Conventional UV 리소그라피와 경사각증착에 의한 0.5$mu$ m 전력용 CaAs MESFET 제작에 관한 연구
(Studies on fabrication of 0.5$mu$ m GaAs power MESFET's using a conventional UV lithography and angle evaporations)
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- 전자공학회논문지A
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- 제32A권12호
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- pp.130-135
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- 1995