolution was attainable under more strict conditions.
Korean Journal of Construction Engineering and Management
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v.9
no.4
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pp.193-205
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2008
Quality is an important keyword representing the corporate competitiveness and image in today' s construction industry. Especially in concrete construction, any problems or defects in fresh concrete can significantly degrade the entire quality and performance of the facility built. Thus, adequate quality inspection and testing must be exercised over the fresh concrete, if concrete with the required strength, durability and appearance is to be obtained. The testing of concrete delivered to the construction job site involves testing of fresh concrete and performing strength tests on hardened concrete. The principal tests conducted on fresh concrete include the slump test and tests for air and salt content. The temperature of fresh concrete should be checked out hot or cold weather concreting. The 7-day and 28-day strength of hardened concrete are also determined by compression tests on usually cylinder samples. However, it is very complex and time-consuming process requiring a lot of efforts to document those on-site concrete testing results and to accumulate their historical data. The primary objective of this study is to suggest a unique PDA and web-based system which enables an on-site quality manager to effectively conduct the concrete inspection and testing, automatically document and accumulate the collected historical data, and promptly obtain the approval from supervisors. Finally, it is anticipated that the effective use of the proposed PDA and web-based system would be able to improve reliability of the concrete quality inspection and testing data as well as significantly reduce the approval process.
The Journal of the Korea institute of electronic communication sciences
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v.13
no.4
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pp.887-896
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2018
The purpose of this preliminary study was to investigate the effect of fall prevention program on the occurrence of falls in inpatients at general hospital. Before the intervention, we identified the occurrence of the rate of falls in I hospital at Incheon and 190 patients received rehabilitation treatment. The causes of falls were carelessness of caregivers and therapists, increased burden of therapists, and height of beds. After recognizing the problems, the authors developed a fall prevention program through the PDCA model. The fall prevention program consisted of a video of fall prevention education and education for the patients and caregivers, environmental improvement and education of therapists for two months. After intervention, 230 patients were subjected to be included as analysis of the incidence of falls included As a result, the fall incidence was reduced by 34.1~66.7% in the pain clinic and 21.3~40.8% in the exercise clinic / department of occupational therapy compared to the before intervention. These findings show that the fall prevention program has a positive effect on the fall of inpatients, and it can be used as a model for fall prevention.
Lee, Kyu-Nyo;Yi, Kwang bok;Kim, So Yeon;Han, Soo Kyong;Rhee, Young-Woo
대한공업교육학회지
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v.40
no.2
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pp.72-91
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2015
This study is aimed at researching and analyzing the actual conditions of the curriculum and career path of chemical engineering field in specialized high school, and seeking for a curriculum improvement plan for activation by means of identity establishment of chemical engineering field. This study surveyed the actual conditions of school (department) regarding chemical engineering, and analyzed an adequacy among the curriculum, department name and acquired license. The results are as follows. Firstly, In order to the chemical engineering field to maintain the identity of chemical engineering and accept the changes in the industrial site, it is desirable for the department name to use the name of applied science, such as Applied Chemical Industry, Nano Chemical Industry, Environmental Chemical Industry, Energy Chemical Industry, Convergence Materials Science and Chemical Engineering, Ceramic Chemical Engineering, Biomolecular and Chemical Engineering, and Food Bio-chemical Engineering, which are derived from chemical engineering, and the revision of curriculum should be included. Secondly, it is necessary to diversify relevant licenses by standard department of chemical engineering field, and clarify the purpose of human resources development and the image of talented, considering the future course of graduates and the demand of industry, for the purpose of improving school-leveled curriculum to raise the possibility of employment. Thirdly, in accordance with the changing paradigm that secondary vocational education is changed from 'just-to-know education (knowledge)' to 'can-do education (capability)', it is necessary to make the performance ability-centered curriculum in which 'chemical engineering industry - chemical engineering vocational education - chemical engineering qualification' are integrated.
Journal of the Korean Institute of Landscape Architecture
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v.36
no.5
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pp.42-54
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2008
The objective of this study is to critically examine the result and the quality of urban park design as infrastructure by analyzing the landscape architectural design competition for Cheongna New City, which was organized by the Korea Land Corporation. This paper is meaningful in that it broadly examines several recent design competitions for urban parks, thereby discussing what the future urban park should be. This study explores the existing analysis methods of design competitions in order to establish a comprehensive method of analysis for the Cheongna competition. Through reinterpreting the concept of the urban park as infrastructure and the design strategies of landscape urbanism, nine key words and a framework for the analysis of urban park design are established. By analyzing the guidelines for the competition, five key words; networking, site, ecology, scale, and infrastructure have been selected and are used as the framework of analysis for the competition. The analysis of the contestants of the competition based on the proposed analysis method leads to a few implications for urban park design as infrastructure: networking and scale from the perspective of the development site; the creation of a sense of place and symbolism in creating the urban image; planning for an ecological urban environment; focus on the significance of the urban park as infrastructure. These implications are highlighted and discussed by the contestants through a variety of experiments. These ideas, however, are provided as a simple configuration of shapes and conceptual explanations and fail to be developed into synthetic, practical strategies.
Journal of the Korean Institute of Landscape Architecture
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v.36
no.5
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pp.55-63
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2008
The characteristics of forest damage in the Geum-buk Mountains were analyzed by using satellite images and a field survey for landscape conservation purposes. A survey scope was fixed using DEM, and areas of damage in the mountain range were analyzed via ArcMap v. 9.2 using SPOT 5 images, a high resolution satellite image. All damaged areas were reviewed and corrected in a field survey. As a result, 75 roads were found to completely fragment forest patches. Of those roads, 26 have the width under 3m, which means that the fragmentation of the forest by these roads may have a minor effect on forest habitat and its ecosystems, while other roads such as two-lane roads may have broader detrimental influences on the ecosystem. Two thousand eighty-three sections of accounted for a total area of about 5,760.7ha. Orchard areas including chestnut tree plantations were ranked as the largest in the damaged area within the Geum-buk Mountains, followed by public facility areas and grassland areas. This means that man-made land usage has progressed in the area regardless of slope and elevation.
Journal of the Korea Institute of Information and Communication Engineering
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v.22
no.7
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pp.1021-1029
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2018
The marine buoys are operated in various domains, which are navigation route and danger maker, weather and environment monitoring, military strategical element, etc. If the marine buoy is damaged, there consumes many cost and time for recovery or replacement, because of severe environmental condition, and causes a risk possibility of secondary accident. In this paper, we developed an active monitoring and approach alarm providing system using trail cameras and AIS for protection for the marine buoys. To do this, we analyzed existing researches and similar systems, extracted requirements for enhancement, and designed the system architecture that applied the enhanced elements. The main considerations of system enhancement are: integration of AIS and trail cameras, adopting of phased alarm technique by approaching ships, applying of selective communication module, conducting the image processing of ships for providing alarm, and applying thermal cameras. After that, we developed the system using designed architecture and verified effectiveness of the system based on laboratory or field-level tests.
Due to recent increase in applications requiring huge amount of data such as spatial data analysis and image analysis, clustering on large databases has been actively studied. In a hierarchical clustering method, a tree representing hierarchical decomposition of the database is first created, and then, used for efficient clustering. Existing hierarchical clustering methods mainly adopted the bottom-up approach, which creates a tree from the bottom to the topmost level of the hierarchy. These bottom-up methods require at least one scan over the entire database in order to build the tree and need to search most nodes of the tree since the clustering algorithm starts from the leaf level. In this paper, we propose a novel top-down hierarchical clustering method that uses multidimensional indexes that are already maintained in most database applications. Generally, multidimensional indexes have the clustering property storing similar objects in the same (or adjacent) data pares. Using this property we can find adjacent objects without calculating distances among them. We first formally define the cluster based on the density of objects. For the definition, we propose the concept of the region contrast partition based on the density of the region. To speed up the clustering algorithm, we use the branch-and-bound algorithm. We propose the bounds and formally prove their correctness. Experimental results show that the proposed method is at least as effective in quality of clustering as BIRCH, a bottom-up hierarchical clustering method, while reducing the number of page accesses by up to 26~187 times depending on the size of the database. As a result, we believe that the proposed method significantly improves the clustering performance in large databases and is practically usable in various database applications.
Kim, Byung Wook;Song, Deok-Weon;Lee, Ji-Hwan;Jung, Sung-Yoon
The Journal of Korean Institute of Communications and Information Sciences
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v.40
no.3
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pp.588-594
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2015
Although GPS technology for location positioning system has been widely used, it is difficult to be used in intelligent transport systems, due to the large positioning error and limited area for receiving radio signals. Thanks to the rapid development of LED technology, LED lights become popular in many applications. Especially, visible light communications (VLC) has raised a lot of interests because of the simultaneous functioning of LED illumination and communication. Recent studies on positioning system using VLC mainly focused on indoor environments and still difficult to satisfy positioning accuracy and simple implementation simultaneously. In this paper, we propose a positioning system based on VLC using the coordinate information of LEDs installed on the road infrastructure. Extracting the LED signal, obtained through VLC, from the easily accessible camera image, it is possible to estimate the position of the car on the road. Simulation results show that the proposed scheme can achieve a high positioning accuracy of 1 m when large number of pixels is utilized and the distance from the LED light is close.
A new remote access system for a 1.3 MV high voltage electron microscope has been developed. Almost all essential functions for HVEM operation, huck as stage control, specimen tilting, TV camera selection and image recording, are successfully embedded into this prototype of the remote system. Particularly, this system permits perfect and precise operation of the goniometer and also controls the high resolution digital camera via simple Web browsers. Transmission of control signals and communication with the microscope is accomplished via the global ring network for advanced applications development (GLORIAD). This fact makes it possible to realize virtual laboratory to carry out practical national and international HVEM collaboration by using the present system
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[게시일 2004년 10월 1일]
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