Properties of IZTO Thin Film prepared by the Hetero-Target sputtering system (상온에서 증착한 IZTO 박막의 기판 종류에 따른 특성)
-
- Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
- /
- 한국전기전자재료학회 2009년도 하계학술대회 논문집
- /
- pp.203-204
- /
- 2009