• 한국산학기술학회논문지
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• 제12권11호
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• pp.4711-4717
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• 2011

PVD방식에 의한 TiN박막의 형성은 DC와 RF sputtering deposition 방식을 적용할 수 있지만, 플라즈마 생성을 위해 주입된 가스의 이온화율이 떨어져 박막성형 속도가 느려지며, 박막과의 접착력을 높이는 것에도 한계성을 가지고 있다. 이를 개선하기 위해 증착과 동시에 이온빔을 조사하는 이온빔 진공증착 IBAD(Ion beam assisted deposition)를 이용 하게 되면, 코팅 전에 소재 표면을 Ion beam으로 조사하기 때문에 표면cleaning의 효과가 크고, 접착력이 높은 박막을 얻을 수 있다. 또한 고 진공과 낮은 온도에서도 균일한 두께의 고순도의 박막을 얻을 수 있는 이점이 있다.

• 폴리머
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• 제30권6호
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• pp.471-477
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• 2006

이온성 고분자-금속 복합체(ionic polymer metal composite, IPMC)는 낮은 구동 전압에서도 비교적 빠른 응답 속도를 갖는 전기활성고분자(electro active polymer, EAP) 재료이다. IPMC는 인간의 근육과 유사한 인성 및 변형 특성을 나타내므로 최근 인공근육용 구동체 개발을 위한 많은 연구들이 진행되어 왔으며, 또한 우주항공, 센서 및 펌프 등의 다양한 분야에서 적용가능성이 조사되고 있다. 본 연구에서는 액상 내피온을 이용하여 용액 캐스팅 방법으로 다양한 두께의 내피온 막을 제조하는 방법을 도입하였다. IPMC 제조방법은 Oguro가 제안한 방법을 기초로 하여 도금온도를 변화시켜 무전해 도금법을 이용하여 내피온 내부로의 1차 전극을 형성시켰으며, 형성된 1차 전극의 안정성과 표면전기저항을 낮추기 위하여 이온빔보조증착법(ion beam assisted deposition, IBAD)을 도입하여 금과 이리듐을 1차 전극표면 위에 증착하여 2차 전극을 형성시켰다. 1, 2차 무전해 도금한 IPMC와 2차 IBAD 코팅한 IPMC 전극의 표면과 단면 형상을 SEM으로 관찰하였으며, 전압을 인가할 때 IPMC 내부의 수분증발 및 이온전도도의 변화를 조사하였다. 또한 다양한 두께의 IPMC를 제조하여 두께변화에 따른 변위와 구동력을 측정하였다.

• 한국진공학회지
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• 제4권S2호
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• pp.163-169
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• 1995

Ion beam assisted deposition(IBAD) technique was used to synthesize hard coatings including diamond-like carbon(DLC), carbon nitride(CN) and metal-ceramic multilayered films. It was found that DLC films formed at low energy ion bombardment possess more $Sp^3$ bonds and much higher hardness. The films exhibited an excellent wear resistance. Nanometer multialyered Fe/TiC films was deposited by ion beam sputtering. The structure and properties were strongly dependent on the thickness of the individual layers and modulation wave length. It was disclosed that both hardness and toughness of the films could be enhanced by adjusting the deposition parameters. The CN films synthesized by IBAD method consisted of tiny crystallites dispersed in amorphous matrix, which were identified by electron diffraction pattern to be $\beta -C_3N_4$.

• 한국정보디스플레이학회:학술대회논문집
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• 한국정보디스플레이학회 2007년도 7th International Meeting on Information Display 제7권2호
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• pp.1372-1375
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• 2007

MgO thin films were deposited by $O^+$ IBAD method and results showed assisting oxygen ion beam energy plays a significant role in characteristics of MgO thin films. The lowest firing inception voltage, the highest brightness and the highest luminous efficiency were obtained when oxygen ion beam energy was 300 eV.

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 1999년도 추계학술발표강연 및 논문개요집
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• pp.140-140
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• 1999

• 한국세라믹학회지
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• 제45권9호
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• pp.524-530
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• 2008

Anti-Reflective (AR) thin film coatings of $SiO_2$ (n= 1.48) and $TiO_2$ (n=2.17) were deposited by ion-beam assisted deposition (IBAD) with End-Hall ion source and conventional electron beam (e-beam) evaporation to investigate the effect of deposition method on the refractive indicies (n) of the fIlms. Green-light generation using a GaAs laser diode was achieved via excitation of the second harmonic. The latter resulted from the transmission of the fundamental guided-mode wave of 1064 nm through periodically poled $LiNbO_3$. Large differences in the refractive indicies of each of the layers in the multilayer coating may improve AR performance. IBAD of $SiO_2$ reduced its refractive index from 1.45 to 1.34 at 1064 nm. Conversely, e-beam evaporation of $TiO_2$ increased its refractive index from 1.80 to 2.11. In addition, no fluctuations in absorption at the wavelength of 1064 nm were found. The results suggest that films prepared by different deposition methods can increase the effectiveness of multilayer AR coatings.

• 한국광학회지
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• 제5권1호
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• pp.9-17
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• 1994

Ar 이온빔 보조 증착법(IBAD)으로 제작한 $TiO_2$ 박막의 광학적 특성을 연구하였다. 포락선 방법으로 측정한 단층 IBAD TiO2 박막의 굴절률은 이온빔을 사용하지 않은 보통 $TiO_2$ 박막보다 증가하여 bulk의 값에 보다 가까웠으며, 진공과 공기 중에서 투과 파장 영역의 이동을 측정하여 조사한 단층 IBAD 박막의 조밀도는 보통 박막보다 현격히 증가하였다. 이온빔 보조 증착법으로 $(TiO_2/SiO_2)$ 다층 박막 간섭필터를 제작하였고, 진공과 공기 중에서 각각 간섭 필터의 최고 투과 파장의 이동을 측정하였다. IBAD 간섭 필터의 파장 이동량은 보통 간섭필터에 비해 무시할 수 있을 정도로 작아 IBAD 박막의 조밀도가 증가하고 광학적으로 안정된 것을 알 수 있었다. 또한 IBAD $TiO_2$ 박막과 보통 $TiO_2$ 박막 모두 원소 조성비는 정상이었으며 결정 구조는 비정질이었다.

• Journal of Periodontal and Implant Science
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• 제38권sup2호
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• pp.363-372
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• 2008

Purpose: This study compared the effects of coating implants with hydroxyapatite (HA) using an ion beam-assisted deposition (IBAD) method prepared with machined, anodized, sandblasted and large-grit acid etched (SLA) surfaces in minipigs, and verified the excellency of coating method with HA using IBAD. Material and Methods: 4 male Minipigs(Prestige World Genetics, Korea), 18 to 24 months old and weighing approximately 35 to 40 kg, were chosen. All premolars and first molars of the maxilla were carefully extracted on each side. The implants were placed on the right side after an 8 week healing period. The implant stability was assessed by resonance frequency analysis (RFA) at the time of placement. 40 implants were divided into 5 groups; machined, anodized, anodized plus IBAD, SLA, and SLA plus IBAD surface implants. 4 weeks after implantation on the right side, the same surface implants were placed on the left side. After 4 weeks of healing, the minipigs were sacrificed and the implants were analyzed by RFA, histology and histometric. Results: RFA showed a mean implant stability quotient (ISQ) of $75.625{\pm}5.021$, $76.125{\pm}3.739$ ISQ and $77.941{\pm}2.947$ at placement, after 4 weeks healing and after 8 weeks, respectively. Histological analysis of the implants demonstrated newly formed, compact, mature cortical bone with a nearby marrow spaces. HA coating was not separated from the HA coated implant surfaces using IBAD. In particular, the SLA implants coated with HA using IBAD showed better contact osteogenesis. Statistical and histometric analysis showed no significant differences in the bone to implant contact and bone density among 5 tested surfaces. Conclusion: We can conclude that rough surface implants coated with HA by IBAD are more biocompatible, and clinical, histological, and histometric analysis showed no differences when compared with the other established implant surfaces in normal bone.

• Tribology and Lubricants
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• 제20권5호
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• pp.237-244
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• 2004

Micro/nano tribological characteristics of PTFE coating films were experimentally studied. PTFE (polytetrafluoroethylene) modified polyethylene and low molecular weight PTFE were used as a coating materials. These films were deposited on Si-wafer (100) by IBAD (ion beam assisted deposition) method. The Ar ion beam sputtering was performed to change the surface topography of films using a hollow cathode ion gun under different Ar ion dose conditions in a vacuum chamber. Micro/nano tribological characteristics, water wetting angles and roughness were measured with a micro tribotester, SPM (scanning probe microscope), contact anglemeter and profilometer, respectively. The durability of the films were measured with macro tribotester. Results showed that the PTFE coating surfaces were converted to hydrophobic. The water contact angle of coated surfaces and surface roughness increased with the coating thickness. Adhesion and friction in micro and nano scale were governed by magnitude of normal load in soft material such as PTFE films. As the increase of sputtering time on low molecular weight PTFE films, the surface roughness was increased and nano adhesion and friction were decreased. The nano tribological characteristics of surfaces are mainly improved by chemical modification such as PTFE coating and given a synergy effect by the physical modification such as topographic modification.

• 한국산학기술학회논문지
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• 제16권12호
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• pp.8679-8683
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• 2015

세라믹은 고온에서 뛰어난 내마모성, 내부식성을 가지기 때문에 산업적 응용에 있어서 널리 사용된다. 세라믹은 금속과 비교해서 고온에서 더 큰 강도를 가지고 있고, 더 낮은 열전도도 및 열팽창 계수를 가진다. 그러나, 세라믹이 가진 취성의 성질은 전기전자산업과 고온에서의 구조적 적용에의 넓은 적용을 제한한다. Ti 활성금속과 STS304를 IBAD 기술을 이용해서 동시에 증착시켜 STS304 스테인레스강에 $Al_2O_3$(알루미나)의 브레이징 접합강도에 어떤 영향을 미치는지 알아보았으며, 시험편들은 Ti 타겟과 Ti+ STS304 타겟 두 종류를 이용하여 두께를 변화시켜가며 증착하였다. 브레이징 접합을 위한 삽입금속으로는 일반적으로 사용되는 Ag-Cu 공정조성의 합금이 사용되었다. 브레이징 접합품의 강도는 Ag-Cu 삽입금속과 알루미나 사이의 반응층의 두께와 반응 생성물 조직에 의해 결정되며, 본 실험에서는 계면 반응의 메커니즘을 보다 구체화하고 계면 반응에 의한 경사기능성의 접합계면을 더욱 향상시키는 결과를 얻고자 한다.