Optical emission spectroscopy is used to identify chemical species and monitor the changes of process results during the plasma process. However, plasma process monitoring or fault detection by using emission signal variation monitoring is vulnerable to background signal fluctuations. IR heaters are used in semiconductor manufacturing chambers where high temperature uniformity and fast response are required. During the process, the IR lamp output fluctuates to maintain a stable process temperature. This IR signal fluctuation reacts as a background signal fluctuation to the spectrometer. In this research, we evaluate the effect of infrared background signal fluctuation on plasma process monitoring and improve the plasma process monitoring accuracy by using simple infrared background signal subtraction method. The effect of infrared background signal fluctuation on plasma process monitoring was evaluated on $SiO_2$ PECVD process. Comparing the $SiO_2$ film thickness and the measured emission line intensity from the by-product molecules, the effect of infrared background signal on plasma process monitoring and the necessity of background signal subtraction method were confirmed.
본 논문에서는 특이값 분해을 이용한 클러터 신호 제거 알고리즘의 연산속도를 향상 시킬 수 있는 기법을 제시한다. IR-UWB Radar를 이용하여 실내 위치 추적 시스템을 위해서는 수신 신호에서 목표물 신호를 추출하여야 한다. 특이값 분해를 이용하여 클러터 신호를 제거함으로써 수신신호로 부터 목표물의 신호를 추출할 수 있다. 특이값 분해를 이용한 클러터 신호 알고리즘은 목표물의 신호 추출 성능이 우수하나 연산속도가 느리다는 단점이 있다. 본 논문에서는 이런 단점을 극복하는 기법을 제시한다. 실제 IR-UWB Radar 시스템에 적용한 실험을 통해 본 논문에서 제시한 기법이 연산속도를 향상시키는 것을 확인하였다.
The IR signal entering into a sensor is composed of the following components: the self-emitted component directly from the object surface, the reflected components of the solar and sky irradiance at the object surface, and the scattered component by the atmosphere without reference to any object surfaces. The self-emitted and reflected components from the object can be lowered by the atmospheric layer between the object and the IR sensor. The principle factors influencing the atmospheric transmittance are the air temperature, the relative humidity and the observation distance. Previous studies on IR signal transmission through the atmosphere are focused on uniform atmospheric conditions and the non-uniform nature of the atmosphere was not properly treated in modeling. In this study, we use the local atmospheric transmittance to simulate the non-uniform atmosphere in analyzing the IR signal from the object surface. The results show that the nonuniform analysis of the atmosphere becomes more important as the wavelength of IR signal increases.
UWB(Ultra-WideBand)는 수 GHz 이상 광대역의 매우 짧은 신호를 이용하여 고속의 송수신이 가능한 기술로서, 최근 레이다 분야에 응용되고 있다. IR(Impulse Radio)-UWB 레이다의 경우, 높은 분해능으로 모션 인식 분야에도 적용되고 있다. 따라서, 본 논문에서는 IR-UWB 레이다를 이용한 모션 인식에 관한 연구를 진행하였다. 모션에 대한 데이터를 획득하기 위해 개발 환경을 구축하고, 성능 향상을 위한 신호처리 알고리즘을 구현하였다. 그리고 신호처리 결과를 바탕으로 모션의 특징 추출과 학습을 통해 성능을 검증하였다.
본 논문에서는 저전력, 저복잡도 시스템 구현이 가능한 noncoherent IR-UWB (Impulse-radio-based Ultra Wideband: IR-UWB) 무선 통신 시스템을 위한 신호처리부 기술을 제안한다. 제안된 시스템은 OOK(On Off Keying) 변복조 기법을 사용하며, 에너지 검출 기반으로 임펄스 신호를 복원하는 Noncoherent 방식을 사용한다. 특히, 극초단의 펄스 신호를 디지털 신호로 변환하기 위하여 상대적으로 낮은 기준 클럭을 이용하여 나노초 펄스를 검출해 내는 새로운 고속 디지털 샘플러 기술을 제안한다 또한, 데이터 프레임 송수신을 위하여 Turyn 코드를 사용하였으며, 에러 정정을 위하여 길쌈코드를 사용하였고, 수신부에서는 비터비 디코더를 사용하였다 제안된 Noncoherent IR-UWB 시스템의 신호처리부 검증을 위하여, 근거리 고음질의 MP3 데이터 전송 시스템을 설계하였다. 제안된 신호처리부 기술은 FPGA 레벨에서 실제 구현하였으며 각각의 기능 동작을 검증하였다.
Han, Yong Soo;Lee, Soo Chul;Lee, Dong Yong;Choi, Jiwon;Lee, Jong Woong;Kweon, Dae Cheol
Journal of Magnetics
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제21권1호
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pp.115-124
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2016
The present study analyzes T1 TSE and T1 slice sel. IR (dark_fluid) signal strength according to the degree of gadolinium contrast agent dilution and analyzes the turbo factors with regard to changes in the maximum and overall signal strength to study correlations between changes and signal-to-noise ratios (SNRs) and compare peak-to-peak SNR (PSNR) enhancement in order to improve the quality of T1-weighted images. Enhancement TR (600 msec) evaluated to determine the T1 TSE turbo factor and obtain the maximum signal strength, T1WI were used sequentially to experiment with turbo factors_1-4. T1 slice sel. IR (dark-fluid) was used to sequentially test turbo factors_2-5 but not turbo factor_1 at a TR (1500 msec) and compare data at an increase in T1 of 900 msec. The T1 TSE was reduced according to the contrast agent concentration. Phantom signal strength increased, whereas turbo factors_1-4 exhibited maximum signal strength at a concentration of 3 mmol, followed by a gradual decrease. In the turbo factors_2-5, the signal strength increased sharply to maximum signal strength at 0.7 mmol, followed by a reduction. T1 TSE had a greater maximum signal strength than did T1 slice sel. IR (dark_fluid). A comparison of SNR found that T1 TSE imaging was superior (33.3 dB) in turbo factor_1 and T1 slice sel. IR (dark_fluid) was highest (33.9 dB) at turbo factor_5. A PSNR comparison analysis was not sufficient to distinguish between the images obtained with both techniques at 30 dB or higher under all experimental conditions.
본 논문에서는 자외선(UV, ultraviolet) 및 적외선(IR, infrared) 센서를 결합함으로서 불이 연소하면서 방출하는 빛의 파장을 활용한 영상신호를 검출하는 결합형 불꽃영상 검출시스템은 적외선 센서와 자외선 센서 기반의 신호처리 알고리즘 설계방안을 제안한다. 또한, 설계한 듀얼모드인 결합형 불꽃영상 검출시스템은 단독형 적외선 또는 자외선 센서 기반의 영상검출 알고리즘의 검출 성능결과를 비교한다.
We designed a weld monitoring system with UV and IR sensors using a embedded DSP controller for implementing a distribution system; running stand alone and communication with outside by industrial standard protocols. Also this system provided a USB port in order to be acquiring data in PC. The user interface program in PC visualized the IR and W data in time, frequency and state space. A correlation of IR and UV signals showed closely related to weld quality. A rapid change of geometry can be found through a moving average filter. And the average value of IR signal at an interval represented a welding width and depth. Through these results, we proposed a monitoring algorithm for a integer type DSP.
본 논문에서는 IR-UWB(Impulse Radio Ultra Wideband) 시스템 응용을 위한 앤티포달 비발디 안테나를 설계하고, 시간 및 주파수 영역에서 나노 초 단위의 초광대역 임펄스 신호 전송을 위한 IR-UWB 안테나 성능 평가를 수행하였다. 설계된 앤티포달 비발디 안테나는 저가 생산이 가능한 두께 1.6 mm, 유전율 ${\epsilon}_r=4.7$, $tan{\delta}=0.002$인 FR-4 기판을 이용하여 제작하였다. 제작된 안테나는 무반사실에서 주파수 영역 파라메타인 반사 손실, Far 필드방사 패턴을 측정하였다. 또한, 시간 영역에서 나노 초 단위의 임펄스 신호 전송에 따른 펄스 충실도 분석을 수행하여 UWB 대역에서 안정적으로 초광대역 신호 전송이 가능함을 증명하였다. 본 논문에서 설계/제작된 앤티포달 비발디 안테나는 낮은 왜곡과 양호한 방사 특성을 갖고, 나노 초 단위의 초광대역 임펄스를 방사 또는 수신할 수 있다.
This paper is a part of developing a computer code that can be used to generate synthetic IR images by calculating the outgoing infrared signal from objects. To predict the reflected component that is a part of the outgoing IR signal, such as those components reflected from the target surface by the solar and sky irradiations, it is necessary to calculate the complicated BRDF values for considering the directional surface reflection characteristics. Since the calculation of reflectance using the BRDF requires a large amount of computation time due to the hemispherical integral term, it is frequently restricted in applying for a real-time prediction of IR signal. In this research, the simplified method for calculating IR reflected component has been proposed by replacing the integral terms into two parts, a directionally uniform component and a step function representing the specular component, to reduce computation time. The proposed method is proved to result in very fast calculation of the BRDF (up to 600 times faster calculations) for most of the surfaces with minimal loss of the accuracy.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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